Способ юстировки электромагнитной зондоформирующей системы
Изобретение относится к области микрозондовой техники и является усовершенствованием известного способа юстировки электромагнитной зондофор . мирующей системы по авт.св.№ 1157589. Цель - повышение точности юстировки. При юстировке перемещают юстируемые элементы до положений, при которых изображения (И) в плоскости объектодержателя (О), полученные для прямой и обратной полярности тока возбуждения , смещены. Перед получением И между юстируемыми элементами и О устанавливают вспомогательную электромагнитную линзу (ВЭЛ) и изменение полярности тока осуществляют только ВЭЛ. Для достижения цели ВЭЛ возбуждают до уровня, при котором ее плоскость изображения совмещена с плоскостью диафрагмы, устанавливаемойв области фокусирующего магнитного потока этой ВЭЛ, а плоскость О наклоняют до тех пор, пока не исчезнет асимметрия И полуокружностей границ И отверстия диафрагмы. При этом в поле зрения остается тот же участок микрообъекта, который подвергался исследованию до юстировки, поэтому отпадает необходимость в затратах времени на поиск и совмещение этого участка с полем о блучения. Изобретение может быть использовано в электронной и ионной микроскопии. с S сл 00 о со
Похожие патенты:
Изобретение относится к области электронно-микроскопического приборостроения и может быть использовано для прецизионного перемещения образца
Изобретение относится к растровой электронной микроскопии
Изобретение относится к области исследования физических и химических свойств веществ, в частности к технике препарирования объектов, и может быть использовано в просвечивающей электронной микроскопии при исследовании гигроскопических образцов
Изобретение относится к электронно-оптическому приборостроению
Изобретение относится к электрозондовым устройствам для наблюдения и регистрации изображения, в частности к электронным микроскопам просвечиваемого типа
Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть исрользовано йрй разработке стробо4-4i---4f скопических электронных микроскопов для исследования быстропротекающих процессов в твердом теле
Изобретение относится к области микроскопии и может быть использовано для анализа проводящих микрообъектов
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим транспортировку и установку зондов и образцов в позиции измерения и функционального воздействия
Изобретение относится к ядерной технике, в частности к исследованию материалов, подвергающихся воздействию радиации
Изобретение относится к способам получения изображений в растровой электронной микроскопии
Изобретение относится к сканирующей туннельной спектроскопии и может быть использовано в зондовых микроскопах и приборах на их основе
Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники
Изобретение относится к микробиологии и может применяться при профилактике инфекционных болезней
Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для проведения операций по перемещению объектов внутри вакуумных систем
