Устройство для изготовления трубчатого электронагревателя

 

Союз Советскик—

Социалистическик

Республик

О САНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

«i>784028

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТИЛЬСТВУ (61) Дололмительиое к авт. саид-ву(22) Заявлеио160129 {21) 2714621/24«07 (51}М. Кл.3

Н 05 В 3/52 с присоединением заявки Ит

Государствеииый комитет

СССР по делан изобретеиий и открытий (23) Г)риоритет

Опубликовано 301180. Бюллетень М 44 (53} УДК,621. 3. 036.

663.002.2 (088.8) Дата опубликования описания 10. 12. 80 (72) Автор изобретению

B. В. Федоров (71) Заявитель (54 ) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

ТРУБЧАТОГО ЭЛЕКТРОНАГРЕВАТЕЛЯ

Предполагаемое изобреТение относится к области электротермии, а имен- но к устройствам для изготовления трубчатых электронагревателей (ТЭН), и может быть использовано, например, в полупроводниковой промьыленности для изготовления электронагревателей, применяемых для нагрева подложкодержателей на операциях высокотемпературной обработки.

Известно устройство для изгото» вления ТЭН, содержащее зажимы для крепления резистивного элемента, центрируккаую втулку, соединенную с механизмом подъема гибкой связью. Наполнитель подают в трубку из воронки, а для уплотнения его последняя взаимодействует с вибратором (11 .

Недостатком известного устройст- Я ва являе:ся то, что оно не позволяет получать равнополярность шага уложенной спирали. При засыпке и уплотнении наполнителя происходит изменение шага спиралик внизу - сжатие ee 2$ вверху — растяжение. Такое измене-ние шага спирали (резнстивного элемента) приводит к ухудшению равномерности нагрева на поверхности труб« ки ТЭН. Соединение центрирующего 30 элемента с механизмом подъема усложняет конструкцию устройства.

Известно устройство для изготовления трубчатого электронагревателя, содержащее выполненнЪтй гибким фиксирующий элемент, замок для захвата резистивного элемента. Крепление резистивного элемента к фиксирующему устройству осуществляется авто= матически посредством привода возвратно-поступательного движения (2) .

Известное устройство не обеспечивает. возможности получения ТЭН высокого качества вследствие разброса шага реэистивного элемента по всей длине.

Целью изобретения является, повышение качества изготовления ТЭН.

Устройство снабжено задатчиком шага резистивного элемента, выполненного в виде связанной с дополнительным механизмом перемещения шестерни с центральным .резьбовым отверстием, в которое входит связанный с ней резьбовым соединением фиксирующий элемент, выполненный и виде трубки с резьбой по всей наружной поверхности,а замок выполнен в виде разрезной шайбы.

784028

На фиг. 1 представлено описываемое устройЧтво, общий вид в разрезе; на фиг. 2 -"разрез" A-А йа"фиг. 1, зацепление паза в валу; на фиг. 3 замок, вид спереди; на Фиг. 4 — то же, вид сверху.

Устройство для изготовления ТЭН содержит: зажимы 1, удерживающие трубку 2 ТЭН в вертикальном положении; узел перемещения Фиксирующего элемента 3, состоящий Иэ двигателя врацения 4, редуктора 5, тахометра

6 (указателя оборотов), ведуцего шкива 7, приводного ремня 8, ведомого шкива 9; концевые выключатели

10, 11; вал управления 12 с уггорами 13 и 14; воронку 15. На фиксируюцем элементе 3 закреплен замок 16 для удержания в нем резистивного элемента 17. Кроме того, он выполняет функцию спиралеукладчика и выполнен в виде разрезной шайбы. Устройство снабжено задатчиком 18 шага, установленным на втулке 19 с винтом 20. Задатчик 18 шага выполнен в виде шестерни с внутренней резьбой и снабжен узлом перемецения, состоящим из двигателя 21, редуктора 22, тахометра 23 и привода

24 задатчика шага. Устройство монтируется на виброустановке 25. Для крепления резистивного элемента 17 внизу используют вывод 26, который закрепляют в трубке 2 посредством резиновой прокладки 27.

Вал 12, изготовленный с долевым шпоночным пазом цо всей длине, полу- чая вращательное движение от двигателя 4 через редуктор 5, ведущий шкив 7, ремень 8 и ведомый шкив 9, имеет воэможность врацаться за счет зацепления паза в валу 12 и выступа в шкиве 9 (фнг. 2). Кроме этого, вал 12 имеет возможность свободно- го" щ>бдбльного перемещения в шкиве

9 до угоров 13 и 14, опирающихся на концевые выключатели 10 и 11 ° Вал 12 вставляют в зацепление с воронкой 15, вместе с которой имеет воэможность вращаться фиксирующий элемент 3 с замком 16 (фиг. 3-4), который жестко прикреплен к нижней части Фиксирующего элемента 3. Фиксирующий элемент 3 по всей длине имеет наружную резьбу, через которую он соединен с задатчиком 18 шага, имеюцим ответную резьбу в центральном отверстии и опирающимся через подшипник на втулку 19, в которую вставлена трубка 2 и зак. реплена винтом 20, Устройство работает следующим образом.

