Устройство для обработки плоскихповерхностей деталей

 

Союз Советских

Социалистических

Реслублик

<»> 8I8837

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 08.12.78 (21) 2694590/25-08 с присоединением заявки— (23) Приоритет— (43) Опубликовано 07.04.81. Бюллетень № 13 (45) Дата опубликования описания 06.05.81 (51) M.Kë з В 24 В 37/04

Государственный комитет

Ilo делам изобретений и открытий (53) УДК 621.923.74 (088.8) (:-.

Б. П. Андреев, Н. И. Воронин и Г. Г. Константинов.-,;;.-,... """" " / у (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ

ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к абразивной обработке и .может быть -использовано для химико-механической доводки, полировки плоских поверхностей деталей .из стекла, керамики, пластмассы, цветных сплавов и т. д, Известно устройство для доводки плоских по вержностей деталей, содержащее привод, кольцеобразный корпус с гнездами для обрабатываемых изделий, соединенными с источником вакуума;посредством гибкого шланга, кинематически связанкого с механизмом прижима издел ий к доводочному диску, смонти рова н ным в,стакане (1).

Основными недоставками этого устройства являются: — трудность регулировки рабочего усилия врижапия обрабатываемых пластин к вращающемуся доводочкому диску станка, определяющепо интенсивность IH точечность ,процесса обработки, из-,за наличия .з начнтельных сил трения в вакуумном уплотнении сальникового типа, которое герметиэиIðóåò вращающийся корпус; — усилие герметизации в вакуумном уплотнении снижает скорость вращения устройства с пластинам и, что отрицательно оказывается на начес не полировки пластин; — .неудовлетворительная воспроизводимость технолопичеакого процесса полировки, вызванная непостоянством сил трения во вращающемся вакуумном уплоткении при ere,ðåãóëHðî âàHHH; — огрыв обрабатываемых пластин от плоскостей внезд в случае повреждения любой,из обрабатываемых пластин, так как ,наступает разгерметизация всех внезд уст10 ройства; — затрата времени, связанная с повторHbIM закреплением .всех пластик а случае замены одной дефектной пластины.

Целью изобретения является повышеиие точности и качества ю бработки плоских поверхностей деталей.

Эта цель достигается тем, что устройство снабжено сильфонам и, один из KG pbrx закреплен IHB стакане IH на связанной с оиеха низмом при жи ма втулке привода, образуя полость, .соединенную,с источяиком вакуума, а другой — на введенном в устройство и расположенном иа корпусе переходном кольце и втулке, лри этом полость, о б25 разованная корпусом и вторым,сильфоном, соединена с внутренней лолостью первого сильфона к выполненными в корпусе рад нальными и вертикальными вакуумными каналами с пнездаMIH для обрабатываемых

ЗО изделий.

818837

Устройство снабжено расположенным в корпусе над,каждым гнездом эксцентриковым 1клапаном с та|рельчатым штоком, полость которого соединена с рабочей полостью гн1езда.

На фиг. 1 |изображен,станок, в .котором применено .предлагаемое устройство, общий в1ид;.на фиг. 2 —,предлагаемое устройство, разрез; на фиг. 3 — разрез А — А фиг. 2; на фи,г. 4 —,разрез Б — Б фиг.,2; 1на ф,иг.

5 — разрез  — В фиг. 2; на фиг. б — разрез à — Г фиг. 2.

Станок (см.,фиг. 1) .оосто1ит из,станины, доводочного диска 1, обтянутого электростатической .зам1шей (в случае .полировки), устройства 2 для обработки плоских,поверхн1остей д|еталей с пр1иводо м и паводка

3, совершавшего,колебатель ные движения

Поводок имеет пружинный механ1изм,прижима изделия к,доводоиному д1иску, о|беспечиваюгций поджим пласти1н к доводочному диску,с удельным давлением от 0,1 до

0,5 Klс/сл (в случае полировки кремн1иевых .пластин) .

