Способ контроля адгезии покрытия к подложке

 

Изобретение относится к методам контроля трибологических характеристик твердых материалов, в частности адгезии покрытия к подложке при изготовлении микросхем . Цель изобретения - повышение производительности контроля, которая достигается тем, что из партии исследуемых образцов выбирают эталонное покрытие и определяют его адгезию к подложке путем воздействия индентора на покрытие при максимальной нагрузке и перемещении индентора при условии, что на покрытии не образуется разрушающий след, а остальные образцы партии испытывают при выбранной по эталону рабочей нагрузке. Если на покрытии при этом образуется разрушающий след, то такое покрытие бракуется, а пригодными к эксплуатации считаются покрытия, которые не разрушаются при рабочей нагрузке. ) 4 сл ;с ел 4

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (51) 4 G 01 N 19 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3557181/25-28 (22) 16.02.83 (46) 23.07.86. Бюл. № 27 (72) Б. К. Монтвилло, Т. А. Полищук и С. М. Петров (53) 620.178.16(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 679910, кл. G 01 N 19/04, 1977. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ АДГЕЗИИ

ПОКРЫТИЯ К ПОДЛОЖКЕ (57) Изобретение относится к методам контроля трибологических характеристик твердых материалов, в частности адгезии покрытия к подложке при изготовлении микросхем. Цель изобретения — повышение производительности контроля, которая достигается тем, что из партии исследуемых образцов выбирают эталонное покрытие и определяют его адгезию к подложке путем воздействия индентора на покрытие при максимальной нагрузке и перемещении индентора при условии. что на покрытии не образуется разрушающий след, а остальные образцы партии испытывают при выбранной по эталону рабочей нагрузке. Если на покрытии при этом образуется разрушающий след, то такое покрытие бракуется, а пригодными к эксплуатации считаются покрытия, которые не разрушаются при рабочей нагрузке.

1245954

Формула изобретения

Составитель?1. Кудревнев

Техред И. Верее Корректор М. Демчик

Тираж 778 Г1одписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” -35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор H. Янола

Заказ 3991/35

Изобретение относится к методам контроля трибологических характеристик твердых материалов и может быть использовано для оценки качес вва адгезии покрытия к подложке при изготовлении микросхем.

Цель изобретения — повышение производительности контроля адгезии покрытия к подложке.

Эта цель достигается тем, что рабочую нагрузку на индентор выбирают равной величине нагрузки, при которой индентор на эталонном покрытии не оставляет разрушающего следа.

Предлагаемый способ осуществляют следующим образом.

Из партии образцов, представляющих собой покрытия на твердых подложках, выбирают эталонное покрытие. Затем к эталонному покрытию прижимают индентор, сообщают ему поступательное перемещение и измеряют силу трения между индентором и подложкой. Нагрузку на индентор постепенно увеличивают, а рабочую нагрузку выбирают равной величине нагрузки, при когорой индентор на эталонном покрытии не оставляет разрушающего следа.

Определение величины адгезии исследуемых покрытий на других образцах партии осуществляют при нагрузке, равной рабочей в той же последовательности как и эталонное покрытие.

Если на покрытии образуется разрушенный след, то такое покрытие бракуется и считается непригодным к эксплуатации.

Отсутствие разрушенного следа свидетельствует об удовлетворительном качестве адге10 3НН к г1одложк(Способ контроля адгезии покрытия к подложке, заключающийся в том, что индентор прижимают рабочей нагрузкой к покрытию на подложке, сообщают индентору поступательное перемещение, измеряют силу трения между индентором и покрытием, по величине которого судят об адгезии покрытия к подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, рабочую нагрузку выбирают равной величине нагрузки, при которой индентор на эталонном покрытии не оставляет разрушающего следа.