Способ получения вакуума

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски к

Социапистичесиик

Респубпиы (ii) 954601 (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 19.01.81 (21) 3237135/25-06 с присоединением заявки М (23) Приоритет

Опубликовано 30.08.82. Бюллетень М 32

Дата опубликования описания 30 ° 08.82 (51)М. Кл.

F 04 В 37/02

Ввудэретаенный квинтет

СССР ао делам нзе4ретеннй и вткрытнЯ (53) УДК 621 ° 528. .3 (088.8) (72) Автор изобретения.с

i;ë

В.В. Бакастов (71) заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВАКУумд

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен способ получения вакуума путем откачки газа сорбционным насосом с периодической подачей в откачиваемый объем промывного газа C1).

При получении вакуума известным способом в качестве промывного газа используют низкокипучий гаэ, дополнительно подаваемый в откачиваемый объем. Подача газа в откачиваемый объем усложняет технологию и возникает возможность внесения дополнительных загрязнений и накопления в объеме трудноконденсируемых газов.

Цель изобретения — упрощение конструкции.

Укаэанная цель достигается тем, что в качестве промывного газа используют десорбированный газ, получаемый из сорбционного насоса при его нагреве.

Причем температуру сорбционного насоса последовательно уменьаают.

На чертеже представлена схема установки для реализации предлагаемого способа.

Установка содержит сорбционный насос 1, соединенный с камерой 2 через установленные на соединительных трубопроводах вентили 3 и 4. Давление в камере 2 измеряют при помощи манометра 5, а давление в насосе 1 при помощи манометра 6. Установка имеет также дополнительный сорбционный насос 7, работа которого контролируется манометром 8. Сорбционные насосы 1 и 7 имеют фильтры 9, 10 и

11, 12.

Сорбционный насос откачивает газ из камеры 2 через открытые вентили 3 и 4 до получения в системе предельно" го для данных условий вакуума. Откачка обеспечивается низкотемпературной адсорбцией и сопряжена с охлаждением формула изобретения

3 95460 сорбционного блока, например, с помощью сосуда Дьюара (не показан) с хладагентом и с периодической проверкой предельного вакуума сорбционного насоса при закрытом вентиле 4, По окончании процесса всасывания (о чем свидетельствует падение скорости изменения давления по манометрам 5 и 6) вентили 3 и 4 закрываются, сосуд

Дьюара удаляется и насос нагревается to атмосферным воздухом или посредством специального электронагревателя (не показан) . Десорбирующийся при этом газ проходит систему фильтров 9 и 10, препятствующих проникновению в каме- 15 ру 2 мелкодисперсных фракций сорбента при нарушении режимов его обеэгаживания. По окончании процесса нагнетания и заполнения камеры 2 газом до определенного давления сорбционный насос опять погружается в сосуд

Дьюара с хладагентом и процесс откачки камеры 2 повторяется без напуска в вакуумную систему дополнительного количества газов, например, многократно. О герметичности системы судят по изменению давления по манометру 5 в процессе откачки камеры 2, обдуваемой снаружи одним иэ пробных газов: Не, Ne или Н . Предельный вакуум сорбционного насоса 1 контролируют по манометру 6, по величине этого разрежения судят о целесообразности дальнейшей откачки камеры 2 пРи данной пропускной способности комму35 никаций вакуумной системы.

В повторных циклах откачки камеры при том же или даже меньшем используемом количестве промывочного газа и постоянной начальной концентрации его отдельных компонентов наблюдается тенденция к улучшению предельного вакуума, предельный вакуум, характерный для предыдущего цикла, должен достигаться за меньший промежуток

45 времени.

После получения лучших и полностью воспроизводимых результатов откачки при определенных условиях термостатирования сорбционного насоса в повторных циклах всасывания и нагнетания

50 режим откачки изменяют и процесс повторяют при меньшем давлении и меньшем .количественном составе промывочных газов, причем уменьшение количественного состава производят в порядке ис- 55 ключения газов с наивысшей температурой конденсации. Это обеспечивается температурным воздействием на сорб1 ф ционный насос - понижением температуры нагрева сорбента.

Непрерывность процесса откачки с прополаскиванием, уменьшение давления промывочного газа и постоянство давления промывочного газа в процессе откачки могут быть обеспечены параллельной установкой дополнительного сорбционного насоса 7. Тогда в период откачки камеры 2 насосом 7 насос 1, прогреваемый в это время с помощью электродвигателя (не показан), нагнетает предсорбированный гаэ в камеру 2. При этом сосуд Дьюара и электронагреватель меняют соответственно местами и возвращают на исходные позиции при смене циклов всасывания и нагнетания у насосов 1 и 7. Нагнетаемый из насоса 7 газ проходит систему фильтров 11 и 12, аналогичную фильтрам 9 и 10 по конструкции и назначению. Контроль за давлением газов при работе насоса 7 осуществляется по манометру 8.

Использование предлагаемого способа получения вакуума обеспечивает возможность упрощения технологии откачки, стабилизацию качества очистки промывочных газов, повышение быстроты откачки высококипящих газов и паров и скорости газовыделения материалов камеры, улучшение условий кон(троля герметичности и чистоты камеры, что значительно повысит качество ва« куумной технологии.

1. Способ получения вакуума путем откачки газа сорбционным насосом с периодической подачей в откачиваемый объем промывного газа, о т л и ч а ющ и и с- я тем, что, с целью упрощения технологии, в качестве промывного газа используют десорбированный газ, получаемый из сорбционного насоса при его нагреве.

2. Способ по и. 1, о т л и ч а юшийся тем, что температуру нагрева сорбционного насоса последовательно уменьшают.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Черепнин Н.B. Основы очистки, обезгаживания и откачки в вакуумной технике, И., "Советское радио", I967 с. 365-375.