Координатный привод

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВ ЕТЕЛЬСТВУ

СОюз СОВетсннх

Социалистических

Реснублик

tn)860368 (61) Дополнительное к аат. санд-ау(22) 3аявлено 220579 (21) 276 9093/18-21 (51)AL. Ка З

Я 05 К 13/02

Н 01 Ь 21/70 с присоединением заявки Й9

Гвсударствеиинй комитет

СССР яе дман изобретеиий и .открытий (23) Г1рворитетОпубликовано 300881. Бюллетень N9 32

Дата опубликоаамия описания 300881 (53) УДК 621. 382. 77..039(088.8) ° (72) Авторы изобретения

В.-P.A. Гинтарас, P.Ý. Курыло,К.М.Рагул

М.Э. Акялис и Э.й. Гинтарене

t ечкуса

Каунасский политехнический институт им.A (71) Заявитель (54) КООРДИНАТНЫЙ ПРИВОД

Изобретение относится к приборостроению и может быть применено в устройствах координатного позиционирования, например при изготовлении микросхем.

Известно устройство для ориентации подложек при изготовлении микросхем, содержащее координатный стол, выполненный в виде плиты, взаимодействующей с пьезоэлектрическими элементами, в которой выполнены продольные и поперечные пазы, образующие рабочую плиту для размещения подложки, внутреннюю и наружную рамки и упругие элементы, соединяющие 15 их между собой, причем пьезоэлектрические элементы размещены между внутренней и наружной рамками, а также между рабочей плитой и внутренней рамкой (1). 20

Недостатки известного устройства заключаются в малом диапазоне возможных перемещений и сложности конструкции.

Наиболее близким к предлагаемому 25 по технической сущности является координатный привод, содержащий столик и основание с установленныии no его периметру контактными пластинами, фрикционно сопряженньвюи со сто- 3Q ликом, и средство перемещения столика, соединенное с источником напряжения (2).

Однако данное устройство также не обеспечивает необходимой мощности привода и быстродействия.

Цель изобретения - повышение эксплуатационных возможностей.

Поставленная цель достигается тем,. что в координатном приводе, содеркащем столик и основание с установленными по его периметру контактньэни пластинами, фрикционно сопряжеиныии со столиком, и средство. перемещения столика, контактные пластины соединены с источником напряжения и изолированы одна от другой, а средство перемещения столика выполнено s виде электромагнита, установленного таким образом, что линии магнитного поля перпендикулярны плоскости столика.

На фиг. 1 изображена схема устройства; иа фиг. 2 - то же, вид сверху.

Устройство содержит основание 1, в котором установлены четыре контактные пластины 2, подключенные к источнику постоянного напряжения (не показано), расположенные по перимет:

860368

Формула изобретения фмг.1

Составитель 3. Яшина

Техред М. Голинка Корректор A. Ференц

Редактор С. Юско

Тираж 889 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 7582/32

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 ру столика в виде прямоугольника, изолированные между собой и фрикционно сопряженные со столиком 3, а также постоянный электромагнит 4 с

«атушкой 5, установленной так, что силовые линии магнитного поля перпендикулярны плоскости столика.

Устройство работает следующим образом

К источнику постоянного. напряжения подключаются две парал- fO лельные контактные пластины 2, а также катушка 5 постоянного магнита . 4. Через столик 3 протекает ток, при взаимодействии которого с магнитным полем, 35 создаваемым электромагнитом 4, возникает сила, перпендикулярная направле" уию протекания тока и силовым линиям магнитного поля. Таким образом, создаваемая сила лежит в плоскости щ столика 3 и параллельна контактным планкам 2, подключенным к источнику постоянного напряжения. Она перемещает столик 3. Изменение напряжения силы, а тем самым и перемещение столика 3, осуществляется изменением направления протекания тока в столике 3 или в катушке 5 электромагнита 4 °

Устройство позволяет увеличить диапазон перемещений до 60 - 80 мм и упростить конструкцию.

Координатный привод, содержащий столик и основание с установленными по его периметру контактными пластинами, фрикционно сопряженными со столиком, и средство перемещения столика, соединенное с источником. напряжения, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуа» тационных возможностей, контактные пластины соединены с источником напряжения и изолированы одна от другой, а средство перемещения столика выполнено в виде электромагнита, установленного таким образом, что линии магнитного поля перпендикуляр« ны плоскости столика.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 541305, кл. Н 05 К 3/00, 1976.

2.. Авторское свидетельство СССР по заявке 92694967/21,кл.Н 01 L 21/70i

18.12.78»