Устройство для вытягивания кристалла из расплава

 

1. Устройство для вытягивания кристалла из расплава, включающее герметичную камеру, внутри которой размещены тигель, окруженный нагревателем и системой теплоизоляции, шток с затравкой кристалла, механизмы перемещения и вращения кристалла, имеющие приводы и содержащие каретку, подвижно установленную на вертикальной направляющей, и средством уплотнения штока, размещенное на крышке камеры, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности за счет непрерывного вытягивания кристалла, устройство снабжено дополнительной кареткой с механизмом отрезки кристалла, подвижно установленной сверху на направляющей, обе каретки снабжены захватами кристалла, установленными с возможностью вращения, средство уплотнения снабжено втулкой, установленной с возможностью вращения, при этом захваты кристалла и втулка кинематически связаны с приводом вращения кристалла.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что механизм отрезки кристалла выполнен в виде рамы, установленной с возможностью поворота в горизонтальной плоскости и снабженной роликами для размещения бесконечной абразивной нити, один из которых кинематически связан с приводом вращения кристалла, а захваты кристалла установлены над рамой с возможностью поворота в горизонтальной плоскости.

3. Устройство по пп.1 и 2, отличающееся тем, что захваты кристалла выполнены в виде корпуса с внутренним кольцевым каналом, соединенным с источником газа, и снабженного эластичной втулкой, установленной коаксиально относительно кристалла и герметично закрепленной торцами на корпусе.

4. Устройство по пп.1 - 3, отличающееся тем, что средство уплотнения выполнено в виде эластичных шайб, расстояние между которыми в 1,5 - 2,0 раза превышает суммарную длину затравки, перетяжки и конусной части кристалла.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области выращивания кристаллов и может быть использовано в ростовых установках с гибкой подвеской затравки для предотвращения раскачки монокристалла

Изобретение относится к оборудованию, предназначенному для получения крупногабаритных монокристаллов кремния методом Чохральского

Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано при выращивании монокристаллов кремния по методу Чохральского

Изобретение относится к механизмам для вращения и передвижения в установках для выращивания монокристаллов полупроводников по методу Чохральского

Изобретение относится к выращиванию монокристаллов из расплава в температурном градиенте с использованием устройства для передвижения расплава и кристалла

Изобретение относится к технологии высокотемпературной кристаллизации из расплава и может быть использовано для получения крупных монокристаллов

Изобретение относится к электроприводу установки для выращивания монокристаллов по способу Чохральского, содержащим механизм вращения штока, электродвигатель, соединенный с червяком червячной пары, червячное колесо которой охватывает выходной вал механизма вращения штока, механизм поступательного движения штока, включающий электродвигатель, червячную пару, червячное колесо которой одновременно является гайкой винтовой пары, ходовой винт которой передает поступательное движение штоку

Изобретение относится к области получения полупроводников
Наверх