Турбомолекулярный вакуумный агрегат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 12.09.77 (21) 2522659/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет—

Опубликовано 28.02.82. Бюллетень № 8

Дата опубликования описания 10.03.82 (51) М. Кл.з

F04 D 19/04.Гееударствввлый квнлтет (53) УДК 621.527.

Я (088.8) лв делан изобретений и еткрнткй (72) .Авторы изобретения

В. Н. Кеменов и Л. Б. Леонов (71) Заявитель (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫй ВАКУУМНЫЛ АГРЕГАТ та.

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству турбомолеку.лярных. вакуумных агрегатов.

Известен турбомолекулярный вакуумный агрегат, содержащий последовательно соединенные форвакуумный и турбомолекулярный насосы с приводными электродвигателями и систему управления и блокировки, включающую цепи питания электродвигателей от внешнего источника (1).

Недостатком известного агрегата является значительные энергозатраты.

Цель изобретения — снижение энергозатрат.

Указанная цель достигается тем, что на валу электродвигателя форвакуумного насоса установлен генератор, связанный цепью питания с электродвигателем турбомолекулярного насоса, а в цепи питания электродвигателя форвакуумного насоса установлено реле, контакты которого расположены в цепях питания электродвигателя турбомолекулярного насоса от внешнего источника и генератора.

На чертеже представлена схема агрегаТурбомолекулярный вакуумный агрегат содержит последовательно соединенные форвакуумный и турбомолекулярный насосы 1 и 2 с приводными электродвигателями 3 и 4 и систему 5 управления и блокировки, включающую цепи 6 и 7 питания электродвигателей 3 и 4 от внешнего источника, причем на валу электродвигателя 3 форвакуумного насоса 1 установлен генератор 8, связанный цепью 9 питания с электродвигателем

4 турбомолекулярного насоса 2, а в цепи 6 питания электродвигателя 3 форвакуумного насоса 1 установлено реле 10, контакты 11 и 12 которого расположены в цепях 7 и 9 питания электродвигателя 4 — турбомолекулярного насоса 2 от внешнего источника и

15 генератора 8.

Агрегат работает следующим образом.

При подаче питания от внешнего источника в цепи 6 и 7 срабатывает реле 10 и замыкает нормально разомкнутые контакты 12, расположенные в цепи 7 питания.

Происходит запуск форвакуумного насоса 1 и разгон ротора турбомолекулярного насоса 2. По мере понижения давления на входе

909324Формула изобретения

Составитель В. Кряковкин

Редактор М. Лысогорова. Техред А. Бойкас Корректор Е. Рошко

Заказ 852 54 Тираж 671 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушскай наб., д. 4/5 филиал ППП <Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 в форвакуумный насос потребляемая им мощность уменьшается и становится возможным использовать резерв мощности для питания турбомолекулярного насоса 2. Для этого реле 10 через определенный промежуток времени размыкает контакты 12 и замыкает контакты ll в цепи 9 питания электродвигателя 4 от генератора 8, тем самым отключая электродвигатель 4 от внешнего источника и подключая его к генератору 8.

Таким образом, используя резерв мощности электродвигателя форвакуумного насоса общие энергозатраты на работу агрегата снижаются.

Турбомолекулярный вакуумный агрегат, содержащий последовательно соединенные форвакуумный и турбомолекулярный насосы с приводными электродвигателями и систему управления и блокировки, включающую цепи питания электродвигателей от внешнего источника, отличающийся тем, что, с це лью снижения энергозатрат, на валу электродвигателя форвакуумного насоса установлен генератор, связанный цепью питания с электродвигателем турбомолекулярного насоса, а в цепи питания электродвигателя фор вакуум ного насоса установлено реле, тв контакты которого расположены в цепях питания электродвигателя турбомолекулярного насоса от внешнего источника и генератора.

Источники информации, 1S принятые во внимание при экспертизе

l. Ваккумная техника. Справочные таблицы. М,, «Реклама», 1975, с. 30.