Устройство для определения конца травления плоских изделий

 

(11)

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 04.01.76 (21) 2307812 22-02 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 30.10.77. Бюллетень № 40 (45) Дата опубликования описания 03.01.78 (51) М. Кл - С 23 Г 1/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий (53) УДК 621.794.41 (088.8) (72) Авторы изобретения

И. А. Коротии, М. Я. Хапчик и С. А. Котин (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ KOHL, ТРАВЛЕНИЯ ПЛОСКИХ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к области радиоэлектроники и предназначено для определения конца процесса травления при изготовлении изделий радиоэлектроники (печатных схем, сеток электронно-вакуумных приборов и т. д.).

Известны устройства, позволяющие определять конец процесса травления, содержащие ряд травильных камер с регулируемой подачей травителя и измерительные устройства-денситометры, которые контролируют размер отверстий в изделии по интенсивности светового потока после каждой камеры травления (1). Результат измерения учитывается при дотравливании уже в следующей камере травления.

Недостатком указанных устройств является их высокая стоимость, сложность изготовления, настройки и эксплуатации.

Наиболее близким к изобретению llo технической сущности и достигаемому результату является устройство для определения конца травления плоских изделий, содержащее камеру травления, оптический преобразователь, устройство возврата и отсчетное устройство, включающее электродвигатель и кинематически связанные понижающий редуктор, отсчетный диск и конечный выключатель (2).

Для данного материала изделия и состава травителя экспериментальыо определяется

2 время травления. Это время устанавливается на отсчетиом диске реле. При заходе изделия в камеру травления включается реле с заданной выдержкой. После отработки выдержки реле выдает сигнал на удаление изделия из зоны обработки.

Известное устройство имеет ряд недостатков. Изменения концентрации травителя и. следовательно, его активности в процессе работы, разнотолщинность заготовок, колебания температуры раствора вызывают появлени брака по недотраву илп перетраву изделий, что снижаст производительность травнльных установок, уменьшает процент выхода годных изделий. Ручная коррекция установки времени травления по результатам контрольного травления усложняет обслуживание и снижает качество изделий.

Целью изобретения является повышение

20 производительности тр авил ьного оборудования и повышение процента выхода годных изделий.

Для этого устройство дополнительно содержит блок управления, а устройство возврата выполнено в виде последовательно сосдиненных коммутирующего устройства и генератора фиксированных частот, выход которого соединен с зажимами электродвигателя отсчетного устройства, а его конечный выклю30 чатсль соединен с одним из входов блока управления, второй вход которого соединен с выходом оптического преобразователя, при этом один из выходов блока управления соединен с затвором камеры травления, а второй — со входом коммутирующего устройства.

Сущность изобретения поясняется чертежом.

В состав устройства входят оптический преобразователь 1, блок 2 управления, коммутирующее устройство 3, генератор 4 частот, отсчетное устройство 5.

Оптический преобразователь 1 является индикатором наличия кассеты в камере и состоит из осветителя и фотоголовк и с усилителем постоянного тока. Блок 2 управления предназначен для управления затвором травильной камеры и коммутирующим устройством и состоит из набора реле. Коммутирующее устройство 3 предназначено для переключения режимов работы генератора частот и выполнено на реле. Генератор 4 частот предназначен для питания электродвигателя отсчетного устройства. Частоту генератора можно изменять от 20 Гц до 50 Гц, в результате чего изменяется и скорость вращения электродвигателя отсчетного устройства, а при изменении фазы — и направление вращения.

Коммутирующее устройство 3 и генератор 4 частот составляют устройство возврата.

Отсчетное устройство 5 предназначено для фиксации отрезков времени травления и дотравливания и состоит из электродвигателя, понижающего редуктора, отсчетного диска с упором и конечного выключателя.

Устройство работает следующим образом.

В исходном положении фотодатчик засвечен, отсчетное устройство 5 в крайнем положении, при котором упор отсчетного диска находится на выключателе, электродвигатель отсчетпого устройства 5 выключен, затвор камеры травления открыт. С поступлением изделия в камеру травления фотодатчик опт ического преобразователя 1 затеняется. На выходе преобразователя появляется сигнал наличия изделий в камере травления, которьш поступает в блок 2 управления. Блок 2 управления вырабатывает сигнал, по которому коммутирующее устройство 3 включает геперато р 4 частот таким образом, что вал двигателя отсчетного устройства начинает вращаться с постоянной .скоростью Vt. Ковечный выключатель освобождается и tto его сигналу в блок 2 управления последний закрывает затвор. Идет процесс тра|вления.

При появлении в изделии первых протравленных отверстий фотодатчик засвечивается

tt оптический преобразователь 1 вырабатывает сигнал, который поступает в блок 2 управления. Блок 2 управления формирует сигнал, 578367

4 по которому через коммутирующее устройство 3 на выходе генератора 4 устанавливается напряжение с частотой, соответствующей установленному коэффициенту пропорциональности и фазой, которая меняет направление вращения вала электродвигателя отсчетного устройства 5 на обратное.

Таким образом, диск отсчетного устройства вращается в обратном направлении (к ис10 ходному состоянию) со скоростью г, Т

Ч2= — отлично от скорости 1р

lt где — скорость прямого хода (за время

1г травления до получения первых отверстий), К вЂ” коэффициент пропорциональности, Чг — скорость обратного хода (за время дотравливания).

20 Идет процесс дотравливания.

Когда диск отсчетного устройства 5 при обратном ходе возвратится в исходное положение (начальная точка отсчета времени цикла травления) упор диска нажимает конечный выключатель. По сигналу конечного выключателя блок 2 управления отключает электродвигатель отсчетного устройства 5 и открывает затвор травильной камеры.

Изделие уходит из камеры.

Формула изобретения

Устройство для определения конца травления плоских изделий, содержащее камеру травления, оптический преобразователь, устройство возврата и отсчетное устройство, включающее электродвигатель и кинематически связанные понижающий редуктор, отсчетный диск и конечный выключатель, отли40 ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности травпльного оборудования и увеличения процента выхода годных изделий, устройство дополнительно содержит блок управления, а устройство возврата вы45 полнсно в виде последовательно соединенных коммутирующего устройства и генератора фиксированных частот, выход которого соединен с зажимами электродвигателя отсчетиого устройства, а его конечный выключатель сос= динен с одним пз входов блока управления, второй вход которого соединен с выходом оптического преобразователя, при этом один из выходов блока управления соединен с затвором камеры травления, а второ" — со входом коммутирующего устройства, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США М 3816214, кл. 156 — 3, 60

2. Дружинин Г. В. Реле времени. 7., 1966, с. 65.

578367 с .у ляса

Составитель А. Абросимов

Tt vpeд И. Карандашова

Корректор Л. Орлова

Редактор Г. Лановая

11одписиос

Заказ 7485

МОТ, Загорский ф:.лиал

11зд X 854 Тира/к 1,1ЗИ

1!ПО Государственного комитета Совета Мииистрсз СССР по д-.лам изоэрстений !t открытий

11 035, Москва, 5К-З5, Раушская наб.. д. 4;5