Гениометрический столик объектов

 

<>568984

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сове Советских.Социалистических

Республик (б1-) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 20.02.76 (21) 2324809/25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 15.08.77. Бюллетень № 30 (45) Дата опубликования описания 02.01.78 (51) М.Кл.а Н 01 J 37/20

Государстбеиный комитет

Совета Мииистров СССР ао делам иаобретеиий и открытий (53) УДК 537.533.35 (088.8) (72) Автор изобретения

П. А. Стоянов (?1) Заявитель (54) ГОНИОМЕТРИЧЕСКИИ СТОЛИК ОБЪЕКТОВ

Изобретение относится к узлам,и деталям электронно-оптических приборов, в част,ности электронных микроскопов.

Известно гониометрическое устройство, обеспечивающее перемещение объекта в плоскости, перпендикулярной оптической оои прибора, и .наклон объекта (1). Недостатком этого устройства является сопутствующий наклону сдвиг наблюдаемого участка объек та, ра офокусировка, а при новой подстройке — изменение увеличения электронного изображения.

Наиболее близким к изобретению является устройство (2), отличающееся громоздкостью и сложностью конструкции, вызванны- 15 ми тем, что сам объект в нем уста навливается в межполюсном пространстве объектива, а приводится в движение механизмами прямолинейного перемещения и наклона, расположенными над объективом. 20

Такое устройство нельзя использовать з высокоразрешающих электронных микроскопах, так как с увеличением разрешающей способности уменьшаются размеры межполюсного пространства объектива, где должен быть расположен исследуемый объект, и следовательно, ограничиваются размеры и функциональные возможности конструкции.

Целью изобретения язляется сохранение фокусировки и,неподзижности исследуемого участка объекта при достижении максималь ного разрешения.

Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве механизм для наклона имеет кольцевое основание и выполнен з виде двух коаксиально расположенных рамок с пересекающимися осями наклона, наружная из которых установлена на кольцевом основании, внутренняя укреплена з наружной рамке таким образом, что,один конец оси ее наклона закреплен з эксцентриковой опоре возможностью поворота вокруг другого конца, а в центре внутренней рамки размещен каретка с объектодержателем.

Конструкция предлагаемого устройства показана на фиг. 1 — 4, где приняты следующие обозначения: 1 — объективная линза;

2 и 8 — полюсные наконечники; 4 — основание; 5 — опорное кольцо; б — привод; 7— регулирозочные винты; 8 — полуоси наружной рамки; 9 — ".àðóæíàÿ рамка; 10 — шар нир Гука; 11 — рукоятка; 12 — внутренняя рамка; 18 и 14 — полуоси внутренней рамки; 15 — эксцентрик; lб — прилив наружной рамки; 17 — карданная передача; 18 — ручка; 19 — штифт; 20 — вилка; 21 — рукоятка; 22 — каретка; 28 — объектодержатель;

24 — ось; 25 — наконечник с серьгой; 2б— ролик; 27 — наконечник с плоским торцом;

28 — микрометрические винты; 29 — кар568984 данные соединения; 80 — ручки; 81 — шлюзовое устройство.

Устройство работает следующим образом.

На действующем электронном микроскопе при помощи шлюзового устройства 81 и манипулятора (на чертеже не показан) объект у.станавливают в рабочее положение. В этом положении ось наклона 0 0, наружной рамки 9 совпадают с плоскостью объекта. Рукояткой 11 при помощи шарнира Гука 10 производят наклон наружной рамками 9. Hpri этом зсе элементы, связанные с этой рамкой, зключая каретку 22 с объектом, наклоняют"я относительно оси 0 0 . Аналогичным образом рукояткой 21 производят поворот вил ки 20, которая сцеплена с внутренней рамкой

12. Это вызывает .наклон влутренней рамки

12 и связанных с ней каретки 22 и объекта относительно оси 0,0ь Во время наклона может произойти небольшая расфокусировка изображения,и,незначительный уход наблюдаемого участка объекта. При помощи регулировочных винтов 7 осуществляется переме-, щение основания 4, на котором закреплен столик объектов, до совмещения точки пересечения осей 0 0 и 0 0, с оптической осью.

Подтверждением того, что совмещение достигнуто, является отсутствие расфокусировки при:наклоне. При этом может наблюдать=я уход изображения (без расфокусировки) при наклоне объекта относительно оси 0 0ь

Это происходит в том случае, если ось 0 0 не пересекается с осью 0 0>. Вращением ручки 18, которая поворачивает эксцентрик

15, достигают пересечения обеих осей путем поворота оси 0 0 в вертикальной плоскости относительно точки М. Подтверждением того, что пересечение достигнуто, является отсутствие смещения изображения при наклонах относительно обеих осей. Осуществив пересечение осей наклона рамок 9 и 12 с помощью ручки 18 и совмещение их точки пересечения с оптической осью 00 обьектива с помощью .винтов 7, можно проводить исследования различных объектов без новой подстройки.

5 При этом производятся наклоны исследуемого объекта в желаемой радиальной плоско сти при помощи рукояток 11 и 21 и прямолинейное перемещение объекта ic помощью ручек 80, которое складывается из поворота каретки 22 вокруг оси 24 и поступательного движения, при котором ролик 26 катится по плоскому торцу наконечнйка 27.

Формула изобретения

Гониометрический столик объектов, содержащий объектодержатель, закрепленный з каретке, механизм для линейных перемеще ний объекта в двух взаимно перпенд икулярных направлениях и механизм наклона объекта в любой радиальной плоскости, о т л ич ающийся тем, что, с целью сохранения фокусировки и неподвижности исследуемого участка объекта при достижении максимального разрешения, механизм для наклона имеет кольцевое основание и выполнен в вчде двух коаксиально расположенных рамок с пересекающимися осями наклона, наружная из которых установлена на кольцевом основании, внутренняя укреплена в наружной рамке таким образом, что один конец ее оси :наклона закреплен в эксцентриковой опоре с возможностью поворота вокруг другого конца, а в центре внутренней рамки размещена каретка с объектодержателем.

Источники информации, принятые,во вни мание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР

40 № 425243, кл. Н 01 J 37/26, 1971.

2. Патент ФРГ № 1539734, кл. 21 g 37/10, опублик. 1970 (прототип).

568984

A-А

b-b

Ib

9Ъ7. Ф

Составитель А. Суворов

Редактор И. Шубина Техред M. Семенов Корректор В. Гутман

Заказ 681/1710 Изд. № 676 Тираж 995 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»