Способ контроля герметичности

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистических

Республик

«i>917019 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 1007.79 (21) 2795604/25-28 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет—

Опубликовано 360382. Бюллетень ¹12

Дата опубликования описания 300382 (И) М. Кп.з

G 01 М 3/02

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53)УДК 620.165.29 (088.8) (72) Автор изобретения

B.Т. Кузьмина

f73) Заявитель (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ

Изобретение относится к испыта тельной технике, в частности к контролю герметичности замкнутых иэделий, Известен способ контроля герметичности замкнутых изделий, заключающийся в том, что испытуемое изделие помещают в контрольную камеру, вакуумируют ее„ соединяют камеру с датчиком давления и о герметичности изделия судят по уровню давления в системе измерения, достигаемому к моменту завершения откачки (1).

Данный способ имеет ограничение по верхнему пределу обнаруживаемых течей в негерметичных изделиях. Это вызвано тем, что через крупные дефекты газ откачивается практически сразу.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигае-. мому эффекту является способ контроля герметичности замкнутых изделий, например полупроводниковых приборов, заключающийся в том, что испытуемое изделие опрессовывают при повиаенном 25 давлении пробного газа, выдерживают изделие на воздухе для десорбции пробного газа с поверхносТи изделия и помещают его в контрольную камеру для последующей индикации пробного 30 газа, вытекающего из.изделия,с помощью масс-спектрометрического анализатора (21.

Этот способ обладет высокой чувствительностью при поиске малых течей, но не позволяет выявлять изделия с большими течами„ так как пробный газ успевает вытечь из изделия до помещения его в контрольную камеру эа время, необходимое для десорбции пробного газа с поверхности изделия после опрессовки.

Цель изобретения — расширение диапазона выявляемых утечек в сторону больших течей.

Эта цель достигается тем, что в способе контроля герметичности замкнутых изделий, например полупроводниковых приборов, заключающимся в том, что испытуемое изделие опрессовывают при повышенном давлении пробного газа, выдерживают иэделие на воздухе для десорбции пробного газа с поверхности изделия и помещают его в контрольную камеру для последующей индикации пробного газа, непосредственно перед помещением в контрольную камеру испытуемого иэделия подвергают его дополнительной кратковременной опрессовке в пробном га917019

Формула изобретения

Составитель В. Макаров 1ехредМ. Тепер Корректор Г. агар

Редактор И. 1ыкей

Тираж 883 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113635, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 1875/66

Филиал ППП Патент, r. ужгород, ул. Проектная, 4 зе при давлении 0,1-5 атм в течение времени 1-15 с.

Способ осуществляется следующим образом.

Замкнутые изделия опрессовывают при повышениом давлении (t = 48 ч, ро = 3 атм; или С = 3 ч: р = 5 атм), Затем изделии выдерживают на возду,хе, как правило, не менее 10 мин для десорбции с их поверхности пробного газа. Через большие течи пробный гаэ эа зто время теряется из изделия. Поэтому непосредственно перед помещением в контрольную камеру испытуемое изделие подвергают дополнительной кратковременной )5 оарессовке в пробном газе прн давлении 0,1-5 атм в течение времени 1i5 с. Затем изделие помещают в контрсльную камеру для индикации пробного газа, вытекающего из негерме- щ тнчного изделия. укаэанный режим дополнительной онрессовки обеспечивает иадежйое проникновение пробного газа s изделия с грубыми течами и в то же время вели- 5 чина потоков десорбции пробного газа сразу после опрессовки незначительна и ие мешает достижению высокой чувствительности испытаний. Это дает возможность не выдерживать на воз- Зо духе изделия после дополнительной опрессовки, а помещать нх в контрольную камеру, сводя к минимуму потери пробного газа из изделия через грубые течи.

Благодаря дополнительной опрессовке существенно расширяется диапазон выявляемых утечек в сторону больших течей.

Предлагаемый способ дает воэможность существенно сократить стоимость испытательного оборудования, занимаемые им производственные площади, расход потребляемой оборудованием электроэнергии.

Способ контроля герметичности замкнутых изделий, например полупроводниковых приборов, заключающийся в том, что испытуемое изделие опрессовывают при повышенном давлении пробного газа„ выдерживают иэделие на воздухе для десорбции пробного газа с поверхности изделия и помещают его в контрольную камеру для последующей индикации пробного газа, вытекающего из изделия, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью расширения диапазона выявляемых утечек в сторону больших течей, непосредственно перед помещением в контроль ную камеру испытуемого изделия подвергают его дополнительной кратковременной опрессовке в пробном газе нри давлении 0,1-5 атм. в течение времени 1-15 с.

Источники инФормации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Франции 9 1379106, кл. G 01 Ь 1963.

2. Левина Л.Е., Хавкин Л.П. Влияние режимов опрессовки в гелии на нороговую чувствительность массспектрометрических испытаний íà герметичиость замкнутых оболочек. Электронная техника . 1977, сер. 2, вью. 7(177) (прототип) .