Установка для литья пленки

 

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1, 659! 98

Союз Советскнл

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 08.07.77 (21) 2506059 23-05 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.04,79. Бюллетень ¹ 16 (45) Дата опубликования описания 30.04.79 (51) Ч. Кл."В 05С 5/02

Гоаударственный комитет

СССР (53) УДК 678.026.3 (088.8) по делам изобретенн" и открытий (72) Автор изобретения

Б. А. Пальчевский (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ЛИТЬЯ ПЛЕНКИ

Изобретение относится к устройствам для изготовления применяемых в электронных приборах эмиссионных, металлизационных, изоляционных и т. п. пленочных покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности.

Известно устройство для изготовления пленок методом полива, содер.жащее литьевую головку, установленную над подвижной технологической опорной поверхностью, на которую через щель в головке поступает паста (1).

Недостатком такого устройства является низкое качество изготавливаемой пленки, вызванное значительным изменением технологических свойств паст в процессе работы.

Более близким к описываемому изобретению является установка для литья пленки, содержащая емкость с пастой, технологическую подложку, средства регулирования расхода пасты с исполнительным механизмом и блоком управления и устройство для отверждения пленки (2).

Однако данная установка не позволяет получить пленку со стабильными размерами из-за изменения вязкости пасты в процессе работы и отсутствия средств, позволяющих компенсировать степень усадки пленки.

Целью изобретения является повышение стабильности толщины изготавливаемой пленки.

Поставленная цель достигается тем, что

5 в установке для литья пленки, содержащей емкость с пастой, технологическую подложку, средства регулирования расхода пасты с исполнительным механизмом и олоком управления и устройство для отвсрж10 пения пленки, блок управления выполнен в виде пневмоизмеритсльного устрой тва с двумя рабочими камерамп, каждая из которы.; снабжена измерительными соплами, причем одна камера установлена пе15 ред устройством для отверждения пленки, а другая — за ним в направлении перемещения технологической подложки.

Кроме того, измерительное сопло рабочей камеры, установленной перед устройст20 вом для отверждения пленки, смонтировано на сильфоне, полость которого сообщена с полостью рабочей камеры другого сопла.

На фиг. 1 схематически изображена ус25 тановка для литья пленки с пневматическим исполнительным механизмом; на фпг.

2 — то же, с пневмомеханическим исполнительным механизмом.

Установка для литья пленки содержит

30 стол 1, подвижную технологическую под659198 ложку 2, расположенный над техно.тогпческой поверхностью сушильный агрегат 3, литейную оголовку 4 (емкость), к которой подведена пневмосистема 5.

Головка 4 имеет литейную щель 6, а также отверстие 7, через которое полость головки связана с пневмосистемой 5, и отверстие 8, связывающее полость головки с атмосферой. Кроме того, головка снаожена системой регулирования расхода пасты, включающей исполнительный механизм, выполненный в виде пневмореле 9, установленного на входе пневмосистемы в головку, и блока управления им, выполненного в виде пневмоизмерительного устройства с двумя рабочими камерами 10 и 11 и, соответственно, двумя измерительными соплами 12 и 13. При этом сопло 12 закреплено на сильфоне 14, полость которого связана с полостью рабочей камеры 11, а полость рабочей камеры 10 связана с пневморелс 9. Установка содержит также устройство 15 для отверждения пленки.

Работает устройство следующим образом.

Под суммарным гидростатическим давлением и давлением газа, поступающего в полость головки 4 из пневмосистемы 5, паста через щель 6 поступает на технологи fccK) þ подложку 2, на которой формустся слой жидкой пасты. Этот слой на подложке движется от головки 4 к соплу 13, проходя под сушильным агрегатом 3, соплом 12 и устройством 15 для отверждения пленки.

При изменении толщины слоя, вызванного изменением расхода .пасты, из-за, например, изменения вязкости жидкости и, соответственно, изменении величины зазора между соплом и поверхностью слоя, изменяется давление в рабочей камере 10.

Вследствие этого срабатывает пневмореле

9, изменяя величину воздушного потока, поступающего в полость головки 4. Изменение воздушного давления над зеркалом пасты приводит к изменению ее расхода и, следовательно, толщины формируемого жидкого слоя. Сформированный на подложке жидкий слой поступает в устройство

15 на сушку, во время которой он окончательно твердеет, претерпевая усадку и превращаясь в пленку. Готовая отвержденная пленка проходит под соплом 13. При отклонении толщины отвержденной пленки от заданного размера (например, из-за изменения степени усадки, обусловленного изменением количества связки в литейной пасте) изменяется давление в рабочей камере 11 и пневматически связанным с ней силь5

ЗО

55 фоне 14. Спльфон, сжимаясь или разжимаясь, изменяет положение сопла 12 на д подложкой, что приводит к изменению зазора между соплом и слоем материала и, тем самым, к изменению давления в рабочей камере 10, что вызывает, как уже было показано, соответствующее изменение расхода пасты.

Таким образом, непрерывно происходит автоподналадка системы для корректировки размеров отвердевшей пленки в зависимости от изменения свойств литьевой пасты.

Как показано на фиг. 2, исполнительный механизм может быть выполнен и в виде сильфона 16, полость которого связана с полостью рабочей камсры 10 и к которому прикреплена литейная головка 4. В этом случае изменение расхода пасты будет производиться изменением зазора между головкой 4 и подложкой 2, осуществляемым при изменснии давления в рабочей камере

10 и, соответственно, в сильфоне 16.

Данная установка позволит получить высококачественную метал лоор ганич ескую пленку, применяемую в гибридных интегральных схемах, электронных вакуумных приборах и т. д.

Формула изобретения

1. Установка для литья пленки, содержащая емкость с пастой, технологическую подложку, средства регулирования расхода пасты с исполнительным механизмом и блоком управления и устройство для отверждения пленки, отличающаяся тем, что, с целью повышения стабильности толщины изготавливаемой пленки, блок управления выполнен в виде пневмоизмерительного устройства с двумя рабочими камерами, каждая из которых снабжена измерительными соплами, причем одна камера устаповлена перед устройством для отверждения пленки, а другая — за ним в направлении перемещения технологической подложки.

2. Установка по п. 1, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что измерительное сопло рабочей камеры, установленной перед устройством для отверждения пленки, смонтировано на сильфоне, полость которого сообщена с полостью рабочей камеры другого сопла.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Заявка Франции № 2016141, кл. В 05С

5/00, опублик. 1970.

2. Патент США № 3422494, кл. В 29D

7/10, опублик. 1969,