Вертикальный турбомолекулярный насос

 

ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на гибком стержне, опирающемся на подпятник, отличающийся тем, что, с целью уменьщения динамической неуравновещенности ротора, подпятник расположен выще центра тяжести ротора. сл со О5 со сд сг

„„SU 1036956

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„ „F 04 D 19j04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ;— фиг.1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР пО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3287657/25-06 (22) 24. 03. 81 (46) 23.08.83. Бюл. № 31 (72) Б.К. Бахтерев, Л.П. Печеркин и В.Е. Балимов (53) 621.527.8 (088.8) (56) 1. Патент Великобритании № 1521798, кл. F 1 С, 1978

2. Авторское свидетельство СССР

¹ 737657, кл. F 04 D 19f04, 1976 (54) (57) ВЕРТИКАЛЪНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на гибком стержне, опирающемся на подпятник, огличающийся тем, что, с целью уменьшения динамической неуравновешенности ротора, подпятник расположен выше центра тяжести ротора.

1036956

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус, ротор с магнитными подшипниками, причем момент инерции ротора относительно оси врашения больше момента инерции относительно поперечной оси, проходящей через центр тяжести ротора (1) .

Недостатком такого насоса является большой радиальный размер ротора по сравнению с его высотой, что не позволяет получить достаточную компрессию.

Наиболее близким к изобретению является вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на гибком стержне, опирающемся на подпятник (2(.

Однако в известном насосе не достигается динамическая уравновешенность ротора.

Целью изобретения является уменьшение динамической неуравновешенности ротора.

Указанная цель достигается тем, что в вертикальном турбомолекулярном насосе, содержащем корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на гибком стержне, опирающемся на подпятник, подпятник расположен выше центра тяжести ротора.

На фиг. 1 изображен насос, продольный разрез; на фиг. 2 — узел 1 на фиг. 1.

Вертикальный турбомолекулярный насос содержит корпус 1 и расположенный в нем ротор 2 с внутренней полостью, установленный на гибком стержне 3, опирающемся на подпятник 4, расположенный выше центра тяжести ротора 2.

Подпятник 4 запрессован в стакан 5 дем пфера.

25 зо

Демпфер содержит корпус 6, заполненный маслом. Стакан 5 в верхней части снабжен пружинами 7. Станка 5 размещен в корпусе 6 с зазором 8. Ротор 2 приводится во вращение электродвигателем 9.

Работа турбомолекулярного насоса осуществляется следующим образом.

Ротор 2 раскручивается с помощью высокочастотного электродвигателя 9. При вращении ротор 2 опирается поверхностью стержня 3 на подпятник 4. Так как подпятник

4 запрессован в стакан 5 демпфера, то возникающие при вращении ротора 2 высокочастотные и низкочастотные колебания гасятся. При этом пружины 7 в совокупности со стержнем 3 гасят низкочастотные колебания, а зазор 8 - высокочастотные. Величина жесткости пружины 7, а также величина зазора 8 выбирается в зависимости от следующих факторов: массы ротора; момента инерции ротора относительно оси вращения; момента инерции ротора относительно поперечной оси, проходящей через центр тяжести ротора.

Благодаря расположению центра тяжести ротора 2 ниже осевой точки опоры за счет силы собственного веса ротора 2 появляется дополнительный стабилизирующий фактор, защищающий роторную систему от сил гидроскопического происхождения.

Кроме того, осевая игольчатая опора представляет собой комбинированный радиально-упорный подшипник скольжения и обеспечивает эффективное демпфирование ротора.

Радиальный размер ротора предлагаемого насоса может находиться вне зависимости от его высоты, что позволяет изготавливать роторы с оптимальным количеством ступеней, от числа которых зависит величина предельного остаточного давления. достигаемого с помощью турбомолекулярного насоса.

l036956

Фиг.2

Редактор И. Шулла

Заказ 5971 35

Составитель О. Тишина

Техред И. Верес Корректор В. Гирняк

Тираж 665 Поднисное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР но делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4