Высоковакуумный агрегат
(72) Авторы изобретения
Н. С. Балакин и С. И. Мирошкин
{7!) Заявитель (54) ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ
Изобретение относится к вакуумной технике.
Известен высоковакуумный агрегат, содержащий корпус с входным патрубком и размещенную в нем внутри охлаждаемых 5 экранов криопанель (1) .
Известный агрегат обладает низким коэффициентом захвата по неконденсируюшимся газам, накопление. которых влечет за собой ухудшение предельного вакуума насоса.
Бель изобретения - повышение эффективности откачки неконденсируемых газов.
Указанная цель достигается тем, что агрегат снабжен диэлектрическими, втул» хами, концентрично установленными во входном патрубке и имеющими со стороны входа патрубка электроизолированные кольцевые электроды, магннтопроводом, oxsa 20 тываюшим втулки, и источником электронов, закрепленным на корпусе, а экран, расположенный со стороны входного.патрубка, выполнен из геттерного материала, н тем, что в корпусе установлен дополнительный экран, присоединенный с тепловым- контактом к охлаждаемым экра нам и образующим с ними полость, а ис точник электронов размешен в последней.
На фиг. 1 показан предлагаемый агре» гат, разрез; на фиг. 2 — вид со стороны входного патрубка агрегата.
Высоковакуумный агрегат- содержит корпус 1.с входным патрубком 2 и раз» мешенную в нем внутри, охлаждаемых эк ранов 3 и 4 криопанель 5. Агрегат сиаб жен диэлектрИческими втулками 6, кон нэнтрично установленными во входном па трубке 2 и имеющими со стороны входа патрубка 2 электроизолированные кольце вые электроды 7, магнитопроводом 8, охватывающим втулки, и источником 9 электронов, закрепленном на корпусе, а экран 4, расположенный со стороны вход ного патрубка 2, выполнен из геттерного материала. В корпусе 1 установлен допол
3 9642 нительный экран 10, присоединенный с реп ловым контактом к охлаждаемым экранам
3 и 4 и образующий с ними полость 11, а источник электронов 9 размещен в последней, %
Высоковакуумный агрегат работает следующим образом.
После предварительной откачки до давления р с 1 10 + мм. рт. ст. криопанель охлаждается и осуществляется о 1О качка газа до давления с 1 10 4 мм. рт. ст. После этого включаетс.я источ.ник 9 электронов. При возникновении напряжения между кольцевыми электродами 7, выполняющими функцию анода, и ts источником 9 в скрещенных электрическом и магнитном полях возникает устойчивый электрический разряд в среде откачиваемого газа, поступающем из откачиваемого объема, при этом газ ионизируется. Ионы направляются к экрану 4, выполненнному из геттерного материала и распыляют его поверхность. Атомы геттера конденсируют. ся на экране 10, имеющем низкую температуру, благодаря чему увеличивается коэффициент захвата и эффективность откачки неконденсирующихся газов.
Ф.
Предлагаемый высоковакуумный агрегат имеет быстроту действия более, чем
25 ф в 2 раза превышающую быстроту дейст вия известного устройства.
Формула изобретения
1. Высоковакуумный агрегат, содержащий корпус с входным патрубком и размещенную в нем внутри охлаждаемых экранов криопанель, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения эффективности откачки неконденсирующихся газов; агрегат снабжен диэлектрическими втулками, концентрично установленными во входном патрубке и имеющими со сто роны входа патрубка электроизолированные кольцевые электроды, магнитопроводом, охватывающим втулки, и источником электронов, закрепленным на корпусе, а экран, расположенный со стороны входного патрубка, выполнен из геттерного материала.
2.Агрегатпоп. 1, отличаюшийся тем, что в корпусе установлен дополнительный экран, присоединенный с тепловым контактом к охлаждаемым экранам и образующий с ними полость, а источник электронов размещен в последней, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Патент США N 3579998, кл. 62-55.5, опублик, 1971.
ФЫ Р
Составитель Н. Юшин
Редактор В. Пилипенко Техред М.Тенер Корректор М. Демчик
Заказ 7584/8 Тираж 678 Подписное
13НИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раущскаи наб., д. 4/5
Филиал ППП Патент,. г. Умйород, ул. Проектная, 4
