Турбомолекулярный вакуумный насос

 

Союз Советских

Социапистическмх

Республик

О П И С А Н И Е „„973938

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l ) Дополнительное к авт. снкд-ву (22)Заявлено 15.05.81(2l) 3288460/25-06 (5 )Я, Кд с присоединением заявки №вЂ”

F 04 D 19/04

Государственный комитет (23) Приоритет— по делен изобретений и открытий

Опубликовано 15.11. 82. Бюллетень № 42

Дата опубликования описания 15.11.82 (53) УДК 621 521 .7 (088.8) (72) Авторы изобретения в т-;у, .

Московское ордена Ленина, ордена Октябрьской P вопюцитт и ордена Трудового Красного Знамени высшее технт т есттое=-.., у тилище им. Н. Э. Баумана

Е. С. Фропов, Н. К. Никулин и В. В. Поносов (7l) Заявитель (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных насосов.

Известен турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий охлаждаемый корпус с расположенными íà его внутренней 5 поверхности статорными дисками и уста:новленный по оси корпуса вал с размещенными на нем роторными дисками Г1 j .

Недостатком известного насоса является невысокая экономичность, вследствие значительного расхода криогенной жидкости, охлаждающей корпус насоса.

Целью изобретения является повышение экономичности насоса.

Указанная цель достигается тем, что насос дополнительно содержит охватывающие корпус наружный и внутренний кожуха, образующие полость, сообщенную с областью нагнетания насоса.

На чертеже предстаелен насос, продольный разрез.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит охлаждаемый корпус 1 с распопоженньтми на его внутренней поверхности статорными дисками 2 и установленной по оси корпуса 1 вал 3 с размещенными на нем роторными дисками .4, причем насос дополнительно содержит охватывакицие корпус 1 наружный и внутренний кожуха 5 и 6, образукштие полость 7, сообщенную с областью нагнетания насоса.

Насос работает следующим образом.

Газ из откачиваемого объема поступает в полость корпуса 1 и посредством системы. статорных и быстроврашакицихся роторных дисков 2 и 4 переносится на сторону нагнетания насоса.

Дополнительные кожухи 5 и 6 обеспечивают надежную тепловую зашиту и обуславливают невысокий расход криогенной жидкости, охлаждающей корпус насоса, что в целом приводит к повышению эксьномичности насоса.

Формула изобретения

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержатций охлаждаемый корпус с распо3 973938 4 ложенными на его внутренней поверхности ний кожуха, образующие полость, сообщенстаторными дисками и установленный по ную с областью нагнетания насоса. оси корпуса вал с размещенными на нем роторными дисками, о т л и ч а ю щ и й— И сточники информации, с я тем, что, с целью повышения эконо- принятые во внимание при экспертизе мичности, насос дополнительно содержит 1. Патент США ¹ 3536418, охватывающие корпус наружный и внутрен- кл. 417-49, опублик. 1970.

Составитель В. Кряковкин

Редактор Л. Повхан Техред Ж. Кастелевич Корректор М- " ро ц»

Заказ 8653/45 Тираж 678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4