Промывочный состав

 

(ц 565638

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ

Союз СоветскиХ

Социалистических

Республик (61) Дополнительный к патенту (22) Заявлено 03.03.75 (21) 2113540/10 (23) Приоритет — (32) 04.03.74 (31) 25544/74 (33) Япония

Опубликовано 15.07.77. Бюллетень № 26

Дата опубликования описания 22.09.77 (51) М. Кл, С ОЗС 5/30

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 77.023.41 (088.8) (72) Авторы изобретения

Иностранцы

Такезо Сано и Акихиро Фурута (Япония) Иностранная фирма

«Сумитомо Кемикал Компани Лимитед» (Япония) (71) Заявитель (54) ПРОМЫВОЧНЫЙ СОСТАВ

Изобретение относится к фотографическим способам и процессам.

Известны промывочные составы на основе водных растворов щелочей с гидроокисным натриевым основанием, а также неиногенные поверхностно-активные соединения в составе

7% раствора едкого калия (11.

Недостатком известных составов является токсичность и малая эффективность процесса.

С целью уменьшения токсичности с одновременным увеличением эффективности процесса предлагаемый промывочный состав содержит алюминат щелочного металла концентрации 0,01 — 5 вес. %.

Такой состав обеспечивает промывку после экспозиции фоточувствительных полимерных пластин с поверхностным слоем из фоточувствительной полимерной композиции. При промывке происходит удаление с неэкспонированных частей пластины фоточувствительной полимерной композиции.

Особенно эффективен этот состав для промывки смол с низким кислотным числом, например таких, как ненасыщенные полиэфиры в высокой степени полимеризации.

В качестве примеров водорастворимых алюминатов щелочных металлов можно привести такие соединения, как алюминат лития, алюминат натрия, алюминат калия и так далее.

В промывочный состав водорастворимые алюминаты щелочных металлов входят в количествах примерно от 0,01 до 5 вес. . Если концентрация алюмината ниже указанного дела (0,01 вес. %), то промывочные свойства существенно ухудшаются. Если концентрация алюмината превышает 5 вес. %, то это мало сказывается на эффективности раствора по сравнению с той, которой обладает состав с

1О 5 вес. % и менее.

При необходимости в промывочный состав может входить любое -поверхностно-активное вещество в количестве примерно от 0,01 до

5 вес. %. В присутствии поверхностно-актив15 ного соединения эффективность промывки резко увеличивается, особенно в тех случаях, когда компонентом смолы в фоточувствительной полимерной композиции является ненасыщенHbIH ПОЛИЭфИР C HII3KBM KHCJIOTHbIM ЧПСЛОМ.

20 Практическое использование и предпочтительные варианты применения предлагаемого промывочного состава иллюстрируются в приведенных ниже примерах, в которых части процента являются весовыми.

25 Пример 1. На поверхность железной п.настины 300Х400 мм наносят фоточувствительную полимерную композицию, в состав которой входят ненасыщенный полиэфир — продукт конденсационной полимеризации фума565638

Формула изобретения

Составитель Л. Теплова

Текред М. Семенов

Корректор Л. Котова

Редактор Т. Янова

Заказ 1657jl7 Изд. № 595 Тираж 585

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4i5

Подписное

Типография, пр. Сапунова, 2 ровой кислоты, изофталевой кислоты и диэтиленгликоля в молярном отношении 2:1:3 и обладающий кислотным числом 30 (65 ч.), триэтиленгликольдиметакрилат (35 ч.), бензоинметиловый эфир (1 ч.), и гидрохинон (0,1 ч.), образуя слой толщиной 0,6 мм. В результате образуется фоточувствительная полимерная пластина.

На полученный слой фоточувствительной полимерной пластины накладывают негатив, который сверху прижимают стеклянной пластиной. При экспозиции пластину освещают десятью ультрофиолетовыми флюорисцентными лампами в течение 3 мин. Экспонированную поверхность подвергают душевой промывке (примерно 2 мин) однопроцентным водным раствором алюмината натрия. Раствор подают через 40 сопел под давлением 3,5 кг/см . Промывочный состав объемом 50 л используют для двадцатикратной обработки, причем осадок эффективно отделяется фильтрованием.

Пример 2. На поверхность железной пластины 300)(400 мм наносят в виде слоя толшиной 0,8 мм фоточувствительную полимерную композицию, состоящую из сополимера метилметакрилата и метакриловой кислоты

7: 3 в молярном отношении (70ч.), триэтиленгликольдиметакрилата (30 ч.), бензоинметилового эфира (0,3 ч.), гидрохинона (0,03 ч.) и ацетона (100 ч.). Пластину выдерживают в течение ночи для выпаривания ацетона, в результа(те образуется, фоточувствительная полимерная пластина.

На поверхность фоточувствительной, полимерной пластины помещают негатив, а сверху — стеклянную пластину. При экспозиции пластину освещают десятью ультрафиолетовыми флюорисцентными лампами в течение

3 мин. Экспонированную поверхность подвергают (примерно в течение 2 мин) душевой промывке однопроцентным водным раствором алюмината натрия, причем этот промывочный состав подают через 40 сопел под давлением

3,5 атм. Промывочный состав используют для промывки 20 пластин, при этом он имеет хорошую эффективность, Сравнительный пример. Фоточувствительную полимерную пластину приготовляют и

10 экспонируют способом, описанным в примере 1. Экспонированную поверхность фоточувствительной полимерной пластины подвергают душевой промывке однопроцентным водным раствором карбоната натрия, причем раз15 брызгивание раствора осуществляется через

40 сопел под давлением 3,5 атм. Более трех минут требуется для завершения промывки, отмечается прилипание смолистых веществ на экспонированных участках поверхности.

20 Таким образом, промывочные свойства промывочного состава недостаточно удовлетворительны. Остаток отделяется с трудом и промывочный состав остается мутным.

Промывочный состав на основе водных щелочных растворов, отличающийся тем, что, с целью уменьшения токсичности с одно30 временным увеличением эффективности процесса, он содержит алюминат щелочного металла концентрации 0,01 — 5 вес, %.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. «Обзоры по электронной технике» вып. 2 (86) Б. В. Малин, Т. И. Эрез «Основы фотолитографии в производстве интегральных схем», М., 1973 с. 24 — 25.