Вакуумная установка

 

Союз CoBBTcKNx

Соцкалксткческкк

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ()))883552 (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22)Заявлено 22.09.78 (21) 2669597/25-06 с присоединением заявки М— (23) Приоритет

Опубликовано 23. 11.81. 61оллетень М43

Дата опубликования описания 23. I 1.81 (5l)M. Кл.

F 04 В 37/14

Государства(иык комитет

СССР по долам изабретеиий и открытий (53) УДК 621.522. .1 (088.8) С.М.Зингер, И.В.Капустяк и В.И.Пру ников

l (72) Авторы изобретения

I

f - 4 - Ф

Ë(/ (71) Заявитель (54 ) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известны вакуумные установки,содержащие высоковакуумные насосы, ° подключенные к общему форвакуумному насосу посредством клапанов.

Подключение нескольких высоковакуумных насосов к одному форвакуумному позволяет увеличить производительность установки gl) .

Однако наличие параллельных откачных магистралей приводит к тому, что случайное повышение давления в одной из магистралей влияет на давление в других магистралях. Это обстоятельство может сказаться на .качестве откачиваемых изделий.

Цель изобретения — повышение производительности и надежности вакуумной установки.

Укаэанная цель достигается тем, что между клапанами и высоковакуумными насосами расположены форвакуумные бачки и распределительный механизм. имеющий подключенный к форвакуумному насосу герметичный корпус с установленным в нем приводным кулачковым валом, и клапаны установлены на корпусе, а последний снабжен направля5 щими и расположенными в них толкателями, взаимодействующими с валом и клапанами.

На фиг.1 показана схема вакуумной установки; на фиг.2 — распределитель 10 ный механизм, .разрез.

Вакуумная установка содержит высоковакуумные насосы 1,2 и 3, подключенные к общему форвакуумному насосу

4 посредством клапанов 5,6 и 7. Между

15 клапанами 5,6 и 7 и высоковакуумными насосами 1,2 и 3 расположены форвакуумные бачки 8,9 и 10 и распредели- . тельный механизм 11 имеющий под20 ключенный к форвакуумному насосу 4 герметичный корпус 12 с установленным в нем приводным кулачковым валом 13, и клапаны 5,6 и 7 установлены на корпусе 12,.а последний снабжен напоав883552 уера ляющими 14,1) и 16 и расположенными в них толкателями 17, 18 и 19, взаимодействующими с валом 13 и клапанами 5,6 и 7.

Установка работает следующим образом.

Включаются форвакуумный насос и высоковакуумные насосы 1,2 и 3 и начинает работать распределительное устройство ll, поочередно подключающее каждый высоколакуумный насос через форвакуумные бачки 8,9 и 10 к форвакуумному насосу 4. Таким образом, необходимое давление на выходе из высоковакуумных насосов поддерживается поочередно форвакуумным насосом 4 или форвакуумными бачками 8,9 и 10.

В случае резкого повышения давления в одной иэ магистралей системы, влияния на параллельные ей магистрали оказано не будет.

Введение распределительного клапанного устройства позволяет увеличить производительность оборудования и исключить взаимное влияние газовых потоков в параллельных трактах откачки.

Формула изобретения

Вакуумная установка, содержащая высоковакуумные насосы, подключенные к общему форвакуумному насосу посредством клапанов,о т л и ч а ю щ а я— с я тем, что, с целью повышения производительности и надежности, между клапанами и высоковакуумными насосами расположены форвакуумные бачки и распределительный механизм, имеющий подключенный к форвакуумному насосу герметичный корпус с установленным в нем приводным кулачковым валом, и клапаны установлены на корпусе, а последний снабжен направляющими и расположенными в них толкателями, взаимодействующими с валом и клапанами.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Пипко А.И. и др. Конструирование и расчет вакуумных систем. M., Энергия", 1970, с. 419.

1 1 в

883552

Составитель Н. 1Ошин

Редактор А.Шандор Техред О,Дюлай Корректор А. Дзятко т

Заказ 10 167/56 Тираж 715 . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4