Электронный микроскоп
р
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ
*- - "" . - - а" «« «:.арй риз«е ««т"«,еь««
СОюз СОВФтских
Социалистацеских
Распублик
< ф63001
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ г (61) Дополнительное к авт,свид-ву— (22) Заявлено 28.03.77 (21) 2466492/18-25 с присоединением заяки №вЂ” (23)Приоритет — (51) М. К .
Н 01 ) 37/26
Гееудеретвекный кеиктет ссср
IIo делам кзаеретений а еткрмтий
Опубликовано 15.05.79. Бюллетень № 18., 1
Дата опубликования описания 25.05.79 (53) УДК 621,385..833 (088.8) (72) Авторы изобретения
А. Н. Пилянкевич, И. С. Лялько, А. М. Климовицкий и В. А. Кобыляков (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП
Изобретение относится к области элект,, ронно-микроскопического приборостроения и может быть использовано в просвечивающей электронной микроскопии.
Известны электронные микроскопы, содержащие электронную пушку, конденсорный. блок, отклоняющую систему и систему формирования изображения. Недостатком известного устройства является изменение яркости свечения флуоресцирующего экрана при изменении увеличения электронного микроскопа, что приводит к снижению контраста изображения объекта при больших увеличениях и увеличивает продолжительность исследования из-за необходимости проведения дополнительной юстировки (1).
Наиболее близким к изобретению техническим решением является просвечивающий растровый электронный микроскоп, содержащий электронную пушку, растровые отклоняющие катушки, электронно-оптическую систему со стабилизатором тока и регулятором тока промежуточной линзы, генератор раз верток, флуоресцирующий экран и растровую приставку (2). Данное устройство позволяет работать в просвечивающем режиме со сканировани2 ем первичного электронного пучка по объекту и получением изображения на флуоресцирующем экране, При работе в этом режиме известное устройство имеет тот же недостаток: с изменением увеличения электронного микроскопа изменяется яркость свечения флуоресцнрующего экрана.
Целью изобретения является стабилизация уровня яркости флуоресцирующего экрана при изменении увеличения.
1О
Цель достигается тем, что в предлагаемом устройстве регулятор тока промежуточной линзы снабжен функциональным преобразователем, электрически соединенным со стабилизатором тока промежуточной лин15 зы и генератором разверток и регулирующим изменение тока растрирования отклоняющих катушек в зависимости от тока промежуточной линзы согласно соотношению н«тле К вЂ” козффиииент пропорциональности, величина постоянная; — ток растрирования, подаваемый на растровые отклоняющие катушки;
1 — ток обмотки промежуточной линзы;
: и ив е ьнс лэтввьеанминнэим ми ьэеььмюЖпиивй!Ммиьнветеи Ь: м.ммнк еитв нв тть - ььл
=э " цэ-. С
663001
Формула изобретения
А — коэффициент увеличения проекционной линзы;
 — коэффициент увеличения объективной линзы.
Конструкция устройства поясняется чер тежом, где показаны электронная пушка 1, конденсорный блок 2, растровые отклоняющие катушки 3, электронный луч 4, исследуемый объект 5, предметная плоскость 6 объективной линзы 7, объективная линза 7, промежуточная линза 8, плоскость 9 изображения промежуточной линзы, проекцион- ie ная линза 10, флуоресцирующий экран 11, стабилизатор тока 12 промежуточной линзы, регулятор тока с функциональным преобразователем 13, генератор разверток 14.
Коэффициенты увеличения промежуточ--, ной А и электронной В линз рассчитываются известным образом для конкретных значений расстояний между предметной плоскостью объективной линзы и ее средней плоскостью ар, между средними плоскостями объективной и промежуточной линз Roi и между 2о средней плоскостью промежуточной линзы и ее плоскостью изображения в .
Устройство работает следующим образом.
Сформированный электронной пушкой и электронно-оптической системой электронный луч диаметром 300 — 10001 сканируют по образцу с частотой кадров порядка 20—
25 кадров в секунду. При данных значениях частоты развертки электронного луча и его диаметра на флуоресцирующем экране электронного микроскопа формируется монолит- зв ная картина, полученная в параксиальной зоне объекта со стороной растра 3 — 4 мкм, При изменении увелйчения электронного микроскопа с помощью регулятора тока изменяют ток обмотки промежуточной линзы.
Одновременно функциональный преобразо- З ватель регулятора тока изменяет величину тока растрирования отклоняющих катуц:ек согласно приведенному соотношению, что обеспечивает изменение площади растра электронного луча на поверхности объекта обратно пропорционально увеличению электронного микроскопа. Это обеспечивает сохранение постоянной яркости изображения на флуоресцирующем экране при изменении увеличения.
Электронный микроскоп, содержащий электронную пушку, растровые отклоняющие катушки, электронно-оптическую систему со стабилизатором тока и регулятором тока промежуточной линзы, генератор разверток и флуоресцирующий экран, отличаюи ийся тем, что, с целью стабилизации уровня яркости флуоресцирующего экрана при изменении увеличения, регулятор тока промежуточной линзы снабжен функциональным преобразователем изменения тока по зависимости тн- = А1т — В, где К вЂ” коэффициент пропорциональности;
Ip —, ток растрирования, подаваемый на растровые отклоняющие катушки;
1 — ток обмотки промежуточной линзы;
А — коэффициент увеличения проекционной линзы;
 — коэффициент увеличения объективной линзы, электрически соединенным со стабилизатором тока промежуточной линзы и генератором разверток.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Электронный микроскоп ЭМВ-100ЛМ, Техническое описание и инструкция по эксплуатации ЦФ1.720.011 ТО, Внешторгиздат, 1972.
2. Scanning Electron Microscope Attachment Pilips 1970, Printed in the Netherlands, 7010.01.4550.11.
- 663001
Составитель В. Вдовин
Редактор И. Шубина Техред О. Луговая Корректор Г. Назарова
Заказ 2710/54 Тираж 922 Подписное
ЦН И И П И Государственного комитета СССР .:" ", ... .:;".="" :""=".= — = -; -,, - по делам "изобретений и открытий
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная,