Усгройство (с1м. фиг. 2) для обработки ,плоских поверхностей деталей:состоит из

;кольцеобразного иарпуса 4,.в торцовых расточках которого, расположенных по окружности концентрично центральной вортикалыной оси, вакуумно-плотно закреплены вкладыши 5, тор1цы которых расположены строго в одной плоскости и притерты с высокой точностью B чистотой. К .н1ижней плюскости;кольцеобразного корпуса прикреплена обойма б, которая своими отверстиями охватывает вкладыш,:при этом иижняя плоскость обоймы выступает;над торцами вкладышей на величину:меньше, чем окончателыная толщина обработанной пластины. В отверстия обоймы вставляются обрабатываемые пластины 7,,которые своим и плоскостями прилегают к торцам вкладышей. Каждый 1вкладыш,имеет м1ножество отверстий для присоса обрабатываемой пластины,по .плоскости. Отверстия вкладышей вместе .с его:внутренней полостью образуют рабочую полость г .гнезда, .которая соединена каналами а (фиг. 3) с полостью б. В этой полости 1размещена тарелка та1рельчатого штока 8 эксцентри1кового клапа1на. Тарельчатый шток подпружинен и перемещается по отверстию вертикально

1расположен1ной ступенчатой втулки 9 с фланчиком. Полость б соединена с помощью вертикального отверстия 1и 1радиального канала д с основной полостью в кольцеобразного корпуса. Количество эксцентр1иковых клапа1но1в соответствует количеству обрабатываемых пластин.

Рукоятка 10 эксцентрикавого клана на может зани мать DpH положения: — горизонтальное положение 1рукоятки

l0

Зо

65 — вертикальное положение рукоятки соответствует опусканию та рельчатого штока вниз под действ нем пружины 11; — промежуточное положен1ие, показанное на фиг. 2 жирным и л1и1ни.ями.

Нагружающий элемент устройства содержит экспентриковый вал 12, одна из ступеней которого выполнена полой и смонтирована в расточке стакана 18 1на 1ша рикоподшипнике 14. На второй ступени эксцентрикового вала установлена втулка

15 на шарикоподш1ипниках 1б с .возможностью плоскопараллельного 1кругового колебательного движеиия относительно верти,кальной оси 01 — 01 стакана. Втулка снабжена двумя сильфанами — внутренним сильфоном 17 и 1на1ружным сильфоном И.

В1нутренний сильфон верхним краем прикреплен к ста1кану и образует полость, соединяему1о гибким,шлангом 19 с источ1ииком вакуума. Наружный оильфон через пе1реходное кольцо 20 п1рикреплен к кольцеобразному корпусу и образует вместе с анутренней полостью внутреннего сильфона и расточкой.кольцвобразного корпуса замк,нутую полость в, соединенную радиальным д и ве1ртикалынымн каналам1и с гнездами для обрабатываемых .пласти1н..

Давление .на довадоч1ный (полировочный) диск станка от механизма прижима .передается по:вертикальной оси 01 — 01 через переходник 21, стакан 18, жестко связан1ный с переходником .с помощью 1штифто1в 22, шардкоподш1н.ик, далее эксцентриковый вал, шаровой,наконечник вала, подш1ипник 28, корпус, вкладыши и обрабатываемые 1изделия.

Уплотн1итель 24 (фиг. 6) обеспечива1ет вакуумно-плотное крепление ступенчатой втулки 9,с фланчиком над,каждым гнездом в расточке кольцеобразного корпуса.

Перемещение тарельчатого 1штока 8 осуществляется с помощью 1рукоятки 10:с эксцентри1ком, вращающимся вокруг оси 25.

Нижний торец втулки 9 снабжен вврхним,зубам 2б, а торец цилиндрической расточии (в полости б) снабжен нижним зубом 27.

Тарелка штока 8 снабжена двумя уплотнителями: верхним уплотнителем 28 и нижни1м уплотнителем 29, а также пазами для .напуска воздуха при 1развакуумировании гнезда. Сам шток 8 также имеет паз

П1 для напуска воздуха в полость б.

Устройство для обработки плосиих поверхностей деталей работает следующим образом. В исходном положен1ии устройство 2 HpiHIIogl!HBTo над доводоч1ным диском 1 стакана. Рукоятки,10 эксцентриковых клапанов находятся в вертикальном положении, что соответствует отсечке рабочей полости гнезд от,источника вакуума.

Включается источник вакуума и после достижения необходимого разряжения.

R 1 .1 к;ТГ)е ич отвегстий обоймы б на тооец

818837 вкладыша 5 устанавливают пластину 7, подлежущую обработке.

