Способ ориентации объекта

 

< ц834806

ОП ИСАНИЕ

ИЗЬВРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскык

Соцыалыстыческык

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 01. 06. 77 (21) 2490091/18-21 с присоединением заявки,% (23) Приоритет

Опубликовано 30 ° 05,81. Бюллетень М20

Дата опубликования описания 10.06.81 (Я)М. Кл.

Н О1 L 21/68

Гасудврстеенный квинтет

СССР пв делам нзааретений н аткрытнй (53) УДК621.382. .002(088.8) В .С.Умов, В.Ф.Юрченков, А.В.Лошаков, А.Г.Филатов и Ю.П.Евстратов . " . а А, (72) Авторы изобретения т си в (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОРИЕНТАЦИИ ОБЪЕКТА

Изобретение относится к технологии изготовления многослойных. rieчатных плат, а точнее к способам совмещения отметок совмещения (реперных знаков} слоев многослойных пе5 чатных плат на смотровом устройстве для последующего выполнения в них отверстий относительно отметок совмещения, и может быть использовано в машиностроительной, радиоэлектронной, авиакосмической промьппленности и др.

Известен способ юстировки, которьпт заключается в том, что совмещают изображения, расположенные на одной прямой линии в разных плоскостях, помещенных друг под другом. Для этого подсвечивают изображения, отражают лучи через систему зеркал, одновременно фокусируют и, увеличив, подают на смотровое устройство 1,1).

Однако известный способ не позволяет совмещать изображения, расположенные на одной прямой линии, находящиеся в одной плоскости, не дает достаточной точности и сложен для оператора за счет совмещения целых изображений, а также сложен в реализации.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ ориентации объекта, преимущественно печатной платы, включающий перемещение объекта, одновременное проецирование на экран изображений двух реперных знаков объекта j2 j.

Недостатком известного способа являются небольшие технологические воэможности.

Цель изобретения — расширение технологических возможностей.

Цель достигается тем, что в способе .ориентации объекта, преимущественно печатной платы, включающем перемещение объекта, одновременное проецирование на экран изображений двух реперных знаков объекта, изоб834806 на поражение одного из реперных знаков проецируют на экран зеркально отраженным по отношению к изображению второго знака.

На фиг. 1 показано расположение слоя печатной платы с реперными знаками на рабочем столе, ход лучей и рисунок совмещения на смотровом уст- ройстве; на фиг. 2 — слой печатной платы смещен влево; на фиг. 3 — слой 10 печатной платы смещен вправо; на фиг. 4 — слой печатной платы имеет положительный допуск на.межцентровое расстояние между реперными знаками; на фиг. 5 — слой печатной пла- 15 ты имеет отрицательный допуск на межцентровое расстояние между реперными знаками.

Сущность способа заключается в следующем. 20

На рабочем столе 1 располагают слой печатной платы 2 с реперными знаками 2-1 и 2- 2, имеющими допуска на межосевое расстояние L +о на размеры:,наружные О+ и на внутренние d+E. Элементы изображений реперных знаков подсвечивают каждый в отдельности и их увеличенные объективами 3 и 4 изображения через свою систему зеркал: для 2-1 — 5-7 и для

2-2 — 8 — подают на зеркало отражения-пропускания 9 с помощью лучей.

Лучи соответственно от точек 10 и

11 внутреннего контура реперного знака 2-1 пройдя через систему зер1 с кал 5-7,, оборачиваются на 180, проходя через отверстие зеркала 9 и проецируют на экране 12 смотрового устройства зеркальное изображение этих точек.

Лучи от точек 13 и 14 наружного контура реперного знака 2-2, пройдя объектив 3, отразившись от зеркала

8, попадают иа зеркало 9, которое отражает изображение точек наружно- 45 го контура. Изображение наружного контура реперного знака 2-2 проецируется на экране 12 смотрового устройства прямо.

