Состав для получения защитного покрытия поверхности кремния

Авторы патента:

H01L21/314 - из неорганических веществ (H01L 21/3105, H01L 21/32 имеют преимущество)

Состав для получения защитного покрытия поверхности кремния от диффузии примесей, содержащий тетраэтоксисилан, воду и концентрированную соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества защиты от диффузии примесей III и V групп и защиты от диффузии щелочных металлов, он содержит пересыщенный водный раствор азотнокислого циркония при следующем соотношении компонентов, мас.%: Азотнокислый цирконий - 21-23 Тетраэтоксисилан - 57-59 Соляная кислота концентрированная - 1,2-1,4 Вода - Остальное

Способ получения защитного диэлектрического покрытия на поверхности германия // 384162

Способ обработки поверхности полупроводников // 221176

Способ защиты полупроводниковых приборов // 1132732

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии полупроводниковых приборов, при изготовлении которых неизбежен или необходим нагрев на завершающей стадии производства, например, при высокотемпературной герметизации (заварке) стеклом, напайке и др

Способ изготовления мноп-структур // 1160891

Способ изготовления многослойных полупроводниковых структур силовых тиристоров n+-p-n-p-типа // 1176782

Способ изготовления геттера в монокристаллических пластинах кремния // 1387797