Тензометрический акселерометр

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик р 197022? (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 090180 (21)2867590/18-10 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Р М К з

0 01 Р 15/12

Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий (33) УДК531.768 (088. 8) Опубликовано 361082. Бюллетень ¹ 40

Дата опубликования описания ЗМ082

Л.П. Козлова, С.Н. Маркин, Б.И. Пивоненков и B.B. Цветков (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ТЕНЗОИЕТРИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР

20

Изобретение относится к измерению .параметров движения, в частности к тензорезистивным измерителям линейных ускорений, Известны акселерометры с тензорезистивными элементами (l) и (2).

Однако данные акселерометры имеют относительно низкую температурную стабильность выходной характеристики вследствие значительного влияния градиентов температуры в зоне установки тензореэисторов.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигае мому результату является устройство, содержащее инерционную массу, закрепленную на консольной балке и тензочувствительные элементы, установленные над выполненными в балке. пазами (3).

Недостатком устройства является относительно низкая точность измерения ускорения при намотке его поперечных составляющих при одностороннем креплении тензочувствительных элементов..

Дель изобретения — повышение точности измерения ускорения за счет снижений поперечной чувствительности.

Для достижения поставленной цели в тензометрическом акселерометре пазы выполнены различной глубины, величины которых а„ и а связаны с толщиной перемычки между пазами h соотношением а - а „ = h/2, а тензочувствительные элементы расположены над пазом с меньшей глубиной.

На чертеже представлена упрощенная конструктивная схема тензометрического акселерометра.

Устройство содержит корпус 1, упругий .элемент-балку 2, жестко закрепленную в корпусе с одного конца, На балке имеются два поперечных паза 3, расположенных на противоположных сторонах балки соосно, преобразующий элемент 4, жестко закрепленный над одним из пазов и выполненный в виде интегральной тензосхемы, состоящей из четырех полупроводниковых йензореэисторов, и крышку 5.

Тензометрический акселерометр работает следующим образом.

Лри наличии измеряемого ускорения W происходит деформация цреобразующего элемента 4, которая вызывает изменение сопротивления тензорезисторов интеграль970227!

Составитель И. Лукомский

Редактор М,. Янович Техред М.Надь корректор О. Билак

Заказ 8378/53 Тираж 887 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 ноя тенэосхемы, пропорциональное измеряемому ускоренью.

Воздействие же инерционных сил от неизменяемого поперечного ускорения Яя не приводит к деформации преобразующего элемента 4, так как 5 происходит одновременно удлинение перемычки и поворот вокруг нее, что при выполнении соотношения п2-а — h

1 обеспечивает нулевую деформацию преобразующего элемента 4. Таким образом в предложенном устройстве обеспечивается значительное ослабление паразитного влияния поперечного ускорения при измерениях.

Формула Изобретения 35

Тензометрический акселерометр, .,содержащий инерционную массу, закрепленную на консольной балке, и тенэочувствительные элементы, установленные над выполненными в балке 2П пазами, о т.л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерения ускорения за счет снижения поперечной чувствительности, пазы выполнены различной глубиной, величины которых о и а связаны

1 2 с толщиной перемычки между пазами соотношением a2-a /2, а тенэочувствительные элементы расположены над пазом с меньшей глубиной.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 690393, кл. 6 01 Р 15/12, 08.08 77.

2. Эрлер В, Вальтер Л. Электрические измерения неэлектрических л величин полупроводниковыми тензорезисторами. N., Энергия ., 1974.

3. Патент США Ф 3474526, кл. Н 04 R 1/00,опублик. 10.03.67 (прототип).