Устройство для контроля толщины пленки в процессе напыления

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ п11 590597

Союз Советскик

Саииаиистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.07.75 (21) 2163396/25-28 с присоединением заявки ¹ (51) М. Кл.з G OIВ 11/06

ГосУдарстоениый комитет (23) Приорите

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (43) Опубликовано 30.01.78. Бюллетень № 4 (45) Дата опубликования описания 20.02.78 (53) УДК 531.715.1 (088.8) (72) Авторы изобретения И. И. Чемерис, В. Л. Костроменко, H. И. Короткоручко, А. И. Пластюк, В. М. Яременко, Ю. П. Барзилович и В. Н. Капличный (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ

В ПРОЦЕССЕ НАПЫЛЕНИЯ

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и касается устройств для контроля толщины пленки в процессе напыления.

Известно устройство для контроля толщины пленки при напылении, содержащее источник света, корпус с площадкой для размещения рабочей подложки, светочувствительный элемент, блок обработки сигнала светочувствительного элемента и испаритель (1).

Недостатком этого устройства является невозможность подавления световых лучей от испарителя, что приводит к понижению точности контроля толщины пленки.

Известно также устройство для контроля толщины пленки в процессе напыления, содержащее корпус с площадкой и с размещенной на ней рабочей подложкой, источник света и светочувствительный элемент, располо>кенные по разные стороны рабочей подложки, и испаритель (2).

Это устройство является наиболее близким по своей технической сущности к изобретению, однако и его конструкция не обеспечивает возможности подавления световых лучей от испарителя, что в значительной степени сказывается на точности контроля толщины напыляемой пленки.

Целью изобретения является повышение точности измерений.

Для этого описываемое устройство снабжено блоком подавления световых лучей от испарителя, расположенным между рабочей подло>ккой и светочувствительным элементом и выполненным в виде полостей с цснтральными отверстиями, уменьшающимися в направлении светочувствительного элемента, так, что

s„℠— a„

S„> g О„т + D„ где 5„1 — шаг между предыдущим и последующим отверстиями;

5 <+S„— сумма шагов предыдущего и по15 следующего отверстий;

D„ — D — разность диаметров предыдущего и последующего отверстий;

D <+D> < — сумма диаметров предыдущего и второго последующего отверстий, 20 а площадка наклонена к падающим лучам источника света под тупым углом.

На чертеже изображена принципиальная схема описываемого устройства.

Устройство содержит корпус 1 с площадкой, 25 выполненной в виде светопрозрачной пластины 2 с нанесенной на ней рабочей подложкой, источник света 3, светочувствительный элемент 4, расположенные по разные стороны рабочей подложки, индикаторный блок 5 и испаЗ0 ритель (на чертеже не показан).

590597

Формула изобретения

s в г

Составитель О. Строганов

Техред И. Карандашова

Корректор Л. Денискина

Редактор О, Юркова

Подписное

Заказ 3182/!6 Изд.. и 159 Тираж 907

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Между рабочей подложкой и светочувствительным элементом 4 размещен блок подавления световых лучей от испарителя, выполненный в виде полостей 6 с центральными отверстиями 7, уменьшающимися в направле- 5 нии светочувствительного элемента так, что разность диаметров предыдущего отверстия н последующего D < —.0„относится к сумме диаметров предыдущего отверстия и второго последующего Р„, + В„+ь как шаг между предыдущим и последующим отверстиями

S,, к сумме шагов предыдущего и последующего S < + S отверстий.

Светопрозрачная пластина 2 наклонена к падающим лучам источника света под тупым 15 углом. На внутренней поверхности корпуса 1 в месте установки полостей в блоке подавления световых лучей размещен светопровод 8.

Устройство работает следующим образом.

На светопрозрачную пластину 2 поступает 20 поток напыляемых частиц А и световой луч

Б от источника 3. Изменение прозрачности пластины в зависимости от толщины напыляемого слоя регистрируе1ся индикаторным блоком 5. 25

Все посторонние внеосевые лучи, которые попадают на рабочую подложку, например, от испарителя, отфильтровываются блоком подавления лучей.

Таким образом, введение в конструкцию 30 устройства блока подавления световых лучей от испарителя и размещение площадки для рабочей подложки на корпусе у входного отверстия блока подавления лучей так, что ее плоскость с падающим лучом источника све- 35 та образует тупой угол, дает возможность иметь реальную информацию о степени напыления, т. е. о толщине напыляемой пленки, обеспечить непрерывный контроль напыления и повысить точность получаемых результатов.

Устройство для контроля толщины пленки в процессе напыления, содержащее корпус с площадкой и с размещенной на ней рабочей подложкой, источник света и светочувствительный элемент, расположенные по разные стороны рабочей подложки, и испаритель, отличающееся тем, что, с целью увеличения точности измерений, оно снабжено блоком подавления световых лучей от испарителя, расположенным между рабочей подложкой и светочувствительным элементом и выполненным в виде полостей с центральными отверстиями, уменьшающимися в направлении светочувствительного элемента так, что и — 1 /2 — 1 12

1 и — 1+ 8д п — 1+ п+1 где 5 i — шаг между предыдущим и последующим отверстиями;

5 1+Ь вЂ” сумма шагов предыдущего и последующего отверстий;

D„, — D„— разность диаметров предыдущего и последующего отверстий;

D < + D>+< — сумма диаметров предыдущего и второго последующего отверстий, а площадка наклонена к падающим лучам источника света под тупым углом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР Мв 358613, кл. G 01В 11/06, 1965.

2. Авторское свидетельство СССР М 359509, кл. G 01В 11/06, 1970.