Таким образом, чтобы выставить

50 слой платы, необходимо построить на одном экране проекционного смотрового устройства одно полное изображение отметки совмещения путем одновре55 менного совмещения прямого и зеркального изображения неодинаковых элементов двух реперных знаков, находящихся в одной плоскости на одной прямой.

На одном экране смотрового устройства 12 получают увеличенные при необходимости с разными коэффициентами увеличения и достраиваемые до вписанных или описанных фигур неодинаковые элементы реперных знаков 2-1 и 2-2 слоя печатной платы 2, причем величину возможного недостроения уравнивают перемещением слоя печатной платы на рабочем столе 1 на глаз.

Идеальный случай — S=O мм.

В остальных случаях точность выставки реперных знаков определяют на основании величин погрешности К в мм, зависимой от величины интервала

S в мм и кратности увеличения.

Существует таблица зависимости этих величин, в которой учитываются возможности человеческого глаза.

S — интервал, мм 1 2 3 4 (величина недостроения);

К вЂ” величигрешности глаза, мм 0,035 0,050 0,064 0,074

Формулу расчета фактической погрешности на величину недостроения S (до вписанных или описанных фигур) при совмещении неодинаковых элементов реперных знаков при выставке слоя можно представить следующим образом. Величина погрешности глаза К в мм, соответствующая интервалу S деленная на кратность увеличения, дает фактическую погрешность на величину недостроения S в мм. Регулируя эти величины при создании конструкции, реализующей предлага-. емый способ, получим точность выставки от сотых долей до нуля, Пример 1. Слой смещен, например влево (фиг. 2). Смещение по оси для левого реперного знака для правого — t, что на экране с учетом коэффициента увеличения для каждого реперного знака соответствует

tg Ки t К. .Изображения элементов реперных знаков в этом случае расходятся.

Пример 2. Слой смещен вправо (фиг. 3), изображения реперных. знаков в этом случае на экране расходятся, поменяв направления. Из этого следует, что совмещение изображений происходит с удвоенной скоростью. печатной платы, усреднить допуск на исполнение реперных знаков, сократить время выставки, значительно повысить производительность труда оператора, снизить квалификацию оператора, реализовать способ простыми и дешевыми средствами, исключить операцйю контроля, благодаря гарантированной высокой точности выставки.

Формула изобретения

Способ ориентации объекта, преимущественно печатной платы, включающий перемещение объекта, одновременное проецирование на экран изображений двух реперных знаков объекта, отличающийся тем, что,с целью расширения технологических возможностей, изображение одного из реперных знаков проециру-, ют на экран зеркально отраженным по отношению к изображению второго знака.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Франции У 2079163, кл. Н 01 1 7/00, 1971.

2. Фотолитография и оптика. Под ред. Я.А.Федотова, Г.Поня, "Советское радио", 1974, с. 283, рис. 11, 35 5 б.

5 834806

Пример 3. На,фиг. 4 слой 2 имеет положительный допуск на межцентровое расстояние между реперными знаками. При совмещении изображений элементов реперных знаков в результате оптического сложения слоя относительно оси симметрии допуск на межцентровое расстояние о" автоматически располовинивается — о"/2. На экране 12 смотрового устройства изоб- 10 ражение отдельных элементов реперных знаков смещено влево отноительно оси симметрии экрана .на величину 6"/2, помноженную на кратность увеличения. 15

Пример 4. При отрицательном допуске на межцентровое расстояние (фиг. 5) изображение отдельных элементов реперных знаков смещено вправо относительно оси симметрии 20 экрана на величину У/2, помноженную на кратность увеличения. Из этого следует, что точность выставки ,слоя по отметкам реперных знаков не зависит от величины и знака допуска на межцентровое расстояние. Величина смещения изображения реперных знаков влево или вправо относительно оси экрана смотрового устройства дает возможность судить о величине и .знаке допуска на межцентровое расстояние между ними.

Таким образом, предлагаемый способ совмещения изображений позволяет повысить точность выставки слоя