Устройство для прецизионного позиционирования объектов

Авторы патента:

H01L21/68 - аппаратура для крепления или установки компонентов во время изготовления, например зажимные приспособления, шаблоны, калибры

G12B1 - Чувствительные элементы, способные производить движение или перемещение, применение которых не ограничивается целями измерения; передаточные механизмы, связанные с ними

G05D3 - Управление или регулирование местоположения или направления (G05D 1/00 имеет преимущество; для цифрового управления G05B 19/18)

1 . к

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (1 11 660028

Союз Советских

Социалистических

Ресоублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.01.78 (21) 2579156/18-21 (51) Ч. Кл. -

G 05D 3/00

G 12В 1/00

Н OIL 21/70 с присоединением заявки ¹

Государственный комитет (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.04.79. Бюллетень ¹ 16

Совета Министров СССР по делам изобретений (53) УДК 621.396.6-181.4 (088.8) j (45) Дата опубликования описания 30.04.79 (72) Авторы изобретения Н. И. Никулин, В. Н. Комаров, И. И. Поярков и В. Ф. Северинов (7I) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОГО

ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ОБЪЕКТОВ

Изобретение относится к устройствам для прецизионного позиционирования объектов с регулируемым шагом перемещения и может быть использовано при производстве полупроводниковых элементов.

Известны устройства для шагового прецизионного позиционирования объектов, содержащие каретку, связанную с приводным механизмом, и механизм коррекции величины перемещения, кинематически связанный с кареткой (1 вЂ” 3).

Недостатком известных устройств является их сложность из-за наличия многих кинематических связей, что увеличивает габариты устройств и снижает надежность их работы.

Цель изобретения вЂ” упрощение конструкции устройства.

Цель достигается тем, что в устройстве для прецизионного позиционирования обьектов, содержащем размещенный на основании суппорт, связанный с приводным механизмом, и механизм коррекции величины перемещения суппорта, включающий установленную на суппорте каретку, связанную посредством ходового винта с копяром, копир выполнен в виде охватывающей ходовой винт одновитковой спиральной пружины, один конец которой жестко связан с ходовым винтом, а средняя часть и другой конец пружины связаны соответственно с основанием и ходовым винтом с возможностью изменения положения точки связи по длине винта.

На чертеже изображено устройство в разрезе.

Устройство содсржит основание 1, на котором размещен суппорт 2, связанный с приводным механизмом 3. На суппорте 2

10 размещена каретка 4, на которую устанавливают объект. Каретка 4 посредством ходового винта 5 связана с копиром, выполненным в виде одновптковой спиральной пружины б, охватывающей ходовой винт 5 и жестко закрепленной на нем одним концом. На конце ходового винта установлен упор 7, îòîðûé имеет возможность перемещения вдоль хвостовика кодового винта и фиксации в выбранном поло20 женпи. На основании 1 жестко закреплена стойка 8. Свободный конец пружины b расположен в пазах упора 7 и стойки 8.

Устройство работает следующим образом.

25 Упор 7 устанавливают в требуемом месте хвостовика ходового винта 5, определяемом необходимой величиной корректировки, и фиксируют в этом положении. Приводной механизм 3 перемещает суппорт 2

30 вместе с кареткой 4 и ходовым винтом 5.

66(21228

Составитель Г. Цадучин Корректор Л. Орлова

Редактор Е. Караулова

Заказ 556/1 Изд. ¹ 267 Тираж 1014 Подписное

НПО Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, К-35, Раушская иаб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова. 2

При этом происходит перемеше:!ие копира

6 относительно стойки 8 и за счет взаимодействия копира 6 и стойки 8 ходовой винт совершает поворот. При этом каретка 4 получает дополнительное перемещение. Изм си е н 11 с у Гл !! н а к л Он а K o II EI p 2 6 О т н О с ительно оси ходового винта 5, осуществляемое изменением положения упора 7, позволяет регулировать величину дополнительного перемещения каретки 4, г. е. корректировать величину сс перса!с!ценкя.

Формула изобретения

Устройство для прецизионного позиционирования объектов, содержащее размещенный на основании суппорт, связанный с пригодящпм механизмом, и мс. анизм коррекции величины перемещения суг:порта, включаю(ций установлснну10 на суппорте каре rH>,, ceiяза:!н > in по(педгтво л халс>1зГ21 О

ВИНта C КОПИРОМ. r т I EI Ч а Ю Ш С Е С и тЕМ. что, с целью упрощения конструкции уc>,-ройства, копир выполнен в виде охватывающей ходовой винт Одновнтковой спиральiloEi пр "жин1>1, Один voHOII коl орой;кест!:() связан с ходовым в!щтом> а средняя част!, и другой конец пружины связаны соответственно с основанием и ходовым винтом с возмон<ностыо изменения положения точк1, связи по длине винта.

1 1 с т 0 > H н к н 11 н ф 0 1) х H 111111, !!ринятыс Hо вн!!манне Ilpi. экспертизс

1. Авторское свидетельство СССР

15 № 421443, кл. В 23Q 3 10, 13.12.71.

2. Авторское свидетельство СГГ P

М 411968, кл. В 23Q 3, 10> 18.05.72.

3. Авторское свидетельство (СГР

¹ 61546, кл. В 23В 5/18, 19.09.38.