Двухкоординатный стол

 

ОП ИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТИЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено 17. 01. 79 (23) 2714748/25-08 (51) +

Союз Советских

Социалистических

Республик с присоединением заявки ¹вЂ”

В 23 0 1/14

Государственный коиитет

СССР ио делам изобретений и открытий (23) Приоритет— (53) УДК 62-229. 311,-. . (088. 8) Опубликовано 231180.Бюллетень ¹ 43

Дата опубликования описания 231180 (72) Авторы изобретения

М.П.Шеходанов, Н.A.Õîëñòîâà, В.В.Николаев, В.Л.Спирин, З.И.Славинский и Л.Н.Кузьмин (71) Заявитель (54) .ДВУХКООРДИНЛТНЫЙ СТОЛ

Изобретение относится к точной механике, а именно к мехайизмам, обеспечивающим линейные перемеще- ния по двум координатам, и предназначено для автоматического присоединения проволочных выводов при производстве полупроводниковых приборов.

Известен двухкоординатный стол с расположенными на основании механи- змами привода стола по двум взаимно т0 перпендикулярным направлениям, выполненными в виде пары винт-гайка, при этом каждый из механизмов привода снабжен рычагом, один конец которого жестко соединен с ходовой гайкой, а )5 другой через ролик взаимодействует с планкой, установленной на основании с возможностью перемещения в вертикальной плоскости от привода

С13 20

Однако этот двухкоординатный стол имеет повышенную инерционность перемещаемых масс.

Наиболее близким решением к предлагаемому является двухкоординатный 25 стол, по направляющим основания которого от приводного двигателя, жестко закрепленного на основании, перемещаются по одной иэ координат промежуточ.ные салазки со вторым приводным дви- 30 гателем, несущие направляющие для предметной плиты, при этом второй приводной двигатель также жестко закреплен на основании, "а ходовая гайка приводимой им пары винт-гайка подвижно связана с жестко сбединенным с предметной плитой кронштейном, проходящим через окно, выполненное в промежуточных салазках (2J .

Недостатками указанного двухкоордиватного стола являются: то, что при перемещении предметной плиты возникает трение скольжения, вследствие этого происходит быстрый износ поверхностей и потеря точности, а также повышенная инерционность перемещаемых масс. Кроме того, в сопряжениях призматический паз — шарик — плоскость в процессе работы происходит проскальзывание шариков и, как следствие, увеличение усилия перемещения.

Цель настоящего изобретения — повышение точности, компенсация температурных влияний и снижение инерционных сил перемещаемых масс.

Указанная цель достигается тем, что двухкоординатный стол снабжен

П-образной скобой, горизонтальная

781008 часть которой выполнена в виде ци"линдрическогo вала, установленного в основании посредством шариков с натягом, и с возможностью возвратно. поступательного перемещения по коор"дийате у-и качательного"движения вдоль оси х, а вертикальные части скобы связаны с плоской кареткой через пружину и поводок c шариковыми подшипниками,неподви>кно установленный на каретке, направляющие которой имеют базовые стороны,рас- . положенные вдоль координат х и у, центр которых совпадает с центром вращения предметного стола. (О

С целью компенсации температурных влияний базовые поверхности Г направ- ляющих располо;кены на линиях, проходящих через ось вращения предметного стола, которая совпадает с центром базовой системы координат, от которых ЭВМ рассчитывает траекторию движения координатного стола. 60

Поэтому для получения точности перемещений важно сохраненйе положения оси вращения предметного столика.

На каретке 5 установлен механизм поворота 8, который получает враще-.

На фиг.1 изображен общий вид двух координатного стола; на фиг.2 — то же, вид сверху; на фиг.3 — разрез

A-А на фиг.1; на фиг.4 — разрез Б-Б на фиг.1;на фиг.5 — разрез В-В на фиг.2.

Двухкоординатный стол содержит плиту 1, основание 2, приводы по координате х 3 и у 4, каретку 5 с направляющими 6 и 7 и механизмом поворота 8 с предметным столом 9.

На плите 1 смонтированы приводы 25 по координатам х и у, основание 2 с тремя опорными поверхностями 10, на которые через шарики 11 установлена каретка 5. Харетка к опорам притягивается тремя постоянными маг- Я нитами 12. B основании 2 установлена

П-образная скоба 13, горизонтальная часть которой выполнена в виде вала

14 и может перемещаться по координате у на шариках 15, установленных с натягом в гильзе 16 параллельно плоскости каретки 5, а вертикальные части 17 П-образной скобы — качаться в направлении х при перемещении каретки по координате х.

