Устройство для ввода и удаления объектов из вакуумного пространства

 

Класс 21g, 37 № 89385

СССР

Л

О П И С А H И Е И 3 О Б P Е и И.Я

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Фридрих Эккарт и Вернер Лангбейн (Германия) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВВОДА И УДАЛЕНИЯ ОБЪЕКТОВ

ИЗ ВАКУУМНОГО ПРОСТРАНСТВА

Заявлено 20 мая 1949 года 3a № 385457 в Гостехнику СССР

Опубликовано 31 декабря 1951 года

Предметом изобретения является устройство для ввода объектов в вакуумное пространство корпускулярно-лучевых приборов (в частности электронных микроскопов) и удаления их из приборов.

В настоящее время для ввода объектов в электронные микроскопы применяют кран, в про бке которого помещается подвижная часть с держателем ооъекта. Для смены объекта подвижная часть с помощью зубчатой рейки выдвигается и опускается, после чего пробка крана поворачивается на 90 . При работе микроскопа луч проходит через отверстие пробки крана и попадает на объект. Однако эта конструкция имеет существенный недостаток, заключающийся .в огра ниченном перемещении объекта, что вызывает (при необходимости изменения положения объекта) необходимость применения несимметричных линз, ухудшающих изображение.

В предлагаемом устройстве этот недостаток устраняется за счет применения нескольких отдельных час1еА, скользящих одна в другой и перемещаемых зубчатыми рейкам и.

Сущность изобретения поясняется чертежом. На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство в выдвинутом, а на фиг. 2 — во вдвинутом положении.

Объект 1 укреплен (ввинчен) в подвижной цилиндрический держатель 8. При работе объект располагается внутри магнитной или электростатической линзы 2.

Конический конец держателя 8 входит без зазора в коническое отверстие предметного столика 4, переставляемого по высоте при помощи зажима 5, Чтобы обеспечить возм|ожность перестановки предметного столика, цилиндрический держатель 3 подвешен жестко в направляющем цилиндре б с помощью штифтов. Цилиндр б скользит в металлическом пустотелом цилиндре 8. Перемещение производится при помощи шестерни 9, которая имеет зацепление с рейками на цилиндрах б и 8. Вал шестерни приводится в действие от наружной рукоятки через соответствующее уплогнение.

При вращении шестерни 9 цилиндр б перемещается до тех пор, пока его буртик не захватит цилиндр 8. При этом двусторонняя зубчатая рейка цилиндра 8 захватывается шестерней; одновременно плоская пружина 10 доходит до скоса 11. Затем оба. цилиндра пере№ 89385

Фиг. 1

Фиг. 2

Москва. Стандартгиз. 1952 г. мещаются до вхождения объекта в зону вакуума.

При удалении объекта шестерня выводит цилиндр 8 вверх. После того, как пружина 10 дойдет до скоса 11 пробки 12 крана, начнет смещаться цилиндр б, входя в отверстие 18 пробки.

П редеет и зо бр ете ни я

Устройство для ввода и удаления объекто в из вакуумного пространства корпускулярно-лучевых приборов, в частности электронных микроскопов, в которых в качестве пространства шлюзования объектов служит отверстие цилиндрической или конусной пробки крана, через которое проходят лучи, о т л и ч а ющееся тем, что, с целью приближения рассматриваемого объекта к полюсным наконечникам, объектодержатель перемещается при помощи двух или более деталей, скользящих одна в другой в направлении электронно-оптической оси, причем это перемещение осуществляется зубчатыми рейками.