Способ получения высокого вакуума

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

4:еюз Советских

Сецмавистичесвмх

Ресву блик (61) Дополнительное н авт. свид-ву(22) 160577(21) 2486655/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делим изобретений и открытий (43) Опубликовано 251078, Бюллетень № 39 (45) Дата опубликования описания 0409,78 (72) Авторы изобретения

A.Ô.Bûñoöêèé, А,А.Êóðèëåíêî и Н.К.Тюрин (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОГО ВАКУУМА

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен способ получения высокого вакуума путем промывки откачиваемого объекта газом с последующей конденсацией (1)

Известный способ получения высокого вакуума характеризуется низкой скорОстью откачки для вымораживания трудноконденсируемых составляющих воздуха, например водорода.

Цель изобретения — сокращение временивакуумирования.

Это достигается тем, что .в качестве промывочного газа используют водород, после промывки подают в объем газообразный кислород, и полученную смесь воспламеняют с образованием паров воды °

На чертеже схематично изображена установка, реализующая предлагаемый способ.

Установка содержит откачиваемый объем 1 с клапанами 2 и 3, Откачиваемый объем 1 соединен с баллонами 4 и 5 клапанами 6 и 7 и дозируюшим устройством 8.Внутри объема 1 расположен смеситель 9,соединенный с баллоном

5,свеча 10,соединенная с источником

11 высокого напряжения,и криопанель

12 с клапаном 13.0ткачиваемый объем

l через клапан 2 промывают газообразным азотом,который вытесняет воздух через открытый клапан 3.Затем через клапан 6 из баллона 4 подают газообразный водород, который вытесняет азот. из объема 1. Через клапан 7 и дозирующее устройство 8 нэ баллона 5 в откачиваемый объем 1 подают газообразный кислород через смеситель 9, причем газообразный кислород подают из расчета получения избытка кислорода над стехиометрией смеси. После герметизации кислород-водородной смеси в объеме 1 ее поджигают с помощью свечи 10, питаемой от источника ll высокого напряжения. В результате сжигания кислород-водородной смеси в объме 1 образуются пары воды с небольшим количеством газообразного кисдоро а. Пары воды конденсируются, и в объеме 1 образуется вакуум. Затем в рабочую полость криопанели 12 через клапан 13 падают жидкий водород и охлаждают им криопанель 12. Охлаждение криопанели 12 до температуры 77 К обеспечивает откачку паров воды, а при дальнейшем охлаждении стенки криопанели до 24 К откачивают

6 29358

Составитель Н.Юшин

Редактор Л.Гребенникова Техред H.Àíäðåé÷óÊ Корректор A.Ãðèöåíêî

Заказ 6039/32. Тираж 837 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35„ Раушская наб, д.4/5

Филиал ППП . Патент, г.ужгород, ул.Проектная,4 кислород и снижают давление в объеме 1 до 10 Тор.

Получение глубокого вакуума по предлагаемому способу: позволит ускорить процесс вакуумирования и отказаться от дорогостоящего оборудования для откачки трудноконденсируемого водорода, являющегося основным газом в остаточной атмосфере высоковакуумных установок.

Формула изобретения

Способ получения высокого вакуума путем промывки откачиваемого объекта газом с последующей конденсацией, отличающийся тем, что, с целью сокрашения времени вакуумирования, в качестве промывочного газа используют водород, после промывки подают в объем газообразный кислород, и полученную смесь воспламеняют с образованием паров воды.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Грошковский Я.М. Техника высокого вакуума. N. Мир, 1975, с. 604.