Турбомолекулярный насос

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗЬБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

< >909325 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 27.06.80 (21) 2949604/25-06 с присоединением заявки № (23) Приоритет— (51) М Кл з

F04 D 19/04

Гасударственный кемнтет

Опубликовано 28.02.82. Бюллетень № 8 (53) УДК 621.528.

7. (088.8) 60 делам нэобретеннй н еткрмтий

Дата опубликования описания 10.03.82 (72) Автор изобретем ия

В. П. Мелюхов (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫй НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных насосов.

Известен турбомолекулярный насос, содержащий корпус и размещенный в нем облопаченный ротор, расположенный на валу, установленном в радиальных и опорном газовых подшипниках. Электррдвигатель насоса размещен вне корпуса и связан с валом посредством магнитной муфты (1).

Недостатком известного насоса являют-. ся его большие габариты.

Известен также турбомолекулярный насос, содержащий корпус и размещенные в нем облопаченный ротор и ротор встроенного электродвигателя, соосно расположенные на вертикальном валу, установленном в радиальных и опорном газовых подшипниках (2).

Однако размещение встроенного электродвигателя в области проточной части насоса снижает его производительность и увеличивает радиальные габариты.

Цель изобретения — увеличение производительности и уменьшение радиальных габаритов.

Указанная цель достигается тем, что в устройстве ротор электродвигателя установлен под радиальными подшипниками и служит пятой опорного подшипника.

На чертеже представлена принципиальная схема насоса, продольный разрез.

Турбомолекулярный насос содержит корпус 1 и размещенные в нем облопаченный ротор 2 и ротор 3 встроенного электродвигателя, соосно расположенные на вертикальном валу 4, установленном в радиальных и

1О опорном газовых подшипниках 5 — 7, причем ротор 3 электродвигателя установлен под радиальными подшипниками 5 и 6 и служит пятой опорного подшипника 7.

Насос работает следующим образом.

При подаче рабочего газа в подшипники 5 — 7 облопаченный ротор 2 насоса приходит во взвешенное состояние и подвод питания к электродвигателю обеспечивает разгон ротора 2 и нормальную работу насоса.

Установка ротора электродвигателя под радиальными газовыми подшипниками и выполнение им функций пяты опорного подшипника позволяет повысить производительность насоса за счет увеличения проточной

909325

Формула изобретения

°

° е

Составитель В. Кряковкин

Редактор М. Лысогорова Техред А. Бойкас Корректор Е. Рошко

Заказ 852/54 Тираж 671 Поднисное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )K — 35, Раушская- наб., д. 4/Ь филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 части, уменьшить радиальные габариты насоса и его вес за счет исключения специального опорного газового подшипника, а также улучшить условия охлаждения электро д в и гател я.

Турбомолекулярный насос, содержащий корпус и размещенные в нем облопаченный ротор и ротор встроенного электродвигателя, соосно расположенные на вертикальном валу, установленном в радиальных и опорном газовых подшипниках, отличающийся тем, что, с целью увеличения производительности и уменьшения радиальных габаритов, ротор электродвигателя установлен под радиальными подшипниками и служит пятой опорного подшипника.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Франции № 216f180, кл. F 04 В 37/00, опублик. 1973.

4й 2. Патент США № 3969042, кл. 417 †3, опублик. 1976.