Устройство для определения формы электродов электронно- оптической системы

 

ОПИСАНИh, 57573

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советскин

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 21.05.76 (21)2361619/26-2 (51) М. Кл.

Н 01 У 9/02 с присоединением заявки №

Государственный комнтет

Саавта Мннпстроа СССР па делам нзооретеннй

И DTKPblTMN (23) Приоритет (43) Опубликовано 05.10.77. Бюллетень №37 (45) Дата опубликования описания 02.1 1.77. (53) УДК 621.384 (088.8) Я. И. Местечкин, A. В. Мышпецов, Г. П. Егоров н С. M. Попов (72) Авторы изобретения (71) За я витель л (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ФОРМЫ ЭЛЕКТРОДОВ

ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при об» работке элементов электроннолучевых приборов различного назначения.

Получение электронных пучков с заданными параметрами (первеансом пучка, диаметром пучка, положением кроссовера относительно анода и др.) необходимо при создании высокоэффективных приборов. Расчет электронно-оптических систем методом О анализа — трудоемкий процесс, так как заданные характеристики электронного пучка опрело(епяются конфигурацией электронно-onФ тических систем. Метод синтеза электронно-оптических систем знаЧительно ускоря- 15 ет процесс разработки таких систем, однако не все требуемые параметры пучка можно рассчитывать этим методом.

В связи с этим представляет интерес разработка устройств дпя определения формы электродов реальной электронно-оптической системы, формируюшей электронный пучок с задницы:ли параметрами. В настоящее время созданы специализированные ьакуул11!Ые установки — анализаторы эпок о тронного пучка, которые позволяют измерять параметры пучка, сформированного электронной пушкой (1) . Однако заданные параметры пучка при работе этих устройств могут быть получены путем исследования электронных пушек с различной геометрией электродов, что является трудоемким прсцессом.

С целью устранения таких измерений разработаны устройства дпя перемещения эпектродов электронно-оптической системы в вакууме, но в этих устройствах можно изменять только взаимное положение электродов, а не их форму.

Ближайшим техническим решением к изобретению является устройство, содержащее вакуумную камеру, электроды эпектронпооптической системы, измерительный зонд и механизм перемещения электродов (}.

Й этом устройстве между катодом и анодом устанавливают набор дисковых эпектродов, на которых потенциалы распрод»вЂ” лены таким образом, чтобы обеспечить наилучшую форму пучка. Затем найденное ри прдепенис потенциала и распопожение диско575713 вых электродов воспроизводится s электри ческой ванне, в которой определяют распределение потенциала вдоль границы лучка.

После атого на электролитической ванне набор дисковых алектродов заменяется од- 5 пим алехтродом, форма которого подбираетyg такой, чтобы не изменилось найденное распределение потенциала вдоль границы ручка.

1 Недостатком устройства является слож- 10

Мффть отработки электронно-оптических цветем.

Целью изобретения является оперативное оцределение формы алектродов для задан- . фрй конфигурации алектронного пучка.

Поставленная цель достигается тем, что электроды выполнены в виде наборов коакскальных цилиндров, снабженных держатеДама, а механизм пеоемещения состоит из системы рычагов, поочередно охватывающих держатели цилиндров.

На чертеже показано предложенное устройство, продольный разрез.

Электроды электронно-оптической системы (фокусирующий электрод и анод состоят иэ набора коаксиальных цилиндров 1 с держателями 2, присоединенными к подвижным пластинам 3. Перемещение коаксиальных цилиндров один относительно другого осуществляется при помощи координатного механизма 4, который через сил фон 5 передвигает шток 6 перпендикулярно оси вакуумной камеры 7 до упора в одну иэ подвижных пластин. После касания керамическим наконзчником 8 пластины 3 двн- женче штока вдоль направляющего цилинд,ра 0 продолжается до тех пор, пока упор

10, перемещающийся в пазу 11, не косне ся стенок паза. Двигаясь, шток 6 нажимаэт иа пружину 12, обеспечивая необходимое

;силие прижима пластины 3, а также перемещает опору 13, которая нажимает на колесики 14 и давит на тормозные пальцы 15 с керамическими наконечниками 16, стянутые

45 пружиной 17, ослабляя их усилие прижима подвижных пластин 3.

После атого при помощи коордннатйого механизма 4 подвижная пластина 3, а вместе с ней и цилиндр-электрод перемещаются на соответствующее расстояние. При передвижении одной подвижной пластины остальные пластины 3 находятся в состоянии покоя вследствие того, что оии зафиксированы тормознымн пальцами 15. Количество

-.îðìîçíûõ пальцев определяется числом коаксиальных цилиндров, иэ которых состоит электрод.

Конфигурация электродов ьзменяется путем изменения взаимного положения коексиальных цилиндров, иэ которых набран алектрод..

При изменении формы алектродов первметры электронного пучка контролируются при помощи измерительного зонда. 18. форму алектродов варьируют до тех пор, пока значения контролируемых параметров пучка не будут соответствовать требуемым

Изменение формы электродов осуществляют либо вручную, что является трудоемким процессом. либо автоматически. Тогда х устройству подключается мини-ЭВМ, кото

pag обрабатывает поступающую в иее инфорьищию о пучке и вырабатывает управляющие воздействия по соответствующей программе.

Формула изобретения

Устройство для определения формы электродов электронно -оптической системы, содержащее вакуумную камеру, электроды электронно-оптической системы, иэмерителв иый зонд, механизм перемещения электродовотличвющееся тем,что, с целью оперативного определения формы электродов для заданной конфигурации алек тронного лучка, электроды выполнены в виде наборов коаксиальных цилиндров, снабженных держателями, а механизм перемещения состоит из системы рычагов, поочередно охватывающих держатели цилиндров.

Источники информации, принятые во вни манне при экспертизе:

1. Егоров Г, П. и др. Применение установки комплексного исследования электронных пучков при разработке алектронно-оптических систем алектровахуумных приборов, ЦНИИ Электроника, М., 1974 г, "Экспериментальные методы исследования электронных пучков, серия Электроника

СВЧ, выи.i/23/, с. 3-5..

2. F} oct R.Ð et М, „Электронные пушки для формирования сплошных пучков . с большим первеансом н высокой сходимостью .Ргос о ТЬв IRK ч.50, % 8, 1962, р. 1 840-1 848

5757 13

Составитель В. Обухов

Техред А. Демьянова Корректор В Сардак

Редактор Т. Орловская

Заказ 4044/37 Тираж 976 Подписное

БНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретениИ и открытиИ

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4I5

Филиал ППП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4