При изготовлении ТЭНа включают двигатель 4 на опускание Фиксирующего элемента 3 до отключения упо ром 13 концевого выкжочателя 10, снимают с фиксирукщего элемента 3 замок 16, надевают на фиксируюций элемент 3 резистивный спиральный элемент 17, устанавливают замок 16 йа место, пропускают через него ко нец резистивного элемента 17 и закрепляют на выводе 26. Затем вставля ют трубку 2 ТЭН во втулку 19 и закрепляют винтом 20, регулируют выход вывода 26, фиксируют его резиновой прокладкой 27 на время засыпки наполнителя 28, предупреждая его высыпание из трубки 2 ТЭН.

В воронку 15 засыпают требуемое количество наполнителя 28, включа ют виброустановку 25. За счет вибрации наполнитель 28 из полости

Б воронки через внутреннюю полость

1 фиксирующего элемента 3 поступает в полость В трубки 2 ТЭН и заполняет объем от резиновой прокладки

27 до замка 16. При включении двигателя 4 на укладку резистивного эле20 мента 17 вращается вал 12 с Фиксирующим элементом 3 и замксм 16. При этом фиксирукщий элемент 3, выворачиваясь иэ, эадатчика 18 шага, передает врацение замку 16, который

Я5,эа каждый свой оборот пропускает через прорезь по одному витку спирали элемента 17 с шагом, равным

Шагу наружной резьбы фиксирующего элемента 3. 3а счет освободившего О ся объема В нижней части трубки 2

ТЭН каждый уложенный виток спирали элемента 17 заполняется и Фиксируется наполнителем 28, поступающим по фиксируюцему элементу 3. Выворачиванйе,фиксирующего элемента

3 будет происходить до отключения упором 14 концевого выключателя 11.

Для укладки резистивного элемен-. та 17 с шагом меньшим или большим шага резьбы, на фиксирующем элемен40 те необходимо синхронно двигателю

4 включить заранее отрегулированный на нужные обороты двигатель 21 в ту или иную сторону„ который через редуктор 22 и привод 24 передает враgg щение на задатчик 18 шага. За счет этого фиксирующий элемент 3 начнет выворачиваться с новым заданным шагом и передаст свое вращение на замок 16, который и обусловит укладку

«О резистивного элемента 17 с заданным шагом.

Для укладки резистивного элемента 17 с дифференциальным (переменным) заданным шагом необходимо уста > нбвить заданную программу скоростей вращения двигателя 21, работаюцего синхронно с двигателем 4.

Контроль за работой устройства— осуцествляют по тахометрам (указателям оборотов) 6 и 23. После пол44 ной укладки резистивного элемента

17 замком 16, заполнения полости

Б трубки 2 ТЭН наполнителем 28 освобождают трубку 2 из зажимов 1 с уло-. женным резистивным элементом 17 с

65 заданным шагом и монтируют второй

784028

Формула изобретения

12 фиа f

ВНИИПИ Заказ 8574/64 Тираж 885 Подписное

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 вывод 26. Процесс установки повторяется: берут новую незаполненную трубку ТЭН, закрепляют в зажимах, вставляют вывод, фиксируют его резиновой прокладкой и т.д.

Применение предложенного устройства позволяет получить ТЭН, который имеет достаточно малый разброс температуры на поверхности нагреваемого объема.

Устройство для изготовления трубчатого электронагревателя, содержащее вертикально установленный и соединенный с приводом перемещения фиксирующий элемент, прикрепленный к нгжнему его концу замок для удержания спирального резистивного элемента, отличающееся тем, что, с целью повьыения качест-, ва изготовления электронагревателя, оно снабжено задатчиком шага резистивного элемента, выполненным в виде э связанной с дополнительным механизмом перемещения шестерни с центральным резьбовым отверстием, в которое входит связанный с ней резьбовым соединением фиксирующий элемент, выполненный в виде трубки с резьбой по всей наружной поверхности, а замок выполнен в виде разрезной шайбы.

Источники информации, 35 принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

В 426332, кл. Н 05 В 3/52, 1972.

2. Авторское свидетельство СССР

Ф 488370, кл. Н 05 В 3/52, 1973.