Устройство для контроля и разбраковкирадиоэлементов

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СЬИ ЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик о>805451 (61) Дополнительное к авт. саид-ву— (51)М. Кл (22) Заявлеио05. 04. 79 (21) 2746363/18-21 с присоединением заявки Йо (23) Приоритет

Н 01 Ь 21/66

IIG 01 R 31/22

ИН 05 K 13/00

Государственный комнтет

СССР но делам нзобретеннй н открмтнй рз) Улк

:621.396.6.002.72 (08$.8) Опубликовано 150281.бюллетень йо 6

Дата опубликования описания 15. 02. 81

Ю. С. Чарный и .О..И. Крачковский

В(.:-;. . -".:3::: .i :.

1 с ,ц -,. 3М

I ь-"Знай 3 1К зла (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54 ) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ И РАЗБРАКОВКИ

РАДИОЭЛЕМЕНТОВ

Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов и может быть использовано для автоматической последовательной подачи и загрузки полупроводниковых приборов, например транзисторов и интегральных микросхем, преимущественно уложенных в технологические спутники-носители, коммутации выводов приборов с измерительным оборудованием и разгрузки приборов с разбраковкой на группы годности.

Известно устройство для коммутации и разбраковки полупроводниковых интегральных схем, содержащее основание с наклонной неподвижной направляющей, две контактные колодки, механизм последовательной подачи интегральных схем и контактные колодки, механический привод, измеритель, блок управления и направляющую для разгрузки разбракованных приборов P) .

Однако известное устройство не обеспечивает надежной последовательной подачи приборов на позиции измерения и загрузки-разгрузки, так как конструктивное ныполнение механизма последовательной подачи приборон в виде двух параллельных плоскостей, образующих подвижные направляющие, приводит к возможному заклиниванию приборов между плоскостями направляющих при их встречном перемещении, а отсутствиЕ элементов фиксации приборов на заданных плоскостях подвижных направляющих не обеспечивает поступление приборов на заданную позицию загрузки-разгрузки.

Известно также устройство для климатических испытаний полупроводниковых приборов, содержащее рабочую камеру, накопительный транспортирующий барабан с .пазами для приборов, выполненный. ступенчатым в нижней части, раэгрузочнсе и загрузочное устройство (механизм подачи приборов 1, причем пазы размещены в радиальном направлении на всю глубину барабана, а разгрузочное устройство выполнено в виде кареток с приводом возвратно-поступательного движения, имеющих пазы для спутников с приборами и расположенных на уровне соответствующих ступеней барабана (21.

Однако это устройство не обеспечивает высокую производительность измерения, так как загрузка, изме805451

25 рение и разгрузка приборов производятся последовательно на одной позиции измерения и измерительное оборудование работает с перерывами на механические операции загрузки и разгрузки, а конструктивное выполнение механизма подачи приборов не обеспечивает последовательную подачу приборов на позиции измерение и загрузка-разгрузка.

Цель изобретения — повышение 10 производительности работы.

Цель достигается тем, что устройство для контроля и разбраковки радиоэлементов, преимущественно полупроводниковых приборов и микросхем, содержащее размещенный на основании загрузочный механизм с питателем, механизм подачи радиоэлементов, выполненный в виде двух связанных с приводным механизмом кареток, в которых выполнены пазы для прохо- 20 да радиоэлементов, контактные колодки, измеритель, блок управления и раскладчик разбракованных радиоэлементов, снабжено двумя подпружиненными отсекателями, закрепленными на основании на уровне середины каждой каретки и двумя неподвижными разделительными пластинами, размещен— ными под каретками и подпружиненным прижимом, установленным на верхней каретке с возможностью взаимодействия с радиоэлементами, находящимися в питателе, причем в каждой каретке выполнены прорези для прохода отсекателей и дополнительные пазы для прохода радиоэлементов, расположенные на расстоянии от основных пазов, равном. величине хода каретки, а в каждой разделительной пластине выполнены сквозные прорези, совпадающие с пазами кареток.

На фиг.1 изображена кинематическая схема устройства; на фиг.2-5-отдельные участки, разрезы; на фиг.б рабочее положение устройства на позиции разгрузки первого прибора; на 45 фиг.7 — промежуточное положение устройства при перемещении загруженного прибора на позицию измерения; на фиг.8 — рабочее положение. устройства на позициях измерения первого прибора и загрузки второго прибора; на фиг.9 — рабочее положение устройства на позициях. разгрузки первого прибора, измерения второго прибора и загрузки третьего прибора; на фиг.10 рабочее положение устройства на позициях разгрузки второго прибора, измерения третьего прибора и загрузки четвертого прибора.

