Способ защиты поверхности изделий из диэлектрических материалов

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„Я0„„1212996 ь11ф с 03 С 15/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

OCYQAPCTBEHHblA HOMHTET CCCP

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕКИЙ И ОТКРЫТИЙ (61) 990706 (21) 3759407/29-33 (22) 05.07.84 (46) 23..02.86. Вюл. 9 7 (72) Н.А. Капулкин, M.ß. Герщойг, Г.Я. Павлова, В.И. Степанова и Н.М. Вискова (53) 666.1.053.63(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 990706, кл. С 03 С 15/00, 1981. (54)(57) СПОСОВ ЗАЩИТЫ ПОВЕРХНОСТИ

ИЗДЕЛИЙ ИЗ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ по авт.св. У 990706, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения надежности защиты, -Ф пленку в местах, граничащих с областью травления, поджимают к изделию.

2О

Составитель О.Самохина

Редактор И.Дербак Техред Т.Дубинчак Корректор А.Тяско

Заказ 721/34

Тираж 458

E Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета ГССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35,, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

1 1

Изобретение относится к способам обработки травлением изделий иэ неорглнических диэлектрических материалов, преимущественно стеклоиэделий, может быть использовано в микроэлектронной технике и приборостроении и является усовершенствованием способа по авт. св. Р 990706 Ä

Цель из об ре тек ия — повышен ие надежности защиты.

По предлагаемому способу усилие прижатия пленки к иэделию обеспечивает надежное прилегание пленки к

° изделию в процессе травления и исключает попадание паров кислоты под пленку и возникновение подтравов. Величину усилия прижатия пленки к изделию определяют, исходя из условий прочности материала изделия экспериментальным путем.

На чертеже показан вариант устройства, с помощью которого осуществляют способ.

На стягивающий болт 1 устанавливают нижнюю прижимную губку 2 с предварительно наклеенной резиновой прокладкой 3 для равномерной передачи усилия. На нижнюю прижимную губку 2 устанавливают изделие 4 с предварительно наклеенными мас212996

1 ками 5 из липкой поливинилхлоридной пленки. Затем устанавливают верхнюю прижимную губку 6 с предварительно наклеенной резиновой прокладкой 3, резиновую шайбу 7, фторопластошайбу 8 и стягивают фторопластовой гайкой 9. После сборки изделие покрывают восковой смесью

10, за исключением мест, подлежащих

1О травлению, и погружают устройство с изделием в кислоту, по окончании травления разбирают устройство и удаляют защитное покрытие с изделия.

Требуемое усилие поджатия пленки к изделию создается путем предварительной деформации резиновой шайбы, степень деформации которой зависит от толщины изделия и определяется зазором между фторопластовой шайбой.

Внешний осмотр иэделий после травления показывает полное отсутствие подтравов.

Таким образом, предлагаемый спо25 соб; обеспечивает повышение надежности защиты изделий при травлении и изготовлении качественных изделий за счет надежного прилегания пленки к изделию в процессе длительного травления .