Способ управления нанесением металлических пленок
Союз Советских
Социалистических
Реснублик
К АВТОРСКОМУ «:ВИДВТИДЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву—
2 (51) М. Кл.
Cj05 D S/03 (22) Заявлено 15. 02.77(21) 2453661/18-24 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано15.11,78.Бюллетень № 42 (45) Дата опубликования описания 18.fl.78
Гасударственный камнтет
Саавта Мнннатрав СССР па делам нзааретеннй и атнрытнй (53) УДК 621.555. .6 (088.8) (72) Авторы изобретения
В. А. Лабунов, В. А. Сокол, А. А. Можухов и А. А. Родионов (71) Заявитель
Минский радиотехнический институт (54) СПОСОБ УПРАВЛЕНИЯ НАНЕСЕНИЕМ
МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК
Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к технологии изготовления гибридных интегральных схем и может быть использовано при создании проводящих и резистивных пленок.
Известен способ управления нанесением металлических пленок 11), по которому в процессе нанесения металлической пленки осуществляется контроль приращения массы и управление источником наносимого материала в соответствии с заданным законом изменения приращения массы. В процессе нанесении осуществляется контроль удельного поверхностного сопротивления.
Недостатком такого способа является низкая восироизводимость электрических свойств нанесенных металлических пленок.
Наиболее близким по технической сущности к данному изобретению является спо соб управления нанесением металлических
Пленок путем измерений массы и проводитиости металлической пленки и формирования уиравляюгцего воздействия на источник наносимого металла ио результатам сравнения измеренных величин с заданными 121.
Недостатком этого способа является низкая точность.
Целью изобретения является повышение точности.
Это достигается тем, что проводимость металлической пленки измеряют непосредственно в процессе нанесения, а управляющее воздействие на источник наносимого металла формируют по отношению приращения проводимости металлической пленки к приращению массы.
Принципиальное отличие предложенного способа управления нанесением металлических пленок от известного заключается в том, что, в ссютветствии с предложенным способом, на протяжении всего процесса нанесения пленки осуществляют непрерывную кор- рекцию уиравляющуго сигнала с учетом зада. ваемой закономерности изменения отношения приращения проводимости и массы наносимой пленки. Обеспечение поддержания во времени заданного соотношения приращения .проводимости (структурно-чувствительного параметра) и приращения массы (геометрического лараметра — приращения толщины) позволяет одновременно резко повысить вос632991
Формула изобретения
Составитель В. Крюков
Редактор Н. Каменская Техред О.Луговая Корректор Е. аннинская
Заказ 6553/38 Тираж 99! Подписное
11НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретен ий н открытий
113035, Москва, Ж.35, Раушская наб. д. 4/5
Филиал 111111 а П а тент>, г. Ужгород, ул. 11роект на н. 4 проиэводимость как геометрических, так и электрофнэических свойств наносимых металлических пленок. Кроме того, управление
:по указанному соотношению позволяет пе рейти от управления по двум параметрам: ,проводимости и массе — к управлению по одному параметру — отношению их приращений, что значительно проще в практической реализации, а также позволяет повысить процент выхода годных изделий эа счет повышения точности.
Способ управления нанесением металлических пленок путем измерений массы и проводимостн металлической пленки н формирования управлпюшего воздействия на источник наносимого металла по результатам сравнения измеренных велич и н с зада н ны ми, отличшон1ийся тем, что, с целью повышения точности, проводимость металлической пленки измеряют непосредственно в процессе нанесения, а управляющее воздействие HB источник наносимого металла формируют по отношению приращения проводимости металлической пленки к приращению массы.
® Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:
I. Экспресс-информация. Серия «Вакуумная техника», !9?6, № 5, реферат 26.
2. Экспресс-информация. Серия «Ва куумная техника», 1976, № 20, реферат 109.