Устройство содержит загрузочный механизм, выполненный в виде вибро- бО бункера 1 с питателем 2, механизм последовательной подачи приборов включающий два подвижных штока 3, снабженных роликами 4 и шарикоподшипниковой опорой 5, две подвижные горизонтально-перемещающиеся верхнюю каретку б и нижнюю каретку 7, закрепленные на торцах подвижных штоков 3, две разделительные пластины 8 и 9, размещенные под каждой кареткой соответственно б и 7, два отсекателя 10 и 11, пружинящий прижим 12 с демпфером 13, две возвратные пружины 14, механический привод, включающий электродвигатель

15, муфту 16, червяк 17 с червячным колесом 18, на общем валу 19 которого закреплены кулачки 20 и поводок

21 индукционных датчиков 22, две контактные колодки 23 и 24, размещенные на общем кронштейне 25, измери-. тель 26, блок 27 управления и раскладчик разбракованных приборов, включающий шаговый электродвигатель

28, с жестко закрепленным на его валу лотком 29 и тару 30. Разделительные пластины 8 и 9 закреплены на колонках 31 и 32. B питателе 2 загрузочного устройства загружены полупроводниковые приборы 33 — 36, уложенные в технологические спутники-носители 37 — 40. Прижим 12 выполнен Г-образной формы и жестко закреплен на верхней каретке б. Питатель 2 выполнен вертикальным, П-образного сечения и снабжен одной парой пазов 41, форма и размеры которых соответствуют спутникамносителям 37-40 с загруженными в них приборами 33 — 36, а на нижнем конце вертикального питателя 2 выполнен вырез 42 под- Г-образный прижим 12. Каждая каретка снабжена двумя парами вертикальных пазов:

43 в каретке 6 и 44 в каретке 7, форма и размеры которых соответствуют спутникам-носителям 37-40 с загруженными в них приборами

33 — 36. Расстояние а между пазами 43 каретки 6 и 44, каретки 7 равно шагу рабочего хода кареток

6 и 7. Каждая разделительная пластина снабжена одной парой пазов соответственно 45 в пластине 8 и 46 в пластине 9, форма и размеры которых соответствуют спутникам-носителям 37 — 40 с загруженными в них приборами 33 — 36. На боковой поверхности каждой каретки б и 7 выполнена сквозная прорезь 47, переходящая в продольный паз 48 для размещения отсекателей соответственно 10 и 11. Торец верхней каретки 6 образует опорную поверхность 49, а верхние плоскости разделительных пластин 8 и 9 образуют опорные поверхности 50 и 51.

Устройство работает следующим образом.

От электродвигателя 15 вращение передается через муфту 16, червяк 17 и червячное колесо.18 на .кулачки

20, которые, вращаясь, сообщают возвратно-поступательное движение ка805451 реткам 6 и 7 с остановками на позициях загрузки-разгрузки и измерения. Возвратные пружины 14 обеспечивают постоянное прижатие штоков 3 через ролики 4 к кулачкам 20.

Измеряемые полупроводниковые при- 5 боры 33 — 36, загруженные в технологические спутники-носители 37 — 40 или без них),поступают иэ вибробункера 1, загрузочного устройства в питатель 2.

1О

При расположении каретки 6 в крайнем, например, левом положении (см. фи.6 ), передние пазы 43 совмещаются с пазами 41 питателя 2, а первый спутник 37 с загруженным в него прибором 33 поступает в верхнюю часть пазов 43 и удерживается там рабочим концом отсекателя 10, размещенным в боковой прорези 47 каретки 6. Верхний торец спутника 37 выступает над опорной поверхностью 49 каретки 6 для 20 исключения заклинивания последующего спутника с прибором в пазу карет. ки 6.

При перемещении каретки 6 вправо (см.фиг.7) передняя пара пазов 43 смещается относительно пазов 41 питателя 2, пазов 45 разделительной пластины 8 и рабочего конца отсекателя 10. Рабочий конец отсекателя

10, скользя по поверхности продольного паза 48, выходит эа пределы боковой сквозной прорези 47 и одного

30 из пазов 43, и спутник 37 с прибором

33 перемещается под собственным весом до упора в опорную поверхность

50 разделительной пластины 8.