Поворотом .рукоятки 10 против часовой стрелки ее переводят в горизонтальное положение, при этом тарельчатый шток 8 поднимается вверх, а его верхний уплотн итель 28 герметизи рует полость б. Ра.бочая полость г гнезда соед и наяется через каналы а, полость б,:вертлкальное отверстие и горизонтальный канал д с основной полостью в,,находящейся под вакуумом, и пластины 7 закрепляются в отверстиях обоймы б под действием давления атмосфе ры (присасываются к плоскостям вкладышей 5). После закрепления всех пластин успройство 2 опускается на доводочный диок станка (см. фиг. 1) .и подсоединяется к механизму пр ижима и поводку 8. Доводочный диск 1,смач ивается полирующим 20 раствором. Включается ста нок и начинается процесс обработки пластин. С корость вращения доводочного диска 1 равна 50—

150 об/яия, а поводок полировочного станка совершает один двойной ход за один 25 оборот диска.

При применении предлагаемого устройства в пр оизводстве достигается экономия за:счет: 30 — повышения про)изводительности труда крепления пластин на устройстве; — иоключения вспомогательных операций по приготовлению на клеечных смол, наклейки их на металл, расклейии пластин; З5 — упрощения процесса крепления пластики; — повышения геометрической точности обработки пластин; —,повышения процента выхода годных 40 изделий за счет достижения воспроизводимости технологического процесса; — раоширеаия технологических возможностей,и повышения качества обработки.

Кроме того, исключается вырывание обрабатываемых пластики и их порча.

Ф ор мул а .изобретения

Устройство для обработки плоских поверхностей деталей, содержащее привод, кольцеобразный корпус с гнездами для обрабатываемых изделий, соединенными с источником вакуума посредством гибкого шланга, кинематически связанного с механизмом прижима,издел ия к доводочному диску, смонтированньюм в стакане, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и качества обработии, устройство снабжено сильфонами, один из;которых закреплен,:на стакане и на связанной с,механизмом прижима втулке привода, образуя полость, соединенную с источником вакуума, а другой — на введенном в устройство и расположенном .на корпусе переходном кольце и втулке, при этом lIIOJIocTb, образованная корпусом и вторым оильфоном, соеди нена с внутрен ней полостью первого сильфоча и выполненными в .корпусе,радиальными и BepTикальными вакуумными каналами с гнезда ми для обрабатываемых изделий.

2. Устройство по и. 1, отл ич а юще ес я тем, что оно снабжено расположенным в корпусе над каждым гнездом эксцентриковым клапаном с тарельчатым штоком, полость которого соединена с .рабочей полостью гнезда.

Источник информации, принятый во внимание,при экспертизе:

1. Solid State Technology, 1972, v. 15/3, р. 62, Fig. 3.

818837

+ фФ

l7, У//а /

Фиаб

Составитель А. Козлова

Техред Л. Орлова

Редактор Т. Зубкова

Корректор С. Файн

Заказ 420/358 Изд. № 290 Тираж 915 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил пред. «Патент»

Устройство для обработки плоскихповерхностей деталей Устройство для обработки плоскихповерхностей деталей Устройство для обработки плоскихповерхностей деталей Устройство для обработки плоскихповерхностей деталей Устройство для обработки плоскихповерхностей деталей 

 

Похожие патенты:

Притир // 2119422
Изобретение относится к технологии абразивной обработки и может быть использовано преимущественно на операциях доводки, а также шлифования и полирования плоских, плоскопараллельных, цилиндрических и сферических поверхностей

Изобретение относится к области отделочной обработки плоских прецизионных поверхностей, в частности к химико-механическому полированию пластин кремния большого диаметра

Изобретение относится к обработке шлифованием или полированием поверхности тонких хрупких пластин, применяемых, в частности, для производства электронных изделий, например кремниевых и сапфировых

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано для притирки (доводки) плоских поверхностей деталей, например, уплотнительных поверхностей деталей запорной трубопроводной арматуры (золотника вентиля, клина задвижки) как в процессе производства, так и при ее ремонте

Изобретение относится к области полупроводниковых технологий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых пластин, включающем механическую обработку и химическое травление
Изобретение относится к области шлифования и полирования, а именно к обработке монокристаллов

Изобретение относится к области обработки поверхностей сапфировых подложек шлифованием

Изобретение относится к станкостроению и может быть использовано для абразивной обработки плоскопараллельных поверхностей разнообразных машиностроительных деталей
Наверх