Способ обработки оптических деталей

 

СООЗ СОВЕТСКИХ

СОЦЬИИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (Щ (594 С 03 С

ГОСУДАРСТВЕННЬЙ КОМИТЕТ СССР

ГО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИИ И ОТКРЬП ИИ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3790157!29-33 (22) 01.08.84 (46) 23.02. 86. Бюл. В 7 (72) В.П. Пушечников, В.П. Маслов, А.А. Дворский, А.П. Жузнева и Ю.В. Галанин (53) 666.1.05(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 581105, кл. С 03 С 15/00, 1975.

Технология стекла. Под ред.

Китайгородского И.И. — М.: Стройиздат, 1967, с. 180-182. (54) (57) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ОПТИЧЕСКИХ

ДЕТАЛЕЙ путем травления во фтористоводородной кислоте, о т л и ч а юш и и с я тем, что, с целью повышения скорости обработки, перед травлением детали выдерживают в этиловом спурте в течение 0,5-3 ч.

12997

Шероховатость обработанной поверхности,Яа

Скорость травления., мкм/мин

Способ травления— выдержка в этиловом спирте, ч

Паиме чан ие

До травления

После трав2 5-1

0,32--0,!б

На поверхности после

0,1б-0„08

0,5

2,5-1.,25 травления отсутствуют дефекты

2а5

0,08-0.04

3,0

0 08 О 04

2,5-1, 5

? 5-1 25 ...3- — 2

1 12

Изобретение относится к технологии оптического производства и может быть использовано в оптико-механической и электронной промышленности, например, при изготовлении трубок повышенной точности из свинцовосиликатного стекла для микроканальных пластин (МПК}.

Цель изобретения — повышение скорости обработки.

Цель достигается за счет того, что производят обработку предварительно выдержанных в этиловом. спирте в течение 0,5-3 ч оптических деталей из стекла следующего состава,Y: Si0< 40,2; A1 0@ 3,5; ВаО 10,, РЪО 41; Ма О 7, в растворе фторис "oBîäopoäHîé кислоты. Время травления измеряют секундомером с точностью до 1 с, съем контролируют индикатором часового типа с точностью

MKM .

Результаты сравнительных испытаний при обработке оптических деталей приведены в таблице.

Предлагаемый способ позволяет повысить скорость травления за счет того, что предварительно перед трав. левием оптические детали выдерживают в этиловом спирте з тече!Ние

0р5-3 ч.

Неорганические стекла относятся к достаточно инертным и химически устойчивым материалам. Однако, при известньп условиях проявляется повышенная физико-химическая активность поверхностных слоев стекла, заложенная в их природе. Стекло в ре.эультате своеобразия структурно-химического состояния поверхности отличается повышеяной свободной поверхностной энергией, в связи с чем по-. верхность такого материала проявлят склонность к адсорбции различных реагентов, особенно поверхностноактивных. Кроме того, стекло, обычно

"одержащее щелочные компоненты, в тай или иной мере гидролизуется с образованием на поверхности силанольнь1х SiOH и других реакционноспобных групп, стимулирующих появление

10 на поверхности энергетически неуравновешенных хемосарбционных центров. Следовательно, химическая обработка поверхности стекла основывается на сложной совокупности яв— лений, обусловленных физико-химическими превращениями.

По предлагаемому способу молеку:-ы спирта, проникая в микрстрещины поверхностного слоя стекла и одно2п временно являясь растворителем для солей, образовавшихся на поверхности стекла в результате травления, способствуют более интенсивной обработке в растворе HF из-эа растворе-!

5 ния солевого слоя.

При травлении эа счет разрыва связей кремнеэемного остова стекла (Si0 ) температура на ювенильной поверхэос-:è оптических материалов повышается

"-"ò;èëîHûé спирт, находящийся в порах микротрещин, способствует, за

".чет растворения, отслаиванию солеэог0 слоя от поверхности детали, что приводит к повышению скорости

М травления, а следовательно, и производительности обработки. Кроме того, при высоких скоростях травления

:: †:е проявляется структурная неоднороднасгь оптических материалов и каф о чество обрабо-.à.ííîé поверхности при

": òîм улучшав т ся .