Способ получения вакуума

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗО6РЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (1958693 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 12.11.80 (21) 3004177/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (51) М. Кл.

F 04 В 37/08

Опубликовано 15.09.82. Бюллетень № 34

Дата опубликования описания 25.09.82 (53) УДК 621.528..1 (088.8) пе делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

В. И, Филатов и А. Н. Сысоев

ВСЕСОЮЗНАЯ

Московский ордена Трудового Красного Знамени инженерно-физический институт (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВАКУУМА

Формула изобретения

Гееуддретееллмк кемитет (23) Приоритет —, Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам получения вакуума.

Известен способ получения вакуума, включающий откачку газов и охлаждение участка поверхности откачиваемого объема (1).

Недостатком известного способа является значительное загрязнение откачиваемого объема парами органических веществ вследствие того, что при сцеплении участ- ip ка поверхности ранее сконденсированные органические вещества испаряются в откачиваемый объем, загрязняя,его, Цель изобретения — уменьшение загрязнения откачиваемого объема парами органических веществ.

Указанная цель достигается тем, что дополнительно подвергают охпаждаемый участок бомбардировке заряженными частицами с энергией 200 — 300 эВ и плотностью потока 3 — 8 10 / VF А/см, где gp

М вЂ” масса заряженной частицы .

Под действием бомбардировки между молекулами органических веществ, сконденсированными на охлаждаемом участке поверхности откачиваемого объема, возникают устойчивые связи, подобные связям при полимеризации молекул. Таким образом, молекулы органических веществ оказываются прочно связанными как с поверхностью, так и между собой. При последующем отеплении поверхности испарения органических молекул не происходит. Диапазон изменения энергии заряженных частиц и плотности потока соответствует наибольшей эффективности процесса образования связей.

При меньших энергиях и плотности потока образование связей происходит недостаточно интенсивно и часть молекул остается не связанной, при больших — происходит распыление молекул по объему.

Способ получения вакуума, включающий откачку газов и охлаждение участка поверхности откачиваемого объема, отличающийся тем, что, с целью уменьшения загрязнения откачиваемого объема парами органических веществ, дополнительно подвергают охлаждаемый участок бомбардировке

958693

Составитель В. Кряковкин

Редактор К. Волощук Техред А. Бойкас Корректор Ю. Макаренко

Заказ 6745 46 Тираж 678 Подписное

ВНИИПИ, Государственного комитета СССР по делам изобретений и от крытий

1 l3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5.Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 заряженными частицами с энергией

200 — 300эВ и плотностью, потока

3-8 105 / М А/см, где М вЂ” масса заряженной частицы, атомная единица масса.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Ха 164919, кл. F 04 В 37/02, 1963.