Молекулярный вакуумный насос

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ (») 58085G

К ПА? ЕИТУ (61) Дополнительный к патенту (22) Заявлено21.08.74 (21) 2053915/06 (23) Приоритет (32) 14.09.73 (31) 7333097 (33) Франция (43) Опубликовано 15.11.77.Бюллетень №42 (45) Дата опубликования описания18.10.77 (51) М. Кл.

Р 04 Э 19/04

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК621.527.. 8 (088. 8) (72) Автор изобретения

Иностранец

Луи Морис (Франция) Иностранная фирма

Компани Зндюстриель це Телекоммюникасьон Сит-Алькатель (Франция) (71) Заявитель (54) МОЛЕКУЛЯРНЬП4 ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известен молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с расположенным в нем вращающимся цилиндрическим барабаном, в стенке которого»а поверхности, сопряженной с поверхностью статора, выполнены спиральные пазы, разделенные перемычкой (Ij. Однако в таком насосе имеют место значитель»ые утечки откачиваемого газа между перемычками, что приводит к снижению вакуума.

Целью изобретения является повышение предельного вакуума. Это достигается тем, что в предлагаемом насосе перемычка имеет переменную ширину, увеличивающуюся в направлении откачки, и в ее утолщенных участках выполнены параллельные канавки, закрытые со стороны всасывания и открытые со стороны нагнетания.

Пазы имеют глубину, уменьшающуюся в направлении откачки и превышающую глубину канавок, причем утолщенные участки перемычки выполнены ступенчатыми.

Пазы имеют ширину, плавно уменьшающуюся в направлении откачки на утолщенных участках.

На фиг. 1 изображена развертка спирального паза описываемого насоса со ступенчатым выполнением утолщенных участков; на фиг. 2 — развертка пазов, имеющих ширину, плавно уменьшающуюся в направлении откачки; на фиг. 3 — цилиндрический барабан, продольный разрез.

Насос содержит корпус (на чертеже не показан) с расположенным в нем вращающимся цили»дрическим барабаном 1, в стенке которого»а поверхности, сопряженной с поверхностью статора 2, выполнены спиральные пазы а и о, разделенные перемычкой 3. Перемычка имеет переменную ширину, увеличивающуюся в направлении откачки, и в ее утолщенных участках выполнены параллельные канавки в и г, закрытые со стороны всасывания и открытые со стороны нагнетания. Пазы а и

15 б имеют глубину, уменьшающуюся в направлении откачки и превышающую глубину канавок в и г, Утолщенные участки перемычки 3 выполнены ступенчатыми.

Пазы а и б имеют ширину, плавно уменьшающуюся в направлении откачки на утолщенных участках.

При работе насоса степень сжатия в его полости увеличивается и между перемычками возникают утечки газа. Канавки, выполненные в утолщенных участках перемычки, улавливают- газ и направляют его к зоне нагнетания, 550350

Форлу»1а изобретения

s 1аенетание

Уиг. /

/ /

Риг.,1

Фиг. г

Составитель О. Тишина

Редактор A. Пейсоненко ТехредМ. Левицкая Корректор И. Гоксич

Заказ 3866/712 Тираж 867 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.. д, 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 что и! р:.1Яод1! i к t! !hi!!!".t!Hlo пре.::1с 1 ": : ума.

Молекулярный вакуумный насос, t.о.кржащий корпус с расположенным в нем !рНщающимся цилилдри 1еским барабаном, в стенке которо10:IB lioBEpxi!UOTH, сопряженной с поверхностью статора, выполнены спиральные лазы, ра", телсллые перемычк.>й, отлича1ошийся тем, что, " ttoëhto»oâû!I!.,IH!1 11зе.1ельпого вакуума, перемы Гка и;1еет 1геpo 1еппу1о ширину, унеличиваю1цуюся в лаправле1 ни откачки, и в се утолщенных участках выполнены параллельные!

<Я1 Явки, зякр1>1т116 со с гopol! hl Всасы вани я

oTкрытые со cTopo11hl няГнетания.

2. Насос по и. l, от,гичаюш,ийся тем, что павы имеют Г. бину, vìeíüøHIo!!1÷þñÿ В направлении откачки и превышающую глубину канавок.

3. Насос по и. 1, отлича.ощийся тем, что у Голщенные, 1астки перемычки выполнены ступенчатыми.

4. Насос по п. 1, от.гичающийся тем, «ro пазы имеют ширину, плавно уменьшающуюся в

1апрянлении откачки на утолщенных участках.

11сточники информации, принятые во внимание при экспертизе:

l. Авторское свидетельство № 325413, кл. F 04 D 19/04, 1970.