Устройство для травления автоэмиттеров

 

! <»I 56898I

СОюз Советских

Социалистических

Республик (б1) Дополнительное к авт. свид-зу ¹ 512505 (22) Заявлено 04.01.76, 21) 2307273/25 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет—, 51) М.Кл. H 01 .1 О, 02

Гвсударстаеннмк комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

i-43) Опубликовано 15.08.77. Б?оллстень т№ 30

53) УДЫ 021,385 212 (088.8)

1 (45) Дата опубликования описания 02,01.78 (72) Автор ы изобретения (71) Заявитель

Д, Ъ. П11утов и A. В. 1хочерыженков (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕИИЯ АВТОЭМИТТЕРОВ

Изобретение относ;!тся к технологии изготовления автоэлектронных эмиттеров, используемых B автоэлектронных и автопонных проекторах для ис ледования различных физических процессов на поверхности твердых тел, а так?! с В качестве кятодсВ HpKQTopblx электровакуумных приборов.

По основному авт. св. ¹ 512505 известно устройство для травления автоэмпттеров, применяемых в автоэлек; ронных и автоион- 10 ных проекторах при исследовании различных физически процессов ?IB поверхности твердых тел и в качестве катодoB некоторых электровакуумных приборов, Это устройство Bblполнено B виде двух разделенных зазором 15 параллельных пластин с ссоснымп отверстиями, между которыми залит электролит, предназначенный длч перетравлпвачия заготовки явтоэмнттера, вставленной сверху в отверстия электрода. Нижний конец заготовки помещен 20 в ванну с электропроводящей жидкостью, в которой находится второй электрод. Электролитическое травление заготовки осуществляется от источника тока, соединенного с двумя электродами. Угол конуса и длина конусной части автоэмиттеров могут регулироваться путем изменения величины зазора между пластинами первого электрода, т. е. путем изменения толщины травящей пленки электролита. 30

В таком стройстВС траВленпе ЯВтоэмцттеров из заготовок толп?е, »eì 0,1 11,11, часто приводит к истoIL>ctttt to малого количеств;:. электролита, ко-.орое удается разместить ме;кду Зкосзеде?1ных!11 Пластина. !и первого электрода. 3;о приводит к остановке процесса травления и к;-1еобходпмости добавлени» новой порции электролита. 1хроме того, установлен.?е при необходимост:I малого зазора ме?кд, пластина ми первого электрода, напр11мер, в несколько дссяты. : м1!ллпметра, трудно .контролировать визуально.

Цель изобретения — и )BbIlHcHIIB производитель!!ости травления зя счет увеличения объема электролита и упрощен;te регулировки и контроля, толщины травящей пленки электролита.

Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве по крайней мере одна из обращенHbix друг к другу поверхностей пластин первого электрода выполнена в зоне отверстия вогнутой симметрично оси отверстия.

На чертеже показан один из возможных вариантов предлагаемого устройства.

Устройство для травления автоэмиттероь. содержит первый электрод, выполненный в виде дву. пластин 1 с соосными отверстиями. причем, по крайней мере, одна из пластин в области отверстия имеет вогнутый участок 2. обращенный В сторону второй пластины и

568981

Формула изобретения

20

Составитель Ю. Цветков

Техред М. Семенов

Редактор И. Шубина

Корректор И, Симкина

Заказ 681/1710 Изд. Ми 676 Тираж 995 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» симметричный относительно оси отверстия, источник тока 8, электролитическую ванну 4 с электродом б, подсоединенным к указанному источнику тока. Пластины 1 электрода имеют между собой зазор, в который заливают электролит, предназначенный для перетравливания заготовки автоэмиттера. В электролигическую ванну 4 заливают электропроводящую жидкость б. Заготовку автоэмиттера 7 вставляют в отверстия пластин 1, верхний конец ее закрепляют в устройство (на чертеже не показано), а нижний — вводят в электропроводящую жидкость б.

Зазор между пластинами первого электрода в области отверстий .регулируют в зависимости от необходимой толщины травящей пленки и могут контролировать визуально на глаз, при помощи оптического микроскопа или щупов известной толщины. Зазор между пластинами в периферийной области значительно больше и ограничивается условием удержания электролита в зазоре капиллярными силами.

Таким образом, в предлагаемом устройстве пленка электролита имеет разную толщину в области отверстий и на периферии. Со. хранение малой толщины пленки в месте помещения заготовки позволяет получать авто5 эмиттеры с короткой конусной частью, а большая толщина пленки на периферии позволяет увеличить количество электролита и дает возможность изготавливать автокатоды из более толстых заготовок. Увеличение зазо10 ра на периферии облегчает регулировку и контроль толщины зазора в области отверстий.

Устройство для травления автоэмиттеров по авт, св. № 512505, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности травления за счет увеличения объема. электролита и упрощения регулировки травящей пленки электролита, по крайней мере одна из обращенных друг к другу пластин первого электрода выполнена вогнутой симметрично оси отверстия.