Молекулярный вакуумный насос

 

(6 () До полн ительн ы и к патенту (51) М. Кл.

Г 04 О Л/04 (22) Заявлено 20.03.74 (21) 2008772/25-06 (23) 11рцоритет - (32) 21. 03. 73

Государствемный комитет

СССР мо делах иэобретемий и открытий (33) Франция (З1) 7310183

Опубликовано 0506.79, Б1оллетеиь ¹ 221 (53) УДК621.527,8 (088.8) Дата опубликования описания 080679 (72) Автор изобретения

Иностранец

Луи Морис (Франция) .Иностранная фирма Компани Эндюстриель де Телекоьвноникасъон Сит-Алькатель (Франция) (71) Заявитель (54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике..

Известен молекулярный вакуумный насос, содержащий статор с расположенным в нем вращающимся барабаном, и спиральные пазы, разделенные пере мычкой и выполненные по крайней мере на одной иэ сопряженных поверхностей статора или барабана (11.

В этом насосе при заданном зазоре 10 между ротором и статором невозможно получить высокую степень сжатия иэза значительных утечек между двумя параллельными пазами. для уменьшения. утечек можно сократить зазор между 15 ротором и статором, однако зто ведет к снижению надежности работы насоса.

Формула изобретения

28 ! !

Молекулярный вакуумный насос, содержащий статор с расположенным в нем вращад»щимся барабаном, и спираль

30 ные пазы, разделенные перемычкой и

1 !

Целью изобретения является повышение степени сжатия.

Укаэанная цель достигается тем, что каждый спиральный паэ на части его длины разделен на несколько каналов перегородками прямоугольногс» сечения, расположенными параллельно.

На фиг. 1 изображен предложенный насос, общий вид на фиг. 2 — раэ" вертка спиральных пазов предложенного насоса.

Молекулярный вакуумный насос содержит статор 1 с расположенным в нем вращающимся барабаном 2 и спиральные пазы 3, разделенные перемычкой 4 и выполненные по крайней мере на одной из сопояженных поверхностей статора 1 или. барабана 2. Каждый спиральный паэ 3 на части его длины разделен на несколько каналов 5 перегородками 6 прямоугольного сечения, расположенными параллельно .

Прн быстром вращении ротора относительно статара молекулы. получают направленный импульс и rio спиральным каналам направляются к форвакуумному насосу (на чертеже не показан), т.е. осуществляется перекачивающее действие газа.. увеличение каналов на поверхности ротора позволяет" уменьшить перетечки газа в откачиваемую емкость и увеличить степень сжатия.

3 667162 .выполненные по крайней мере на одной ного сечения, расположенными парадиз сопряженных поверхностей статора " лельно. илн барабана, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью повышения степе- Источники информации, принятые Во ни сжатия, каждый спиральный паз на внимание при экспертизе части его длины разделен-на йес«коль- 1. Авторское свидетельство СССР ко каналов перегородками прямоуголь- 5 Р325413, кл. Р 04 ct 19/04, 1970. — ф

Фиг i

Составитель О.Тишина

Редактор И.Марковская Техред И. Петко Еорректор Ы. Стед

»»»М»»»» «» «»» ««» «ь»»»»»»»й»М»4е»

Заказ 3161/49 Тираж 771 П >дписное

IgiHHGH Росударствеиного комитета СССР по делам изобретений и открытий . - .

113035, Москва, Ж-35, РаУвзская наб., д. 4/5

»»» «»»»

« "»«.

»»»»»

Филиал ППП Патент, г.ужгород, уЛ.Проектная,4

Молекулярный вакуумный насос Молекулярный вакуумный насос 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к турбомолекулярным насосам, использующимися для создания вакуума в различных технологических системах

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к молекулярным вакуумным насосам, использующимся для создания вакуума в различных технологических системах

Изобретение относится к области вакуумной техники, в частности к механическим вакуумным насосам, и содержит цилиндрический корпус, разделенный поперечными статорными колесами, и ротор с набором роторных колес, выполненных в виде радиальных крыльчаток, закрытых с двух сторон дисками, причем один из дисков имеет центральное отверстие, совпадающее по диаметру с отверстием в статорном колесе, выполненном в виде диска с односторонним профилированным оребрением

Изобретение относится к способу покрытия изделий из вентильных металлов, которые применяются в качестве комплектующих для турбомолекулярных насосов
Изобретение относится к изготовлению роторов или статоров турбомолекулярного насоса с роторными лопастями из специального алюминиевого сплава
Наверх