Устройство контроля больших интегральных схем на динамических моп-структурах

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

«!1788057

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 230279 (2) } 2728822/18-21 с присоединением заявки ((о (23) Приоритет

Опубликовано 15.12.80. 61оллетень Мо (5f) }.,„3

G R 31/28

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (5З) УДХ621.317.7 (088.8) Дата опубликования описания 15.1280 (72) Автор изобретения

A.Ë.ËHãoHåíêo (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ БОЛЬШИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ

СХЕМ HA ДИНАМИЧЕСКИХ МОП-СТРУКТУРАХ

Изобретение относится к электро-. измерительной технике и может быть использовано для контроля больших интегральных схем, построенных на фазных динамических M0II структурах, в 5 процессе их изготовления.

Известно устройство, содержащее генератор формы волны, эталонную микросхему, стробигунхдие элементы и индикатор (1).

Недостаток известного устройства заключается в том, что оно позволяет проводить контроль проверяемой интегральной схемы только на одной частоте, что значительно снижает дастовер-Я ность контроля.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство контроля больших интегральных схем на динамических МОП-струк-, Щ турах, содержащее генератор входных и контрольных сигналов, анализатор работоспособности и генератор фаэиых импульсов (2) .

Недостаток устройства — низкая про25 изводительность контроля.

Целью изобретения является повышение производительности контроля.

Цель достигается тем, что устрой ство, содержащее генератОр входных 30 и.контрольных сигналов, выход которого соединен со входом проверяемой интегральной схемы, кантральньдт выход которого соединен с одним входом анализатора работоспособности, второй вход которого соединен с выходом проверяемой интегральной схемы, генератор фаэных импульсов, выход которого соединен с управляющим входом генератора входных и контрольных сигналов,со

-входом контролируемой интегральной схемы, введен модулятор генератора фазных импульсов, вход которого соединен с выходом генератора фазных импульсов,а выход соединен с управляющим входом генератора фазных импульсов.

На чертеже показана блок-схема ус тройства.

Устройство содержит генератор 1 входных и контрольных сигналов, модулятор 2. генератора фаэных импульсов, анализатор 3 работоспособности, генератор 4 фазных импульсов и проверяемую интегральную схему 5.

Устройство работает следующим образом.

Генератор 1 входных и контрольных сигналов и проверяемая интегральная .схема,5 синхрониэируются импульсами

788057

Формула изобретения

Составитель С. Бычков

Техред A.Ü÷ Корректор Н. Григорук

Редактор И. Ткач

Заказ 834б/54 Тираж 1019 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, E-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г . Ужгород, ул. Проектная, 4 фаз генератора 4 фазных импульсов.

Входные сигналы генератора 1 входных и контрольных импульсов поступают на проверяемую интегральную схему 5. На анализатор 3 работоспособности одновременно поступают входные сигналы проверяемой интегральной схемы 5 и контрольные cHfíàëû (правильный ответ) генератора 1 входных и контрольных сигналов. Совпадение выходных импульсов с контрольными указывает © на правильную работу проверяемой инте гральной схемы 5. На вход модулятора

2 генератора фазных импульсов поступают импульсы одной иэ фаз генератора 4 фазных импульсов. Путем деления частоты следования фазных импульсов (коэффициент деления m) модулятор 2 генератора фаэных импульсов вырабатывает одиночные импульсы напряжения, подаваемые на вход генератора 4 фазных импульсов для управ- 29 ления длительностью(ь ), задержками (<) и периодом (,ь) импульсов. фаз.

До поступления импульсов модуляции фаэные импульсы характеризуются параМеТраМН Л i С !В ГФ >van я

Во время действия импульса модуляции фазйые импульсы имеют параметры: м тлнх ах i 4н ях °

Таким образом, основная часть фазных импульсов имеет параметры импуль- 30 сов верхней частоты эксплуатации проверяемой интегральной схемы 5 и лишь небольшое число фазных импульсов (один-два импульса за время одного цикла обмена информации проверяемой интегральной схемы)имеют параметры импульсов нижней частоты эксплуатации.

Поэтому время контроля сокращается, производительность контроля повышается.

Использование устройства контроля больших интегральных схем на динамических ИОП-структурах обеспечивает повышенйе процента выхода годных собранных микросхем за счет отбраковки кристаллов,нефункционируюших на нижней частоте рабочего диапазона иэ-эа внутрисхемных утечек NOII-.ñòðóê1óð.

Устройство для контроля больших интегральных схем на динамических МОНструктурах, содержащее генератор входных и контрольных сигналов, выход которого соединен со входом проверяемой интегральной схемы, контрольный выход которого соединен с одним входом анализатора работоспособности, второй вход которого соединен с выходом проверяемой интегральной схемы,,генератор фаэных импульсов, выход которого соединен с управляющим входом генератора входных и контрольных сигналов, со входом контролируемой интегральной схемы, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности контроля, в него введен модулятор генератора фазных импульсов, вход которого соединен с выходом генератора фаэных импульсов, а выход соединен с управляющим входом генератора фазных импульсов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Акцептованная заявка Японии

Р 48-347, кл. G 01 R 31/28, 1973.

2. Патент США, кл. G 01 R 31/28, 1977 (прототип).