Съемник для микродеталей

 

СЪЕМНИК ДЛЯ МИКРОДЕТАЛЕЙ, содержащий корпус, в котором шарнирно закреплен захват в виде подпружиненного поворотного рычага и изолированный от корпуса, подключенный к источнику тока электронагреваемый наконечник, отличающийс я тем, что, с целью повышения качества изделий, электронагреваемый наконечник выполнен в виде петли, а рабочая поверхность захвата в сечении имеет трапецеидальную форму. i (/) С ftn hU

СО1ОЭ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

1(б ) Н 05 К 13/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

tlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРИТИЙ (21) 3491521/24-21 (22) 16.09.82 (46) 15.03.85. Бюл. Ф 10 (72) В.Д.Карабанов, А.С,Прибыловский и Б.Н.Фатюнин (53) 621.316.849.002(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

В 264495, кл. Н 05 К 13/00, 1968.

2. Патент США N- 3804320; кл. 228-19, 1972.

„„SU„„ A (54) (57) СЪЕМНИК ДЛЯ МИКРОДЕТАЛЕИ, содержащий корпус, в котором шарнирно закреплен захват в виде подпружиненного поворотного рычага и изолированный от корпуса, подключенный к источнику тока электронагреваемый наконечник, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что, с целью повышения качества изделий, электронагреваемый наконечник выполнен в виде петли, а рабочая поверхность захвата в сечении имеет трапецеидальную форму.

Изобретение относится к.технологическому оборудованию, используемому при производстве микроэлектронных деталей.

Известен съемник плоских микромодулей, содержащий, захватывающие губки, шарнирно закрепленные на подпружиненном штоке, установленные между двумя подвижными опорами. В этом устройстве демонтируемый модуль за- 10 хватывается губками, а выводы микромодуля разогреваются паяльником и модуль извлекается из платы разжимающейся пружиной P1) .

Недостаток этого устройства состоит в необходимости использования паяльника, повреждающего соседние детали на плате.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является 2р съемник микродеталей, содержащий корпус, в котором шарнирно закреплен захват в виде подпружиненного пово-, ротного рычага и изолированный от корпуса, соединенный с источником 25 тока нагревательный наконечник для разогрева крепящего микродетали вещества (21 .

Однако известный съемник не пригоден для съема с подложки микродеталей, установленных с зазором между ними в пределах до 1,5 мм.

Цель изобретения — повышение ка— чества изделий.

Указанная цель достигается тем, 35 что в съемнике для микродеталей, содержащем корпус, в котором, шарнирно закреплен захват,в виде подпружиненного поворотного рычага и из олированный от корпуса, подключенный к источнику тока электронагреваемый наконечник, последний выполнен в виде петли, а рабочая поверхность захвата в сечении имеет трапецеидальную форму.

На фиг. 1 показан съемник, разрез, на фиг. 2 — захват и нагревательный элемент съемника, на фиг. 3 — сече> ние А-А на фиг. 2.

Съемник содержит размещенную в корпусе 1 и закрепленную на изолирующей втулке 2 пружину 3, на конце которой закреплена пластина иэ диэлектрика 4. На пластине 4 установле ны зажимы 5 для подключения электронагреваемого наконечника 6. На нижней стороне пластины 4 размещен контакт 7, соединенный проводником 8 с

499 2 источником тока 9 и взаимодействую,щий с контактом 10, закрепленным в корпусе 1. С источником тока соединен также и электронагреваемый наконечник 6. Над электронагреваемым наконечником 6 установлен захват 11, шарнирно закрепленный в корпусе 1 и выполненный в виде рычага, носок 12 которого выступает из корпуса. Носок 12 имеет с внутренней стороны трапецеидальное сечение. Захват 11 подпружинен пружиной 13, а электронагреваемый наконечник выполнен в виде петли.

Источник тока съемника содержит блок регулировки энергии импульса, который может быть выполнен в виде автотрансформатора 14. Схема формирования импульса может иметь множество вариантов исполнения, например в виде накопительного конденсатора большой емкости 15, соединенного через выпрямитель 16 с автотрансформатором. 14 через ограничительное сопротивление 17 и через тиристор 18 с электронагреваемым наконечником 6.

Для управления тиристором 18 использован генератор 19 импульсов, соединенный с контактом 7..При необходимости сообщения электронагреваемому наконечнику 6 большего количества энергии следует использовать более сложную схему.

Съемник работает следующим образом.

При необходимости удаления с.подложки дефектной детали, полученной путем резки полупроводниковой плас-. тины, выращенной на подложке, покрытой тонким слоем легкоплавкого материала, поступают следующим образом.

Съемник подносится к детали. Захват 11 отжимается и отпускается.При этом он прижимает деталь к электронагреваемому наконечнику 6, охватывающему ее по периметру. Далее путем нажатия на корпус съемника в направлении подложки размыкают контакты 7 и 10. В этот момент срабатывает ге— нератор 19 источника и открывает тиристор 18. Заряд, накопленный в конденсаторе 15, проходит через электронагреваемый наконечник 6 и разогревает его, а вместе с ним и снимаемую микродеталь, которая отделяется от подложки. Поскольку конденсатор 15 отделен от выпрямитепя: ограничительным сопротив.пением, напряжение на

11454

1О

Фиг. 2

Составитель В.Жеглов

Техред А.Бабинец Корректор С.Шекмар

Редактор М.Дылын

Заказ 1191/44 Тираж 794 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Мо ква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП -"Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 нем падает практически до нуля и тиристор 18 размыкается. Источник тока готов к новому циклу.

Как видно из укаэанного выще, петлеобразный электронагреваемый наконечник 6 и захват 11 охватывают снимаемую деталь, не задевая соседние детали. Кратковременность воздействия тока исключает возможность их

99 4 повреждения.. После удаления всех дефектных деталей подложку разогревают целиком или подвергают воздействию ультразвука и тем ràìûì отделяют от нее остальные детали. Такой подход к отбраковке микродеталей позволяет существенно упростить работу и повысить производительность труда.