Способ изготовления полупрозрач-ного кислородно-серебряно- цезие-вого фотокатода
Colos Советсныа социалистических
Республик
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ()803045 (6l ) Дополнительное к авт. санд-ву— (22) За к влено 11.09.78 (21 ) 2663417/18 -25 с присоединением заявки М (28) П риоритет— (51)M. Кл.
Н 01 Х 40/06
Ваударстааевй каинтат
СССР
IN аааан нзебретеннй в атарытнй
Опубликовано 0702 81 Бюллетень М 5
Дата опубликования описания 07,02.81 (53) УДК 621.383. .29.032. 11 (088. &) (72) Авторы изобретения
Ю. И. Губанов и С. А. Курбатова (7!) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОЗРАЧНОГО
КИСЛОРОДНО -СЕРЕБРЯНΠ— ЦЕЗИЕВОГО ФОТОКАТОДА
Изобретение относится к электронной тех. нике и может быть использовано при изготовлении фотоэлектронных приборов, работавнцих в длинноволновой области спектра оптического излучения, Известен способ изготовления кислородносеребряно-цезиевого (Ag-0-Cs) фотокатода, заключающийся s напылении основного сере6рянного слоя, окислении его в тлеющем кислороде и активировке фотокатода цезием 11).
Недостатком этого способа является низкая чувствительность фотокатодов в длинноволновой области спектра.
Известен также способ изготовления полупрозрачного кислородно-серебряно-цеэиевого фотокатода, заключающийся в том, что на подложку напыляют основной серебряныи слой, окисляют его в тлеющем разряде в кислороде, активируют фотокатод цезнем, напыляют до. полнительный слой серебра с последующим прогревом до температуры актнвировки и сенсибилизируют фотокатод кислородом 121.
Однако этот способ имеет плохой порог чувствительности в длинноволновой области спектра оптического излучения.
Цель изобретения — повышение порога чувствительности фотокатода в длинноволновой области спектра оптического излучения.
Эта цель достигается тем, что подложку фотокатода предварительно обрабатывают цеэием в течение 10-15 мин при 180-200 С и окисляют в кислороде при давлении 1 ° 10 э»
1 ° 10 мм рт.ст. в течение !5-20 с.
Способ осуществляют следующим образом.
В приборе, в котором изготавливается фотокатод, создают давление, равное 5 ° 10 1 10 мм рт.ст. Затем прибор обезгаживают при 400 С в течение 1,5-2 ч. Стеклянную подложку фотокатода обрабатывают цезием в течение, 10-15 мин при 180-200 С и окисляют в кислороде при давлении 1 ° 10 э—
1 10 мм рт.ст. в течение 15-20 с. После этого откачивают кислород до давления
1 ° 10 мм рт.ст. На подложку при комнатной температуре напыляют основной серебрянный слой, который окнсляют в тлеющем разряде
Составитель Пуелов
Техред M. Петко
Корректор В. Синицкая
Редактор М. Стрельникова
Заказ 10634/66
Тираж 795
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, ф 35, Раушская наб., д. 4/5
Подписное
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
3 в кислороде и активируют цезнем. При этом контролируется изменение фототока. Затем напыляют дополнительный слой серебра до уменьшения первоначального фототока на.
20-309о, и прогревают прибор при 120-150 С до фоточувствительностн, превышающей значение, полученное после актнвировки.
Формула изобретения
Способ изготовления полупрозрачного кислородно- серебряно- незнев ого фотокатода, заключающийся в том, что на подложку напыляют основной серебрянный слой, окисляют его в тлеющем разряде в кислороде, активируют фотокатод цезием, напыляют дополнительный слой серебра с последующим прогревом до температуры активировки и сенсибилизируют
803045 4 фотокатод кислородом, о т л и ч а ю ш и йс я .тем, что, с целью повышения порога чувствительности фотокатода в длинноволновой области спектра оптического излучения, подложку фотокатода предварительно обрабатывают цезием в течение 10-15 мин при 1&0-200 С и окисляют в кислороде при давлении
1 ° 10 -- 1.10 а мм рт.ст. в течение 15-20 с.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Соммер А. Фотоэмиссионные материалы.
М., Энергия, 1973, с. 105 — 110.
2. Verma L., Varma 8. Role of additional
silver in Ag — 0 — Cs photocathode — Judiarn
J. Pure and Appl, Phus., 1973, 11, М 9, с. 681 — 683 (прототип).