От поворота каретка удерживается

П-образной скобой 13 через вертикальные части 17 и поводок 18 с шариковыми подшипниками 19, жестко закрепленный на каретке. Поводок 18 поджат к рычагам пружинами 20. Направление 45 перемещения по координатам определяется базовыми поверхностями Г регулируемых направляющих 6 и 7, которые поджаты к базовым подшипникам 21 подпружиненными подшипниками 22, ЗО установенными на подвижных каретках

23 приводов. ние от шагового электродвигателя 24 через зубчатые колеса 25 и 26.

Исходное положение поворота контролируется фотодатчиком 27. Фиксация и расфиксация прибора на предметном столике производится от пневмоцилиндра 28 через шток 29. Приводы 3 и

4, по координатам конструктивно выполнены в вйде самостоятельных легко съемных взаимозаменяемых блоков.Шаговый электродвигатель 30 через муфту 31 передает вращение на ходовой винт 32. В осевом направлении винт поджат пружиной 33 через подшипник

34 и шарик 35 к опорной поверхности упора 36.

Подвижная каретка 23 с призматическим пазом поджимается к направляющей 37 пружинами и соединяется с винтом 32 через ролик 38, закрепленный на каретке. При вращении винта 32 ролик 38 вращается и перемещается поступательно вместе с кареткой 23. В данной конструкции вместо роликовой передачи возможна установка гайки.

Двухкоординатный стол работает следующим образом.

Обрабатываемый прибор автоматически подается и фиксируется на предметном столе 9 в исходном положении координатного стола. За исход ное положение принимается такое положение, когда ось вращения предметного стола совпадает с перекрестием ойтической системы, т.е. с центром базовой системы координат.

Расчет траектории перемещения координатного стола ЭВМ производит от базовой системы координат, поэтому для голучения точности важно сохранение положения оси вращения предметного стола.

После фиксации прибора координатный стол подводит первую травер су под инструмент, инструмент опускается вниз, производит первую сварку и поднимается вверх, после чего координатный стол подводит под инструмент первую площадку кристалла, инструмент опускается вниз и производит вторую сварку. Так происходит приварка первой перемычки. Аналогично производятся перемещения для приварки ос-.альных перемычек, при этом работают шаговые электродвигатели по координатам х и у.

При работе шагового электродвигателя 30 привода 3 перемещается каретка 23 и через подшипники 21 и 22, закрепленные на ней, ведет направляющую 6, перемещая каретку 5 с предметным столом 9 по координате у. Направляющая 7 при этом перемещается в подшипниках 21 и 22 привода 4, сохраняя неизменным положение каретки 5 с предметным столом по координате х, а вертикальные части 17 П-образной скобы перемещаются с валом 14 на ша-

781008 риках 15, установленных в гильзе 16 вдоль координаты у, удерживая пружи- нами 20 от поворота поводок 18, закрепленный на каретке.

При работе шагового электродвигателя 30 привода 4 перемещается каретка 23 и через подшипники 21,22, закрепленные на ней, ведет направляющую 7,перемещая каретку 5 с предметным столом 9 по координате х. Направляющая 6 при этом катится в подшипниках 21 и 22 привода 3, сохраняя неизменным положение каретки с предметным столом по координате у, а вертикальные части 17 П-образной скобы поворачиваются в направлении координаты х, удерживая пружинами 20 от поворота поводок 18, закрепленный на каретке 5.

Предлагаемое изобретение повышает производительность установки и точность системы.

Формула изобретенйя

Двухкоординатный стол, содержащий основание с жестко закрепленными на нем приводами, обеспечивающими перемещение по координатам х и у и установленную на трех опорах каретку с направляющими и механизмом поворота предметного стола, о т л и ч а ю "шийся тем, что, с целью повышения точности, обеспечения компенсации темйературнйх влйяний и сйижения инерциойных сил перемещаемых масс координатного стола, последний снабжен П-образной скобой, горизонтальная часть которой выполнена в виде цилиндрического вала, установленного в основании посредством шариков с натягом и с возможностью возвратнопоступательного перемещения по координате у, а также качательного движения вдоль оси х, а вертикальные части скобы соединены с кареткой и

15 связаны между собой посредством пружины и поводка с шариковыми подшипниками, при этом поводок неподвижно установлен на каретке, направляющие которой имеют базовые стороны, расположенные вдоль координат х и у, центр которых совпадает с центром вращения предметного стола.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 374140, кл. В 23 Q 1/14, 1971.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 365235, кл. В 23 Q 1/14, 1971.

781008

Составитель Г.Никогосова

Редактор В.данко Техред М. Табакович Корректор М.Пожо

Заказ 8039/20 Тираж 1160 Подписное ,ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушскай наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4