Корпус прибора

 

ОП ИКАНИЕ

И ЗОБРЕТЕ H,Èß

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социаттистическ их

Ресттубттим

< >836708 (61) Нополиительиое к авт. свил-ву (22)Заявлено 27.03.76(21) 2593976/18-21 с присоединением заявки J% 2792651/21 (23) П риоритет

Опубликовано 07.06 81. Бюллетень № 21

Ната опубликования описании 10.06.81 (51)М. Кл.

H O1 L 23/02

Гену«арстввнный комитет

СССР но «енаи изобретений н открытий (53) УДК621. .382 (ОЦ8.8) (72) Авторы . изобретения

Э. Н. Молчанов, И. В. Куликов и В. М. (71) Заявитель (54) KOPI1ÓÑ ПРИБОРА

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано при производстве интегральных микросхем больших интегральных схем повышенной надежности с металлическими и диэлек5 трическими герметичными корпусами.

Известно полулроводниковое устройство с совмешенным разрядником, который имеет свой самостоятельный герме.тичный корпус, наполненный газовой смесью при определенном давлении, что обеспечивает низкое напряжение зажигания, которое ниже напряжения разрушения р-и перехода (Х).

Своими выводами разрядник подключен к зашишаемому р-и переходу и шунтирует ток от приложенного напряжения, если оно выше определенного уровня. Это устройство гарантирует надежность приборов or воздействия импульсных нагрузок.

Однако эти устройства не могут обеспечить надежность приборов при воздействии влаги или агрессивных газов, которые могут воздействовать на полупроводниковый элемент в случае разгерметизации корпуса прибора.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является конструкция корпуса прибора, содержащего основание и крышку с изолированным электродом

Недостатком использования такой конструкции является то, что в этом случае высокое напряжение, подаваемое на разрядник, одновременно подается и на полупроводниковый кристалл. В случае срабатывания 1.азрядника через кристалл потечет ток, который может вывести прибор из строя или снизить его надежность.

11елью изобретения является повышение достоверности контроля герметизации.

Достигается это за счет того, что корпус прибора, содержащий герметично соединенные основание и крышку с изолированным электродом, снабжен допол836708

Время (сек)

Натекание

-5 (малое натекание) 10

-Э (среднее натекание) 10

ЯеВ (большое натекание) 1р

3 нйтепьным электродом, закрепленным на крышке корпуса через изолятор и образующим совместно с изолированным электродом разрядник.

На чертеже изображен корпус прибора

Он состоит из металлического основания 1„металлической крышки 2. Внутри корпуса расположены два электрода

3 разрядника, которые проходят через диэлектрические изоляторы в крышке.

Крышка 2 выполнена так, что обеспечивает герметизацию корпуса.

Устройство работает следующим образом.

К разряднику, образованному эпектро дами 3, находящемуся вместе с полу - проводниковым кристаллом в общей полости, ограниченной корпусом, подают испытательное напряжение и фиксируют напряжение начала ионизации с помощью известной аппаратуры. Это значение напряжения сравнивается с первоначальным, которое получается в процессе изготов25 пения и заносится в паспорт изделия.

Огличие измеренного значения от паспортного более, чем на нормированную величину, за известный промежуток вре30 мени указывает на наличие течей и их величину.

Можно показать, что если герметизации полупроводникового устройства с объемом

L0" ï в процессе производства производится в вакуумной камере с давпением

10 мм fm. ст. и в нем находится раз— рядный промежуток, образованный системой электродов игла- плоскость с рас- 4р стояния 0,5 мм, то время, в течение которого напряжение снизится до минималМиего значения, при различных натекаапЫ нияй" йоса напуска в камеру атмосферы изменяется.в соответствии с таблицей.

Из таблицы видим, что процесс контроля герметичности такого устройства может быть очень кратковременным, т.е. производительность контроля герметичности на стадии, изготовления высокая, и что, самое главное, контроль является объе ктивным, так как разрядник находится в объеме вместе с активным элементом и осуществляется контроль внутренней атмосферы. Кроме кого в процессе эксплуатации таких устройств всегда можно, проводить герметичность прямо, в аппаратуре.

Формула изобретения

Корпус прибора, содержащий герметично соединенные основание и крышку с изолированным электродом, о т л и ч аи шийся тем, что, с цепью повышения достоверности контроля герметизации, он снабжен дополнительным электродом, закрепленным на крышке корпуса через изолятор и образующим совместно с изопированным электродом разрядник.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

<.М.T. 0rav еп "pvotecta6 оп eseentiaR ol s gn еРете%1 рдпаР Ч 31, g. 3, 1976, рр. 30/31.

2. !i m. США М 3546363 кл. Н 05 К 5/06, 08.12.70 (прототип).

8367 08

Составитель Е. Гаврилова

Редактор Е. Гончар Техред E. Гаврилешко Корректор М. Шароши

Заказ 3124/40 Тираж 784 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, -35,. Раушская наб., д, 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул.: Проектная, 4