Узел формирования изображения электронного микроскопа с возможностью изменения энергии электронов

 

о и и е А и Й

Союз Советских

Социалистических

Республик (11 597030

К АВТОРСКОМУ СВИДИП! ДЬСТВМ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено02.07 76 (21)2378909/18-2 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 05.03.78, Бюллетень №9

2 (51) M. Кл, Н 01 Х 37/26

Гасударственный комнтет

Совета Министров СССР во делам изобретений и открытий (53) УДК 537 533 °

35(088,8) (45) Дата опубликования описания 14.02.78 (72) Авторы изобретения

B. И. Верцнер и Ю. Ф. Щетнев (71) Заявитель (54) УЗЕЛ ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО

МИКРОСКОПА С ВОЗМОЖНОСТЬЮ ИЗМЕНЕНИЯ ЭНЕРГИИ

ЭЛЕКТРОНОВ

Изобретение относится к электронной оптике и может быть использовано в электронных микроскопах.

Известен узел формирования изображения электронного микроскопа с воэможностью изменения энергии электронов вблизи образца, основу которого составляет электростатическая система ) 1) . Недостатками этого узла являются невысокое качество электронного изображения, а также сушест- )О венная зависимость разрешающей способности содержащих этот узел MHKpocKDIIQB от энергии электронов вблизи образца

Наиболее . близок к предложенному узел формирования иэображения электронного микроскопа, выполненный в виде электромагнитной линзы и содержащий корпус, обмотку возбуждения, полюсный наконечник, состояший из верхнего и нижнего башмаков, механизм перемещения образца и высоковольтный ввод. К недостаткам этого устройства относятся сложность конструкции и невысокое качество низковольтного изображения (21. 25

Белью изобретения является повышение качества низковольтного изображения и упро.щение конструкции.

Указанная цель достигается тем„что верхний башмак полюсного наконечника выполнен в виде плоской осесимметричной пластины, внутри которой расположен механизм перемещения образца, при этом пластина закреплена на корпусе с помощью изолирующей шайбы и соединена с высоковольтным вводом.

На чертеже. показан предложенньгй узел формирования изображения, содержащий корпус 1, верхний 2 и нижний 3 башмаки полюсного наконечника, изолирующую шайбу 4> механизм 5 перемещения образца 6, высоковольтный ввод 7, изолятор 8, электрод 9 и обмотку возбуждения 10.

При подаче через ввод 7 высокого напряжения на башмак 2 между верхним торGoM этого башмака и электродом 9 возникает тормозящее электроны электростатическое поле, которое используется для фокусировки освещаемого электронного пучка в плоскости образца. После прохождения через

Формула изобретения образец замедленные электроны ускоряются электростатическим полем, возникающим между торцами башмаков 2 и 3, до первоначальных энергий. Это поле, совместно с локализованным в этом же зазоре магнитным полем используется как комбинированный объек. тив, формирующий первичное изображение образца.

Узел дает возможность улучшить качество изображения эа счет снижения сфериче- 10 ской аберрации объектива при размещении образца в середине зазора между башмаками полюсного наконечника и подачи на него напряжения, равного разности потенциалов башмаков. В этом случае часть электроста- (5 тического ускоряющего поля между башмаком 3 и образцом, участвующая в формировании изображения образца, работает как

Рассеивающая линза, коэффициент сферической аберрации которой положителен, тогда как часть магнитного поля, участвующая в формировании изображения образца, работает как собирающая линза, коэффициент сферическойаберрации которой отрицателен.

Таким образом, сферическая аберрация маг25 нитной линзы частично компенсируется эа счет использования рассеивающей части электростатическогого поля.

Узел формирования иэображения электронного микроскопа с возможностью изменения энергии электронов, выполненный в виде электромагнитной линзы, содержаший- корпус, обмотку возбуждения, полюсный наконечник, состоящий иэ верхнего и нижнего башмаков, механизм перемещения образца и высоковольтный ввод, о т л и ч а ю— ш и и с я, тем, что, с целью повышения качества низковольного изображения и упрощения конструкции, верхний башмак полюсного наконечника выполнен в виде плоской осесимметричной пластины, внутри которой расположен механизм перемещения образца, при этом пластина закреплена на корпусе с помощью изолирующей шайбы и соединена с высоковольтным вводом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР № 183846, кл. Н 01 3 31/26, 1963.

2. Авторское свидетельство СССР № 223952, кл. Н 01 Т 31/26, 1968.

Составитель А. Суворов

Редактор Т. Орловская Техред А. Алатырев КорректоР С. Ямалова

Заказ 1158/51 Тираж 960 П одпис í ое

UHHHHH Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4