Вакуумный агрегат

 

1. ВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ, содержащий турбомолекулярный насос, снабженный приводом в виде газовой турбины с подводящим соплом и имеющий форвакуумную полость, соединенный с турбомолекулярным насосом при помощи трубопровода ме-, ханический насос и ресивер, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности и снижения уровня шума, турбина размещена в форвакуумной полости турбомолекулярного насоса, а сопло сообщено с атмосферой патрубком. 2.Агрегат по п. 1, отличающийся тем, что патрубок снабжен вентилем. 3.Агрегат по п. 1, отличающийся тем, что ресивер при помощи регулируемого клапана подсоединен к трубопроводу. СО

„„SU„„1081366

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

g(gI) F 04 D 19/04

Я

ФГВ уц g 3 Е" Г рь. тЕ А

>4LJlN(I gg

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

М А ВТОРСМОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3544144/25-06 (22) 24.01.83 (46) 23.03.84. Бюл. № 11 (53) 621:527.8(088.8) (72) Ю. М. Тузанкин и В. В. Леонов (56) 1. Пипко А. И. Конструирование и расчет вакуумных систем. М., «Энергия», 1970, с. 162.

2. Авторское свидетельство СССР № 848761, кл. F 04 19/04, 1979. (54) (57) I. ВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ, содержащий турбомолекулярный насос, снабженный приводом в виде газовой турбины с подводягцим соплом и имеющий форвакуумную полость, соединенный с турбомолекулярным насосом при помощи трубопровода ме-, ханический насос и ресивер, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности и снижения уровня шума, турбина размещена в форвакуумной полости турбомолекулярного насоса, а сопло сообщено с атмосферой патрубком.

2. Агрегат по п. 1, отличающийся тем, что патрубок снабжен вентилем.

3. Агрегат по п. 1, отличающий ся тем, что ресивер при помощи регулируемого клапана подсоединен к трубопроводу.

1081366

Составитель О. Тишина

Техред И. Верес Корректор М. Шароши

Тираж 624 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий ! l 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент>, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор P. Цицика

Заказ 1505/30

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен вакуумный агрегат, содержащий турбомолекулярный и форвакуумный насосы, соединяющий их трубопровод с запорным вентилем, блок управления и питания.

В этом агрегате форвакуумный насос используется для предварительного вакуумирования турбонасоса, а электронный блок— для управления преобразования частоты и частотного пуска электродвигателя турбонасоса (1) .

Недостатком такого агрегата является сложность и высокая стоимость системы электропривода, в частности электронного блока питания и управления.

Наиболее близким к изобретению является вакуумный агрегат, содержащий турбомолекулярный насос, снабженный приводом в виде газовой турбины с подводящим соплом и имеющий форвакуумную полость, соединенный с турбомолекулярным насосом при помощи трубопровода механический насос и ресивер (2).

Недостатками этого -агрегата являются его невысокая экономичность, вследствие повышенного расхода электроэнергии, неэффективное использование оборудования компрессора и механического насоса. Кроме того, турбинный привод повышает уровень шума и опасность эксплуатации, вследствие работы оборудования под высоким давлением сжатого воздуха.

Целью изобретения является повышение экономичности и снижение уровня шума.

Указанная цель достигается тем, что в вакуумном агрегате, содержащем турбомолекулярный насос, снабженный приводом в виде газовой турбины с подводящим соплом и имеющий форвакуумную полость, соединенный с турбомолекулярным насосом при помощи трубопровода механический насос и ресивер, турбина размещена в форвакуумной полости турбомолекулярного насоса, а сопло сообщено с атмосферой патрубком.

Кроме того, патрубок снабжен венти

Ресивер при помощи регулируемого клапана подсоединен к трубопроводу.

На чертеже изображена схема вакуумного агрегата.

Вакуумный агрегат содержит турбомоле10 кулярный насос 1, снабженный приводом в виде газовой турбины 2 с подводящим соплом 3 и имеющий форвакуумную полость 4, соединенный с турбомолекулярным насосом

1 при помощи трубопровода 5 механический насос 6 и ресивер 7.

Турбина 2 размещена в форвакуумной полости 4 турбомолекулярного насоса 1, а сопло 3 сообщено с атмосферой посредством патрубка 8.

Патрубок 8 снабжен вентилем 9.

Рес ивер 7 при помощи регулируемого клапана 10 подсоединен к трубопроводу 5.

Агрегат работает следующим образом.

Первоначально включается механический насос 6 и откачивается полость турбомолекулярного насоса 1 и ресивера 7 до

25 предельного остаточного давления. Затем открывается вентиль 9, и в сопло 3 поступает воздух из атмосферы. Струя воздуха, истекая через сопло 3 в вакуум, приобретает высокую скорость и, взаимодействуя с колесом турбины 2, приводит его во вращение вместе с ротором турбомолекулярного насоса 1. По мере выхода ротора на рабочие обороты с помощью вентиля 3 постепенно уменьшают количество поступающего в сопло 3 воздуха.

Предлагаемый агрегат позволяет повысить экономичность за счет исключения из состава агрегата электродвигателя, герметичного электроввода, блока питания или компрессора и системы подачи сжатого газа на турбину, а также снижения потребляемой мощности.