Молекулярный насос

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических ,Республик ()973939 (6l ) Дополнительное к ввт. свил-ву (22) Заявлено 13.05.81 (21) 3290261/25 06 (ы)М. Кл. с присоединением заявки,йе—

F О4D 19/04

Госудерстеениый комитет (23) Приоритет

ho делам изобретений и открытий

Опубликовано 15.11.82. Бюллетень Ле 42

Дата опубликования описания 15.11.82 (53) УДК 621.521. . 7 (088. 8) (72) Автор изобретения

С. Г. Аппель (7l) заявитель (54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству молекулярных вакуумных насосов.

Известен молекулярный вакуумный насос> содержащий корпус с размещенными на его внутренней поверхности статорными дисками и установленный по оси корпуса вал с роторными дисками (1 ) ..

Недостатком известного насоса является невысокая быстрота действия.

Целью изобретения является повышение быстроты действия.

Указанная пель достигается тем, что каждый роторный диск снабжен по меньшей мере одним кольцевым тонкостенным гофром, На чертеже представлен насос, продольный разрез.

Молекулярный насос содержит корпус го

1 с размещенными на его внутренней поверхности статорными дисками 2 и установленный по оси корпуса вал 3 с роторными дисками 4, причем каждый диск 4 снабжен по меньшей мере одним кольцевым тонкостенным гофром 5.

Насос работает следующим образом.

Газ из откачиваемого объема поступает в полость насоса и системой статорных и быстровращающихся роторных дисков 2 и 4 переносится со стороны всасывания на сторону нагнетания насоса. Наличие тонкостенных гофров 5 обеспечивает достижение при рабочих оборотах вала 3 минимальных зазоров между статором и диском 4, что дает возможность снизить обратный поток молекул в откачиваемый объем и тем самым повысить быстроту действия насоса.

Формула изобретения

Молекулярный насос, содержащий корпус с размещенными на его внутренней поверхности статорными дисками и установленный по оси корпуса вал с роторньмФ 2 1

Составитель B. Кряковкин

Техред Ж, Кастелевич Корректор М. 4Ðîøè

Редактор Л. Повхан

Заказ 8653/45 Тираж 678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент", г. Ужгород; ул. Проектная, 4 ми дисками, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты действия, каждый роторный диск снабжен по меньшей мере одним кольцевым тонкостенным гофром.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

5 % 737659, кл. F 04 D 19/04, 1977.