Способ обработки твердых материалов

 

Г.Е.Либо, Б.Г.Захаров и Т.В Дмитриева (72) Авторы изобретеьия (71) Заявителв (54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ТВЕРДЫХ МАТЕРИАЛОВ!

Изобретение относится к обработке твердых материалов, в частности к алмазно-абразивной обработке полупроводниковых пластин.

Известен способ шлифовки твердых хрупких материалов свободным. абразивом.Шлифованная поверхность имеет равномерно-матовую фактуру, образующуюся при перекатывании незакрепленных абразивных зерен (1).

Однако производительность этого способа низка.

Известен также способ обработки твердых материалов, согласно которому шлифовка твердых материалов связанным абразивом производится с многократным выхаживанием для повышения качества обработанной поверхности (2 .

Однако процесс выхаживания не устраняет характерных следов. реза, не позволяет получить однородйую поверхность обрабатываемого материала.

Цель изобретения — получение одно родной поверхности пластин при высокой производительности процесса.

Указанная цель достигается тем, что в известном процессе, включающем операции шлифования связанным абразивом и выхаживания, после шлифования связанным абразивом на этапе выхаживания в зону обработки подают абра зивную суспензию с .величиной зерна

;равной размеру выступающей части зер на связанного абразива.

Применяемый свободный абразив должен иметь размер зерна приблизительно равный размеру выступающей из связки части зерен шлифовального круга.

Так как в связанном абразиве пример- . но 1/3 часть зерна находится в связке, то размер зерен свободного абра,о зива должен быть приблизительно равен 2/3 размера зерна связанного абразива, т.е. размеру выступающей части зерна связанного абразива. При " меньшем размере зерен свободного абра-

Формула изобретения

Составитель С.Ухорский

Редактор Н.Безродная Техред Ж. Кастелевич Корректор М ° Лемчик

Заказ 3612/14 Тираж 882 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, N-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4

3 93138 зива (менее размера выступающей части1

его .действие неэффективно; так как на поверхности обрабатываемого материала остаются в виде рисок следы шлифования связанным абразивом. При большем размере зерен свободного абразива (больше размера выступающей части зерна связанного абразива) ухудшается класс шероховатости поверхности обрабатываемого материала 10 и увеличивается глубина нарушенного поверхностного слоя.

При обработке пластин фосфида галлия алмазным кругом поверхность пластин имеет характерную сетку с четко выраженными следами реза от алмазного круга. После удаления основного припуска материала в зону обработки на этапе выхаживания подается абразивная суспензия с микропорошком. По- верхность пластин после обработки имеет однородную поверхность, следы реза отсутствуют.

Способ позволяет сочетать высокую производительность шлифования связан- 2 ным абразивом при съеме основного припуска материала на обработку и обеспечивать высокие геометрические параметры пластин (плоскостность, клиновидность) при требуемой однород- Зо ности поверхности, получаемой при шлифовании свободным абразивом.

Завершение процесса шлифования (выхаживания) при подаче в зону об7 4 работки свободного абразива в виде суспенэии не увеличивает длительнос ти процесса шлифования и не требует .реконструкции существующего спецтехнологического оборудования.

1. Способ обработки твердых материалов, включающий операции шлифования связанным абразивом и выхаживание, отличающийся тем, что, с целью получения однородной поверхности пластин при высокой производительности процесса, непосредственно после шлифования связанным абразивом на этапе выхаживания в зону обработки подают абразивную суспензию.

2. Способ по п.l, отличаюшийся тем, что абразивная суспензия, подаваемая в зону обработки на этапе выхаживания., содержит абразив с величиной зерна равной размеру выс ступающей части зерна связанного абразива.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Бочкин И.О. и др, Механическая обработка полупроводниковых материалов. М., 1977, с.20.

2. Авторское свидетельство СССР

N 554134, кл. B 24 B 1/00, 1975