Последующий спутник 38 с загруженным в него прибором 34 освобождается от упора в верхний торец спутнидемпфером 13 заходит в вырез 42 питателя 2 так, что последующий спутник

39 с загруженным в него прибором 35 прижимается к стенкам пазов питателя 2. ка 37 и нижним своим торцом скользит по опорной поверхности 49 карет- 40 ки 6. При дальнейшем перемещении каретки 6 (см.фиг. 8) спутник 37 скользит по опорной поверхности 50. и утапливается своей передней частью в контактную колодку 23, а каретка 6, 4g нажимая на контактную колодку 23, обеспечивает коммутацию измеряемого прибора 33 с измерителем 26 на пози ции измерения. В положении измерения обеспечивается остановка кареток 6 и

7, пазы 41 питателя 2 совмещаются с другими пазами 43 каретки 6 и передними пазами 44 каретки 7. Последующий спутник 38 с загруженным в него прибором 34 проходит по этим пазам 43 каретки 6 и пазам 45 разделительной пластины 8 и поступает в пазы 44 каретки 7 до упора в рабочий конец отсекателя 11, утопленного в боковой сквозной .прорези 47. Рабочий конец Г-образного прижима 12 с 60

По окончании процесса и 349 ренин прибора 33 (см.фиг.ч ), каретка 6 перемещается влево, а каретка 7 перемещается вправо. При этом спутник 37 с загруженным в него прибором 33, прошедшим измерения, скользит нижним торцом по опорной поверхности 50 разделительной пластины 8. При совмещении пазов 43 каретки 6, пазов 45 разделительной пластины 8, пазов 44 каретки 7 и пазов 46 разделительной пластины

9 спутник 37 с измеренным прибором

33 поступает в лоток 29, перемещаемый шаговым электродвигателем 28 раскладчика разбракованных приборов. Индукционные датчики 22 посредством поводка 21, закрепленного на общем валу 19 с кулачками 20, обеспечивают подачу сигналов начала и конца измерения на измеритель 26.

После обработки информации,поступающей с контактных колодок 23 и 24 измеритель 26 подает соответствующий сигнал на блок управления 27, управляющий шаговым электродвигателем 28 раскладчика разбракован— ных приборов. Команда, поступившая с измерителя 26 через блок управления 27 на шаговый электродвигатель

28, обеспечивает остановку лотка 29 у соответствующеи тары 30, куда попадает измеренный прибор 33, загруженный в спутник 37. Одновременно с выгрузкой измеренного прибора 33 происходит коммутация выводов прибора 34, загруженного в спутник

38, контактной колодкой 24 с измеритЕлем 26, а последующий прибор

35, эагружненный в спутник 39, высвобожденный от защемления прижимом

12, поступает в пазы 43 каретки 6.

По окончании измерения прибора 34 см.фиг.10) каретка 7 перемещается влево, а каретка 6 перемещается вправо. При этом спутник 38 с загруженным в него прибором 34, прошедшим измерение, скользит нижним торцом по опорной поверхности 51 разделительной пластины 9. При совмещении пазов 44 каретки 7 и пазов 46 разделительной пластины 9, спутник 38 с прибором 34 поступает в лоток 29, откуда загружается в соответствую- щую тару 30 раскладчика разбракованных приборов. Прибор 35, загруженный в спутник 39, поступает во время разгрузки измеренного .прибора в контактную колодку 23. Далее цикл работы повторяется.

Формула . изобретения

Устройство для контроля и раэбраковки радиоэлементов, преимущественно полупроводниковых приборов и микросхем, содержащее размещенный на основании загрузочный механизм с

805451

t0 питателем, механизм подачи радиоэлементов, выполненный в виде. двух связанных с приводным механизмом кареток с пазами для прохода радиоэлементов, контактные колодки, измеритель, блок управления и раскладчик разбракованных радиоэлементов, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности, оно снабжено двумя подпружиненными отсекателями, закрепленными на основании на уровне середины каждой каретки и двумя неподвижными разделительными пластинами, размещенными под каретками и подпружиненным прижимом, установленным на верхней каретке с возможностью взаимодействия с радиоэлементами, находящимися в питателе, причем в каждой каретке выполнены прорези для прохода отсекателей и дополнительные пазы для прохода радиоэлементов, расположенные на расстоянии от основных пазов, равном величине хода каретки, а в каждой разделительной пластине выполнены сквозные прорези, совпадаю- щие с пазами кареток.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 560278, кл. Н 01 4 21/66, 1977.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 565339, кл. Н 01 L 21/66, 1977 (прототип).