Способ обработки длинномерных кварцевых труб

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11)

y)) 4 С 03 С 15/00, 23/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ)1 :

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2»

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3782919/29-33 (22) 16.08.84 (46) 07.02.86, Бюл. 1Р 5 (72) А.И.Черньппов,А.М.Мийченко и В.Н.Иванов (53) 666. 1.05(088.8) (56) Заявка Японии У 47-2272, кл.. 21 С 2, опублик ° 1972.

Маслов А.А.Технология и конструкция полупроводниковых приборов.

М.:Энергия, 1970, с.53-54. (54) (57) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ДЛИННОМЕРНЫХ КВАРЦЕВЫХ ТРУБ путем травления в царской водке, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью упрощения способа, обработку ведут в реакторее который реверсивно вращают с частотой 100-120 îб/мин. что приводит также к увеличению времени травления. К тому же большая частота вращения реактора может привести к потере механической прочности хрупкой кварцевой трубы.

Пример 1. Кварцевая труба длиной 2300 мм и диаметром 100 мм, в которой проводилась первичная дистилляция кадмия высокой чистоты, имеет внутри пылевидный налет кадмия и сопутствующих примесей (свинец,олово, теллур и т.д.).

Перед процессом вторичной дистилляции кварцевую трубу подвергают химическому травлению. Для чего в реактор заливают 4 л травителя, состоящего из смеси концентрированных соляной и азотной кислот, взятых в соотношении 3:1. Процесс динамического травления длится 30 мин, в течение которых реактор совершает реверсивное вращение с частотой

100 об/мин . Кварцевя труба при этом о приподнимается на угол 15, а затем скатывается в противоположном направлении и при этом вращается вокруг своей продольной оси, что способствует омыванию травителем всей поверхности трубы. После получасового травления отключают вращение реактора, сливают травитель и проводят промывку кварцевой трубы дистиллированной водой до нейтральной реакции. .Затем трубу просушивают продувкой теплым воздухом, протирают спиртом и запаивают в полиэтиленовую пленку.

Пример 2. Кварцевая труба длиной 2300 мм и диаметром 100 мм после проведения повторной дистилляции высокочистого теллура покрыта налетом теллура с сопутствующими примесями. Трубу подвергают химическому травлению, для чего закладывают в трубчатый реактор, выполненный из оргстекла. В реактор заливают 4 л

В травителя, состоящего из смеси соляной и азотной кислот. Химическое травление проводится аналогично примеру 1. Реактор совершает реверсивное вращение с частотой 110 o5/мин, Продолжительность травления составляет 30 мин.

Пример 3. Кварцевая труба диаметром 70 мм и длиной 2000 мм после проведения процесса термического разложения арсина имеет пылевидное покрытие, состоящее из мьппьяка. Перед проведением последующего процесса пиролиза трубу подвергают

1 1209628

Изобретение относится к получению редких металлов марки о.ч. и может быть использовано при производстве полупроводниковых материалов.

Цель изобретения — упрощение 5 способа.

На чертеже изображена схема пояс7 няющая способ.

Горизонтально вращающийся цилиндрический реактор 1 выполнен из 10 оргстекла. В реактор, имеющий длину

2500 мм и внутренний диаметр 150 мм вкладывают кварцевую трубу 2 через торцовой люк, прибалчивают съемную крьппку 3 и заливают травитель 4 через штудер с заглушкой 5, который расположен на боковой поверхности реактора. Реактор совершает реверсив* ное вращение (один оборот по часовой стрелке, один — против), за

20 счет чего кварцевая труба совершает вращательное движение вокруг своей оси и колебательно-поступательное движение относительно вертикальной оси реактора. При этом происходит циркуляция раствора травителя, смывание наружной и внутренней поверхности кварцевой трубы.

Раствор совершает сложное турбулентное движение и интенсивность отмывки возрастает. Частота реверсивного вращения реактора 100-120 об мин.

Кварцевая труба вначале за счет сил трения качения приподнимается о на угол 15, а затем скатывается в исходное положение.При этом она вращается вокруг собственной оси и таким образом,вся ее поверхность и наружная и внутренняя, омывается раствором травителя. Травление осуществляется в динамическом режиме.

Для улавливания паров травителя и газообразных продуктов, образующихся при травлении кверцевых труб с напыленным металлом, около съемного фланца реактора установлен местный отсос 6, соединенный с вытяжной вентиляцией. Отработанный травитель периодически сливается в емкость через воронку 7 и отправляется на узел нейтрализации и обезвреживания сточных вод.

При вращении реактора с частотой менее 100 об/мин снижается интенсивность циркуляции раствора, а значит и травления. При вращении реактора с частотой более 120 об/мин происходит высокий подъем трубы в реакторе, труба выходит из объема раствора, Составитель О.Самохина

Редактор И.Дербак Техред М.Надь. Корректор Г.Решетник

Заказ 454/30 Тираж 458 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 химическому травлению. Процесс проводят аналогично примеру 1. В реактор помещают запыленную кварцевую трубу, заливают 4 л травителя того же состава и задают реактору реверсивное вращение с частотой

120 об/мин. Отработанный травитель отправляют на узел обезвреживания и нейтрализации сточных вод.

Предлагаемый способ позволяет упростить аппаратурно-технологичес1209628

4 кую схему. Кроме того, улучшается культура и условия труда, а также состояние техники безопасности при химическом травлении кварцевых труб после проведения в них металлурги4 ческих процессов получения кадмия, теллура и мышьяка высокой чистоты.

Ожидаемый экономический эффект составляет 1680 руб в год.