Способ изготовления пъезорезонансного датчика

 

Союз Советских

Социапистичесиик

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (ii) 892655 (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 30.0580 (2I ) 2932717/18-23 с присоеаинением заявки Я (23)Приоритет

Опубликовано 23.1 231, Бюллетень Рй 47 (51)М. Кл.

Н 03 Н 3/02

3Ьвударствснаый каиитет

СССР. по делам язабратеиий и аткрытнй (53) УД К 621. 398.. 694. 3: 531. 787

° 913 (088. 8) йата опубликования -описания 23,1281

1 )

1

Ленинградский институт авиационного приборостроения- -- ".

Министерства высшего и среднего специального образоватттттт=:-.

РСФСР (72) Авторы изобретения

В. К. Добрускин и С. E. Кураш вили (7l) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОРЕЗОНРНСНОГО ДАТЧИКА

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при изготовлении пьезорезонансных датчиков аммиака.

Известен способ изготовления пьезорезонансных датчиков газового состава, основанный на нанесении сорбционного покрытия на поверхность пьезо" элемента, при котором в качестве покрытия используют пленки стекла, кремнеземе, HgF<, медь, золото, сульфиро10 ванный поли стирол, сили ка гель с различными пропитывающими составами, причем покрытия наносят на пьезоэлемент, например, вакуумным напылением, 15 электрохимическим осаждением, нанесением раствора с последующим испарением растворителя Г11.

Недостатком этого способа является от сутст вие избирател ь ной чу вст вительности по аммиаку.

Известен также способ изготовления пьезорезонансных датчиков, при котором на электроды пьезоэлемента наносят пленочное покрытие, чувствительное к парам определяемого вещества.

В качестве покрытия при этом используют производные капрона, растворенные в муравьиной кислоте, которое наносят на вращающийся с определенной скоростью пьезоэлемент распылением через диафрагму ) 2).

Недостатком известного пьезорезонансного датчика также является отсутст вие и збирател ьной чу вст вител ьности к,аммиаку, поскольку присутствие в атмосфере паров аммиака выводит из строя датчик вследствие необратимого химического взаимодействия аммиака и его производных с капроном.

Цель изобретения - обеспечение избирательной чувствительности пьезорезонансного датчика к аммиаку.

Указанная цель достигается тем, что в качестве материала покрытия выбирают медь с последующим воздействием на нее паров хлорида титана ,(IV), при этом весовое соотношение

2655

Формула изобретения

Составитель Л. Стерликова

Редактор В. Лазаренко Техред A Ач Корректор Г. Решетник

Заказ 11278/82 Тираж 991 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 89 выбирают из условия непревышения соотношения 1: 4.

Пример. Последовательность операций при выполнении предлагаемого способа следующая: пьезоэлемент с серебряными электродами обезжиривают и очищают, затем на поверхность серебра электрохимическим способом наносят медь так, чтобы уход частоты вследствие нанесения меди составил 10-150 кГц. Пьезоэлемент с медным электродом тщательно промывают дистиллированной водой, сушат и затем обрабатывают парами ТiСly в потоке газа, осушенного от паров воды до влагосодержания не выше 200 мг/м или в вакууме с остаточным давлением не выше 0,1 мм рт.ст.

Пленка продуктов спосоЬна реагировать с аммиаком с образованием различных комплексных соединений аммиаком с образованием различных комплек. сных соединений аммиакатом меди и титана. Таким образом масса пленки возрастает, что сопровождается уменьшением резонансной частоты. По мере увеличения концентрации аммиака образуется большее число аммиакатов с высоким содержанием аммиака и масса пленки растет. При снижении концентрации аммиака аммиачные комплексы начинают

4 разрушаться и масса пленки уменьшается, Предлагаемый способ позволяет изготовить пьезорезонансный датчик, обладающий высокой чувствительностью к аммиаку и дающий возможность измерять количество аммиака в атмосфере при его концентрации от 1 до более

2000 мг/м .

Способ изготовления пьезорезонансного датчика, при котором на электроды пьезоэлемента наносят лленочное покрытие, чувствительное к парам определяемого вещества, о т л и ч а юшийся тем,, что,,с целью обеспечения избирательной чувствительности датчика к аммиаку, в качестве материала покрытия используют медь с последующим воздействием на нее паров хлорида титана (IV) при этом весовое соотношение выбирают из условия непревышения соотношения 1:4.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Малов В.В. Пьезорезонансные датзе чики. М, "Энергия" 1978, с. 201-210.

2. Авторское свидетельство СССР

М 441426, кл. G 01 и 25/60, 1974.