Турбомолекулярный вакуумный насос

 

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС., схэдержащий корпус и размешенный в нем на вертикальном валу роторный диск, на обеих своронах которого установлены верхний и нижний кольцевые ряды рабочих лопаток, последователе но сообщенные между, собой по ходу откачиваемого газа, отпичающийс я тем, что, с цепью повышения быст- . роты действия, первые по ходу откачиваемого газа лопатки верхнего ряда установлены на большем диаметре, чем последние лопатки нижнего ряда, а копичество лопаток в нижнем ряду больше, чем в верхнем.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1020648 зов F 040 19/04

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ! (54) (57) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС., содержаший корпус. и раэмешенный в нем на вертикапьном валу (21 ) 3420441 /25-06 (22) 08.04.82 (46) 30.05.83, Бюп. Я 20 (72) Ю .М.Тузанкин и Н.Н.Кушникова г (53} .621 527.8 (088.8) (56) 1. Авторское сэидетепьство СССР

М 276308, кп. F 04 Э 19/04,1969. роторный диск, на обеих своронах которого установлены верхний и нижний копьцевые ряды рабочих лопаток, поспедоватепь» но сообшенные между собой по ходу откачиваемого газа, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с цепью повышения быст. роты действия, первые по ходу откачиваемого газа попатки верхнего ряда установпены на большем диаметре, чем поспедние лопатки нижнего ряда, а коли чество попаток в нижнем ряду бопьше, чем в верхнем.

1020648

Составитель О. Тишина

Редактор А. Лежнина Техред О.Неце Корректор А. Ференц

Заказ 3871/32 Тираж 665 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по-делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-.35, Раушская наб., n. 4/5

Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен турбомолекупярный вакуумный насос, содержащий корпус и размещенный в нем на вертикальном валу роторный диск, на обеих сторонах которого установлены верхний .и нижний кольцевые ряды рабочих лопаток, последовательно сообщенные между собой по ходу откачиваемого газа (1 $

16

Однако количество рядов лопаток оказывается недостаточным дпя получения сверхвысокого вакуума. Кроме того, первые от входа ряды лопаток имеют недостаточные рабочую площадь и окружную скорость.

Бель изобретения - повышение быстроты действия, Указанная цепь достигается тем, что в турбомолекулярном вакуумном насосе, содержащем корпус и размещенный в нем

Hs вертикальном валу роторнйй диск на обеих сторонах которого установлены верхний и нижний кольцевые ряды рабочих лопаток, последовательно еообщенные между собой по ходу откачиваемого газа, первые по ходу откачиваемого газа лопатки верхнего ряда установлены на большем диаметре, чем последующие лопатки нижнего ряда, а количество лопаток в нижнем ряду больше, чем в верхнем, На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Турбомопекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и размещенный в нем на вертикальном валу 2 роторный диск

3, на обеих сторонах которого установлены верхний и нижний кольцевые ряды рабочих лопаток 4 и 5, последовательно сообщенные между собой по ходу откачиваемого газа.

Первые по ходу откачиваемого газа лопатки 4 верхнего ряда установлены на большем диаметре j), чем последние лопатки 5 нижнего ряда, а количество лопаток 5 в нижнем ряду больше, чем в верхнем.

При вращении роторного диска 3 газ иэ откачиваемой емкости откачивается в направлении периферии верхним рядом лопаток 4, а затем в направлении к центру нижним рядом лопаток 5 и далее выбрасывается в атмосферу с помощью форвакуумного насоса (иа чертеже не показан).

Первые от оси лопатки 4 верхнего ряда, расположенные на большем диаметре, обеспечивают высокую быстроту действия эа счет большей рабочей площади и окружной скорости, а лопатки 5 нижнего ряда - высокое отношение давлений за счет большого количества последователь но сжимающих газ рядов лопаток 5.