Способ обработки изделий из кварцевого стекла
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советсккх
Соцналнсткческнх
Республик (u> 742401 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 011178 (21) 2682062/29-33 с присоединением заявки N> (51)М. .
С 03 С 23/00
Государственный комитет
СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет
Опубликовано 2506.80. Бюллетень М 23
Дата опубликования описания 2806.80 (53) УДК 666.192 (088. 8) (72) Авторы изобретения
Я.A. Угай, Е.Г. Гончаров и Л.И. Соколов (71) Заявитель
Воронежский ордена Ленина государственный университет имени Ленинского комсомола (54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ ИЗ КВАРЦЕВОГО
СТЕКЛА
Изобретение относится к способам . .обработки ампул иэ кварцевого стекла, испольэумых для синтеза полупроводниковых материалов с высокой темпера- 5 турой плавления.
Известен способ нанесения покрытий углерода на кварц, осноьанный на пиролиэе чистых органических соединений. Суть его заключается в том, что в специальном аппарате в кварцевую трубу, нагрев которой осуществляется нихромовой обмоткой, изолированной слоем асбеста, помещают контейнер из кварцевого стекла. Трубу нагревают до
700оС и пропускают в нее пары ацетона в течение 30 мин в потоке инертного газа. Затем для увеличения связи углерода с кварцем проводят высокотемпературный отжиг при 1100-1200 С
О в течение 2-3 ч графитизированного кварцевого изделия в вакууме t1) .
Недостатком этого способа является необходимость использования специальной аппаратуры, недостаточно высокая температура отжига не позволяет повысить жаропрочность кварцеВых контейнеров до 1500 С.
Наиболее близким к предлагаемому изобретению по технической сущности и достигаемому результату является способ обработки кварцевых труб, включающий кислотное тразленне,, нагрев до 1100-1500 " в восстановительном пламени и нагрев наружной поверхности трубы до 1900-2200 С в окислительном пламени (2).
Этот способ позволяет увеличить срок службы кварцевых труб, однако он не пригоден для обработки кварцевых ампул.
Целью изобретения является повышение жаропрочности.
Это достигается тем, что одновременно с высокотемпературной термо- " обработкой внешней поверхности при температуре 1600-1900 С в течение
3-5 мин проводят карбидиэацию внутренней поверхности путем пиролиэа спирта или ацетона.
Сгособ заключается в следующем.
Внутреннюю поверхность ампулы споласкивают этиловым спиртом или ацетоном и нагревают внешнюю поверхность контейнера пламенем кислородноацетиленовой горелки температурой 1600-1900 С в течение 3-5 мин.
Пример 1. Кварцевую ампулу с внутренним диаметром 12 мм, толщи742401
Формула изобретения
Составитель О. Самохина
Редактор Е. Полионова Техред М.Петко Корректор И. Муска
Заказ 3394/24
Тираж 52 8 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 ной стенок 2,5-3 мм обрабатывают по предлагаемому способу, вакуумируют, нагревают до 1500 С и выдерживают в течение 24 ч. Размягчения кварцевого стекла не наблюдается.
Пример 2. B .кварцевой ампу,ле создают давление пара летучего вещества, равное 10 атм, ампулу нагревают до 1400 С и выдерживают в течение 24 ч. Взрыва ампулы не на-. блюдается ° .
Пример 3 ° В кварцевой ампуле создают давление пара летучего вещества, равное 30 атм, ампулу нагревают до 1300 С и выдерживают в течеиие 24 ч. Взрыва ампулы не наблюдается.
Использование предлагаемого изобретения позволит:
1) повысить температурный интервал использования контейнеров из кварцевого стекла до 1500 С1 обычно применяемые в качестве контейнера ампулы из кварцевого стекла могут использоваться лишь до температуры о
1170 С для синтеза соединений, не обладающих заметным давлением диссоциацииу
2) использовать контейнеры иэ кварцевого стекла для синтеза соединений с летучим компонентом под давлением его пара до 30 атм при температуре до 1300 С; обычные кварцевые ампулы выдерживают такое давление при температуре до 1050-1100 С;
3) предотвратить смачивание контейнера из кварцевого стекла расплавом синтезируемого материала.
Способ обработки изделий из кварцевого стекла, преимущественно ампул, высокотемпературной термообработкой поверхности, отличающийся тем, что, с целью повышения жаропрочности, одновременно с высокотемпературной термообработкой внешней поверхности при температуре 1600-1900 С в о течение 3-5 мин проводят карбидиэа20 цию:внутренней поверхности путем пнр лиза спирта или ацетона.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Кроль Л.Я. и др.,Методика по25 крытия кварцевых иэделий графитом, Заводская лаборатория, 1961, т. 27, 9 2, с. 177-178.
2. Авторское свидетельство СССР
9 668244, кл. С 03 С 23/00, 1977.
