Криогенная откачная система

 

ОП NCAHHE

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскик

Социалистическик

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 25. 02. 81 (21) 3251172/25-06 151) М. КЛ.З с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет—

F 04 В 37/02

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий

Опубликовано230882. Бюллетень ¹ 31

f 53) УДК 621. 528.. 3 (088. 8) Дата опубликования описания 230882 (72) Авторы изобретения

В.И.Иванов, В.Н.Новотельнов, Н.А.Левашова, С.Ю.Голубкина и М.И.Ярушев (71) Заявитель

Ленинградский технологический институт холодильной промышленности (54) КРИОГЕННАЯ ОТКАЧНАЯ СИСТЕМА

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известна криогенная.откачная система, содержащая импульсный криогенный вакуумный насос с полой криопанелью, заполненной гелием, и криогенератор, имеющий полости высокого и низкого давления f1) .

При работе известной откачной системы температура криопанели в процессе конденсации на ее поверхности откачиваемого газа повышается, что снижает быстроту действия системы.

Целью изобретения является увеличение быстроты действия путем стабилизации температуры криопанели.

Указанная цель достигается тем, что полость криопанели заполнена адсорбентом и подключена.трубопроводами с вентилями к полостям криогенератора.

На чертеже схематично изображена откачиая система.

Криогенная откачная система содержит импульсный криогенный вакуумный насос 1 с полой криопанелью 2, заполненной гелием, и криогенератор, имеющий полости 3 и 4 высокого и низкого давления. Полость 5 криопанели

2 заполнена адсорбентом и подключена трубопроводами 6-8 с вентилями 9 и 10 к полостям 3 и 4 криогенератора.

Система работает следующим образом.

В процессе охлаждения криопанели вентиль 9 открыт, а вентиль 10 закрыт. Холодный гелий из криогенератора охлаждает криопанель 2 и адсорбент, находящийся в полости 5. Адсор- бент поглощает гелий при давлении в полости 3 высокого давления криогене

15 ратора. При переходе на режим криооткачки вентиль 9 закрывают и открывают вентиль 10. При этом с понижением давления в полости 5 происходит десорбция ранее поглощенного гелия.

Так как при этом затрачивается теплота адсорбции, часть теплопритока к криопанели с конденсируежгм газом оказывается скомпенсированной, и это замедляет или совсем .прекращает . рост температуры на поверхности криопанели.

Такое выполнение криогенной откачной системы позволит стабилизировать температуру криопанели и увеличить тем самым быстроту действия

ЗО насоса.

953263

Формула изобретения

Составитель Н.Юшин

Редактор Л.Гратилло Техред .В.. Палий Корректор А.Ференц

Заказ 6237/58 Тираж 678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4

Криогенная откачная система, содержащая импульсный криогенный вакуумный насос с полой криопанелью, заполненной гелием, и криогенератор, имеющий полости высокого и низкого давления, отличающаяся тем, что, с целью увеличения быстроты действия путем стабилизации температуры криопанели, полость криопанели заполнена адсорбентом и подключена трубопроводами с вентилями к полостям криогенератора.

5 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Великобритании 91170824< кл.F 1 N 3 В 2,опублик.1967

Криогенная откачная система Криогенная откачная система 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх