Молекулярный вакуумный насос

 

с i

О П И " "-И-Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ (i ) 572584

Союз Советских

Социалистических

Реслублик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву 174314 (22) Заявлено 03.01.66 (21) 1046292/06 с присоединением заявки М (23) Приоритет

Опубликовано 15.09.77. Бюллетень Ме 34

Дата опубликования описания 16.09.77 (51) М. Кл. F 04D 19/04

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621 527 8 (088.8) ло делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

А. К. Щедов и Ю. М. Тузаикин (71) Заявитель (54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники.

По основному авт. св. Хв 174314 известен молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с размещенным в нем ротором, параллельно оси вращения которого по концентрическим окружностям установлены неподвижные лопатки, между которыми помещены ряды закрепленных на диске ротора рабочих лопаток. Однако в центральной части этого насоса имеется свободный объем, отрицательно влияющий на производительность насоса.

Целью изобретения является увеличение степени сжатия. Это достигается тем, что в предлагаемом насосе за рабочими участками радиальных ступеней по ходу откачиваемого газа установлены осевые ступени.

На чертеже показан описываемый насос, продольный разрез.

Насос содержит корпус 1 с размещенным в нем ротором 2, параллельно оси вращения которого по концентрическим окружностям установлены неподвижные лопатки 3. Между лопатками 3 помещены ряды закрепленных на диске 4 ротора 2 рабочих лопаток 5, образующих радиальные ступени. За рабочими участками радиальных ступеней по ходу откачиваемого газа установлены осевые ступени 6. Кор5 пус 1 снабжен форвакуумным патрубком 7.

Газ, поступающий из откачиваемого объема, сжимается сначала радиальными, а затем осевыми ступениями и через форвакуумный патрубок 7 откачивается насосом предваритель10 ного разрежения (на чертеже не показан).

Таким образом, комбинация радиальных и осевых ступеней в предлагаемом насосе обеспечивает болыпую степень сжатия и высокую скорость откачки по сравнению с использова15 нием каждого типа насоса (радиального либо осевого) отдельно.

Формула изобретения

2р Молекулярный вакуумный насос по авт. св.

Ке 174314, отличающийся тем, что, с целью увеличения степени сжатия, за рабочими участками радиальных ступеней по ходу откачиваемого газа установлены осевые ступени, Редактор А. Пейсоченко

Составитель О. Тишина

Техред И. Михайлова

Корректор Л. Котова

Заказ 2205/22 Изд. М 725 Тираж 881

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Подписное